[發明專利]一種平面度快速測量方法在審
| 申請號： | 201710961480.1 | 申請日： | 2017-10-16 |
| 公開（公告）號： | CN109668531A | 公開（公告）日： | 2019-04-23 |
| 發明（設計）人： | 華正浩;朱光茂;張曉華;張林川 | 申請（專利權）人： | 南京龍貞自控科技發展有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/30 | 分類號： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 南京睿之博知識產權代理有限公司 32296 | 代理人： | 陳琛 |
| 地址： | 210019 江蘇省南京市建鄴*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 平面度 激光位移傳感器 快速測量 被測樣品 水平臺面 平面度測量 采集程序 測試報告 內部安裝 輸出模板 樣品表面 被測面 測量孔 填入 寫入 打印 移動 | ||
1.一種平面度快速測量方法，其特征在于，包括如下步驟：
步驟一，將被測樣品放置在一個水平臺面上，其被測面朝下；
步驟二，水平臺面內部安裝有多個激光位移傳感器，并在臺面上設置有測量孔；
步驟三，開啟激光位移傳感器，同時可以移動被測樣品，利用激光位移傳感器掃過樣品表面多個位置；
步驟四，激光位移傳感器將測量結果自動寫入采集程序中，并提取最大值和最小值，從而得到平面度信息；
步驟五，將測量結果自動填入輸出模板中，并打印平面度測試報告。
2.根據權利要求1所述的一種平面度快速測量方法，其特征在于，步驟一中，水平臺面為大理石臺面，放置在恒溫恒濕環境中。
3.根據權利要求1所述的一種平面度快速測量方法，其特征在于，步驟一中，水平臺面需要經過標定檢測，臺面平面度不低于被測樣品的平面度。
4.根據權利要求1所述的一種平面度快速測量方法，其特征在于，步驟二中，臺面內部設置有激光位移傳感器，激光可以穿過臺面上的測量孔。
5.根據權利要求1所述的一種平面度快速測量方法，其特征在于，步驟三中，樣品測量面與臺面貼合，并進行水平或者旋轉移動，使得激光掃過樣品所有測量位置，得出樣品不同位置的高度差，轉換為平面度。
6.根據權利要求1所述的一種平面度快速測量方法，其特征在于，步驟四中，所有測量結果都可以通過程序自動采集，并提取最大最小值，得到平面度，如果按照特定的規則進行樣品表面掃描，得到整個樣品表面的平面度特征。
7.根據權利要求1所述的一種平面度快速測量方法，其特征在于，步驟五中，軟件中設置有測試報告模板，測量結果可以自動輸入值測量報告模板中，并自動打印，方便查看。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于南京龍貞自控科技發展有限公司，未經南京龍貞自控科技發展有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201710961480.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種軸與軸孔對中檢測方法及對中檢測裝置
- 下一篇：一種基片表面檢測方法及裝置
