[發明專利]一種復合薄膜

在審

• 申請號: 201710964104.8
• 申請日: 2017-10-17
• 公開（公告）號: CN107601513A
• 公開（公告）日: 2018-01-19
• 發明（設計）人: 許美鳳
• 申請（專利權）人: 安徽省華騰農業科技有限公司
• 主分類號: C01B33/145
• 分類號: C01B33/145;C09D1/00
• 代理公司: 合肥市浩智運專利代理事務所(普通合伙)34124
• 代理人: 王志興

1.一種復合薄膜，其特征在于，該復合薄膜包括納米二氧化硅顆粒和前驅體溶膠；

將納米二氧化硅顆粒加入至前驅體溶膠中，利用超聲波分散溶膠30-60分鐘，使得納米二氧化硅顆粒充分均勻的分散在溶膠中，得到復合溶膠液，其中改性納米二氧化硅顆粒在溶膠中的質量分數為1-3％；

利用旋涂法成膜，將所制備得到的復合溶膠液旋涂在單晶硅基底上成膜，轉速為1000-3000轉/分鐘，旋涂時間為20-60秒，成膜后，將樣品置于常溫下靜置20-50h；然后將其放在高溫爐中，以2-5℃/分鐘的升溫速率升溫至300℃-450℃，保溫4-6小時，自然冷卻至室溫，既得到復合薄膜。

2.如權利要求1所述的一種復合薄膜，其特征在于，所制備的復合薄膜的厚度為1-5μm，優選3μm。

3.如權利要求1所述的一種復合薄膜，其特征在于，所采用的納米二氧化硅顆粒的粒徑為10-30nm。

4.如權利要求1所述的一種復合薄膜，其特征在于，所采用的納米二氧化硅顆粒為改性納米二氧化硅顆粒。

5.如權利要求1所述的一種復合薄膜，其特征在于，利用旋涂法成膜，將所制備得到的復合溶膠液旋涂在單晶硅基底上成膜，轉速為2000轉/分鐘，旋涂時間為45秒，成膜后，將樣品置于常溫下靜置36h；然后將其放在高溫爐中，以3℃/分鐘的升溫速率升溫至300℃-450℃，保溫5小時，自然冷卻至室溫，既得到復合薄膜。