[發明專利]一種平面度快速測量方法

在審

• 申請號: 201710961480.1
• 申請日: 2017-10-16
• 公開（公告）號: CN109668531A
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發明（設計）人: 華正浩;朱光茂;張曉華;張林川
• 申請（專利權）人: 南京龍貞自控科技發展有限公司
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30
• 代理公司: 南京睿之博知識產權代理有限公司 32296
• 代理人: 陳琛

本發明公開了一種平面度快速測量方法，包括如下步驟：步驟一，將被測樣品放置在一個水平臺面上，其被測面朝下；步驟二，水平臺面內部安裝有多個激光位移傳感器，并在臺面上設置有測量孔；步驟三，開啟激光位移傳感器，同時可以移動被測樣品，利用激光位移傳感器掃過樣品表面多個位置；步驟四，激光位移傳感器將測量結果自動寫入采集程序中，并提取最大值和最小值，從而得到平面度信息；步驟五，將測量結果自動填入輸出模板中，并打印平面度測試報告。本發明的平面度快速測量方法，能夠快速準確的進行平面度測量，一致性高。

技術領域

本發明涉及檢測領域，具體講是一種平面度快速測量方法。

背景技術

平面度測量是指被測實際表面對其理想平面的變動量，目前，多種場合都需要對平面度進行準確快速的測量，但現有的檢測手段大多數根據人工的目測進行校驗，存在較大的誤差，很難達到較高的產品一致性，人工容易出現視覺疲勞，造成產品的合格率低，影響后續的使用，并且效率較低。

發明內容

發明目的：為了解決上述的問題，本發明提供了一種平面度快速測量方法。

技術方案：

一種平面度快速測量方法，包括如下步驟：

步驟一，將被測樣品放置在一個水平臺面上，其被測面朝下；

步驟二，水平臺面內部安裝有多個激光位移傳感器，并在臺面上設置有測量孔；

步驟三，開啟激光位移傳感器，同時可以移動被測樣品，利用激光位移傳感器掃過樣品表面多個位置；

步驟四，激光位移傳感器將測量結果自動寫入采集程序中，并提取最大值和最小值，從而得到平面度信息；

步驟五，將測量結果自動填入輸出模板中，并打印平面度測試報告。

進一步地，步驟一中，水平臺面為大理石臺面，放置在恒溫恒濕環境中。

進一步地，步驟一中，水平臺面需要經過標定檢測，臺面平面度不低于被測樣品的平面度。

進一步地，步驟二中，臺面內部設置有激光位移傳感器，激光可以穿過臺面上的測量孔。

進一步地，步驟三中，樣品測量面與臺面貼合，并進行水平或者旋轉移動，使得激光掃過樣品所有測量位置，得出樣品不同位置的高度差，最終轉換為平面度。

進一步地，步驟四中，所有測量結果都可以通過程序自動采集，并提取最大最小值，得到平面度，如果按照特定的規則進行樣品表面掃描，則可以得到整個樣品表面的平面度特征。

進一步地，步驟五中，軟件中設置有測試報告模板，測量結果可以自動輸入值測量報告模板中，并自動打印，方便查看。

有益效果：本發明的平面度快速測量方法，能夠快速準確的進行平面度測量，一致性高，。

具體實施方式

下面對本發明作進一步詳細說明。

一種平面度快速測量方法，包括如下步驟：

步驟一，將被測樣品放置在一個水平臺面上，其被測面朝下；

步驟二，水平臺面內部安裝有多個激光位移傳感器，并在臺面上設置有測量孔；

步驟三，開啟激光位移傳感器，同時可以移動被測樣品，利用激光位移傳感器掃過樣品表面多個位置；

步驟四，激光位移傳感器將測量結果自動寫入采集程序中，并提取最大值和最小值，從而得到平面度信息；

步驟五，將測量結果自動填入輸出模板中，并打印平面度測試報告。

優選的，步驟一中水平臺面為大理石臺面，放置在恒溫恒濕環境中。