[發明專利]顯示面板及其制造方法

在審

• 申請號: 201710948846.1
• 申請日: 2017-10-12
• 公開（公告）號: CN107768306A
• 公開（公告）日: 2018-03-06
• 發明（設計）人: 黃北洲
• 申請（專利權）人: 惠科股份有限公司
• 主分類號: H01L21/77
• 分類號: H01L21/77;H01L27/12
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司11228
• 代理人: 亓贏

技術領域

本申請涉及顯示領域，特別是涉及一種顯示面板及其制造方法。

背景技術

平板顯示裝置，其具有色域廣、省電等眾多優點，在各領域得到廣泛應用?，F有的平板顯示裝置主要包括液晶顯示裝置(Liquid Crystal Display，LCD)，有機發光二極管(Organic Light Emitting Diodes，OLED)顯示裝置和量子點發光二極管(Quantum Dot Light Emitting Diodes，QLED)顯示裝置。其中，薄膜晶體管(Thin Film Transistor，TFT)，可形成在玻璃基板或塑料基板上，通常作為主動開關，是平板顯示裝置的重要組成部分之一。而隨著發展，也對顯示面板及顯示裝置提出了更多、更高的要求，如抗靜電性能，部分產品由于靈敏度高，因而對主動開關等元件的抗靜電性能的要求特別高。

在TFT的生產和制造過程中，會在陣列基板中鍍上多個具有不同功能作用的膜層，而不同的膜層是在不同的機械設備和反應室中完成。在鍍膜和基板搬運的過程中，難以避免地會產生大量的靜電荷，該些靜電荷堆積于陣列基板上，當與傳送設備接觸時，會形成較大的電勢差，進而將接觸點附近的膜層擊穿，嚴重影響平板顯示面板或平板顯示裝置的質量。

發明內容

為了解決上述技術問題，本申請的目的在于，提供一種顯示面板及其制造方法，其通過選擇性地加大主動開關的柵極絕緣層的厚度，同時保持位于柵極層上的柵極絕緣層的厚度不變，可以在不影響主動開關電學等性能的前提下，提升主動開關的抗靜電能力。

本申請的目的及解決其技術問題是采用以下技術方案來實現的。依據本申請提出的一種顯示面板的制造方法，包括：提供一基板；設置一柵極層于所述基板上；設置一柵極絕緣層于所述基板上，并覆蓋所述柵極層，其中，所述柵極絕緣層具有第一厚度；通過一光罩，刻蝕位于所述柵極層之上的所述柵極絕緣層，并使位于所述柵極層上的所述柵極絕緣層具有第二厚度，且所述柵極絕緣層具有一外表面；設置一半導體層于所述柵極絕緣層上；設置一源極層和一漏極層于所述半導體層上，并暴露出部分所述半導體層；其中，所述柵極絕緣層的第一厚度大于所述柵極絕緣層的第二厚度。

在本申請的一實施例中，所述柵極絕緣層的第一厚度介于到之間。

在本申請的一實施例中，所述柵極絕緣層的第二厚度介于到之間。

在本申請的一實施例中，刻蝕后的所述柵極絕緣層的外表面為一平坦面。

在本申請的一實施例中，所述光罩為半色調光罩或灰階光罩。

在本申請的一實施例中，更包括：設置一鈍化層于所述基板上，所述鈍化層覆蓋所述源極層，所述漏極層及所述半導體層。

本申請的目的及解決其技術問題還可采用以下技術措施進一步實現。

本申請的另一目的為一種顯示面板，包括：一基板；一柵極層，設置于所述基板上；一柵極絕緣層，設置于所述基板上，并覆蓋所述柵極層，其中，位于所述柵極層上的部分所述柵極絕緣層具有第二厚度，位于所述基板上的另一部分所述柵極絕緣層具有第一厚度，且所述柵極絕緣層具有一外表面；一半導體層，設置于所述柵極絕緣層上；一源極層和一漏極層，設置于所述半導體層上，并暴露出部分所述半導體層；一鈍化層，設置于所述基板上，所述鈍化層覆蓋所述源極層，所述漏極層及所述半導體層；其中，所述柵極絕緣層的第一厚度大于所述柵極絕緣層的第二厚度，且所述柵極絕緣層的外表面為一平坦面。

在本申請的一實施例中，所述柵極絕緣層的第一厚度介于到之間。

在本申請的一實施例中，所述柵極絕緣層的第二厚度介于到之間。

本申請的又一目的為一種顯示面板的制造方法，包括：提供一基板；設置一柵極層于所述基板上；設置一柵極絕緣層于所述基板上，并覆蓋所述柵極層，其中，所述柵極絕緣層具有第一厚度；通過一光罩，刻蝕位于所述柵極層之上的所述柵極絕緣層，并使位于所述柵極層上的所述柵極絕緣層具有第二厚度，且所述柵極絕緣層具有一外表面；設置一半導體層于所述柵極絕緣層上；設置一源極層和一漏極層于所述半導體層上，并暴露出部分所述半導體層；設置一鈍化層于所述基板上，所述鈍化層覆蓋所述源極層，所述漏極層及所述半導體層；其中，所述第一厚度為所述第二厚度為

本申請通過選擇性地加大主動開關的柵極絕緣層的厚度，同時保持位于柵極層上的柵極絕緣層的厚度不變，可以在不影響主動開關電學等性能的前提下，提升主動開關的抗靜電能力。

附圖說明

圖1為范例性的顯示面板示意圖。