[發(fā)明專利]一種硅片化學(xué)鍍銅方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710963804.5
• 申請(qǐng)日: 2017-10-17
• 公開（公告）號(hào): CN107747084B
• 公開（公告）日: 2019-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳偉長(zhǎng);劉波;張勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南通賽可特電子有限公司
• 主分類號(hào): C23C18/40
• 分類號(hào): C23C18/40;C23C18/18;C30B33/00
• 代理公司: 蘇州廣正知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32234
• 代理人: 張漢欽

本發(fā)明涉及一種硅片化學(xué)鍍銅方法，屬于化學(xué)鍍銅技術(shù)領(lǐng)域，所述硅片化學(xué)鍍銅方法包括：1）除油處理；2）粗化處理；3）敏化處理；4）活化處理；5）化學(xué)鍍銅處理。本發(fā)明的設(shè)備以及工藝簡(jiǎn)單，易于實(shí)現(xiàn)，且可以在硅片表面形成均勻致密且機(jī)械強(qiáng)度高的銅層，同時(shí)具有優(yōu)異的耐剝離性能。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及化學(xué)鍍銅技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種硅片化學(xué)鍍銅方法。

背景技術(shù)

在化學(xué)鍍銅過(guò)程中Cu²⁺離子得到電子還原為金屬銅，還原劑放出電子，本身被氧化。其反應(yīng)實(shí)質(zhì)和電解過(guò)程相同，只是得失電子的過(guò)程是在短路狀態(tài)下進(jìn)行的，在外部看不到電流的流通。因此化學(xué)鍍是一種非常節(jié)能高效的電解過(guò)程，因?yàn)樗鼪]有外接電源，電解時(shí)沒有電阻壓降隕耗?；瘜W(xué)鍍銅廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)，如：電子電器、五金工藝、工藝品、家具裝飾等等。常規(guī)的化學(xué)鍍銅溶液基本適合所有金屬及絕大多數(shù)非金屬表面鍍銅。例如：不銹鋼表面鍍銅，線路板鍍銅，鋁材鍍銅，鐵件鍍銅，銅上鍍銅，樹脂鍍銅，玻璃鍍銅，塑料鍍銅，金剛石鍍銅，樹葉鍍銅，硅片鍍銅等等。而現(xiàn)有的鍍銅產(chǎn)品的化學(xué)鍍銅工藝過(guò)于單一，得到的鍍銅產(chǎn)品的性能也參差不齊。如何設(shè)計(jì)一種硅片化學(xué)鍍銅方法，是業(yè)界亟待解決的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于避免現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處而提供一種硅片化學(xué)鍍銅方法。

本發(fā)明的目的通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

提供一種硅片化學(xué)鍍銅方法，所述硅片化學(xué)鍍銅方法包括：

1）除油處理：將硅片依次在丙酮、無(wú)水乙醇、去離子水中超聲清洗40-50分鐘，接著將所述硅片置于濃硫酸/雙氧水混合溶液中，所述濃硫酸/雙氧水混合溶液中濃硫酸和雙氧水的體積比為3：1，在90-110℃下熱處理50-100分鐘，接著用去離子水沖洗所述硅片；

2）粗化處理：將步驟1得到的硅片放置于75-85℃粗化液中超聲攪拌清洗10-30分鐘，其中所述粗化液中各組分的質(zhì)量百分比組成為：氫氧化鉀0.3%-0.6%、硅酸鉀0.3%-0.5%、乙醇3%-6%、異丙醇2%-5%、吲哚丙酸0.02%-0.05%以及余量的水，然后用去離子水清洗所述硅片；

3）敏化處理：用18-25g/L的氯化亞錫和50ml/L的鹽酸配制成的混合溶液對(duì)步驟2得到的硅片進(jìn)行浸泡敏化處理10-30分鐘，溫度為20-30℃，然后用去離子水清洗所述硅片；

4）活化處理：用8-10g/L的硝酸銀和30-50ml/L的氨水配制成的混合溶液對(duì)步驟3得到的硅片進(jìn)行浸泡活化處理10-20分鐘，溫度為20-30℃，然后用去離子水清洗所述硅片；

5）化學(xué)鍍銅處理：首先以升溫速度為1-3℃/min的條件將化學(xué)鍍銅溶液從室溫加熱至40℃，接著將步驟4得到的硅片放置于上述化學(xué)鍍銅溶液中，在40℃下保溫5-10分鐘，接著以升溫速度為2-5℃/min的條件將化學(xué)鍍銅溶液從40℃加熱至75℃，在75℃下保溫30-50分鐘，接著以降溫速度為3-6℃/min的條件將化學(xué)鍍銅溶液從75℃降溫至40℃，在40℃下保溫10-20分鐘，將化學(xué)鍍銅處理后的硅片從化學(xué)鍍銅溶液中取出，對(duì)化學(xué)鍍銅處理后的硅片用去離子水清洗，然后進(jìn)行干燥處理以得到鍍銅硅片。

作為優(yōu)選，所述化學(xué)鍍銅溶液包括10-30g/L的無(wú)水硫酸銅，10-15ml/L的甲醛，20-40g/L的酒石酸鉀鈉,150-300mg/L的亞鐵氰化鉀以及10-50g/L的氫氧化鈉。

作為優(yōu)選，所述化學(xué)鍍銅溶液包括10-20g/L的無(wú)水硫酸銅，30-60g/L的乙二胺四乙酸二鈉，3-8g/L的次亞磷酸鈉，30-60mg/L的2,2’-聯(lián)砒啶，50-80mg/L的亞鐵氰化鉀，30-80g/L的氫氧化鈉以及5-10ml/L的水合肼。

本發(fā)明的有益效果：本發(fā)明的設(shè)備以及工藝簡(jiǎn)單，易于實(shí)現(xiàn)，且可以在硅片表面形成均勻致密且機(jī)械強(qiáng)度高的銅層，同時(shí)具有優(yōu)異的耐剝離性能。