[發(fā)明專利]顯示面板及其制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710948846.1
• 申請(qǐng)日: 2017-10-12
• 公開（公告）號(hào): CN107768306A
• 公開（公告）日: 2018-03-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃北洲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 惠科股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/77
• 分類號(hào): H01L21/77;H01L27/12
• 代理公司: 北京匯澤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11228
• 代理人: 亓贏

1.一種顯示面板的制造方法，其特征在于，包括：

提供一基板；

設(shè)置一柵極層于所述基板上；

設(shè)置一柵極絕緣層于所述基板上，并覆蓋所述柵極層，其中，所述柵極絕緣層具有第一厚度；

通過一光罩，刻蝕位于所述柵極層之上的所述柵極絕緣層，并使位于所述柵極層上的所述柵極絕緣層具有第二厚度，且所述柵極絕緣層具有一外表面；

設(shè)置一半導(dǎo)體層于所述柵極絕緣層上；

設(shè)置一源極層和一漏極層于所述半導(dǎo)體層上，并暴露出部分所述半導(dǎo)體層；

其中，所述柵極絕緣層的第一厚度大于所述柵極絕緣層的第二厚度。

2.如權(quán)利要求1所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，所述柵極絕緣層的第一厚度介于到之間。

3.如權(quán)利要求1所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，所述柵極絕緣層的第二厚度介于到之間。

4.如權(quán)利要求1所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，刻蝕后的所述柵極絕緣層的外表面為一平坦面。

5.如權(quán)利要求1所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，所述光罩為半色調(diào)光罩或灰階光罩。

6.如權(quán)利要求1所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，更包括：設(shè)置一鈍化層于所述基板上，所述鈍化層覆蓋所述源極層，所述漏極層及所述半導(dǎo)體層。

7.一種顯示面板，其特征在于，包括：

一基板；

一柵極層，設(shè)置于所述基板上；

一柵極絕緣層，設(shè)置于所述基板上，并覆蓋所述柵極層，其中，位于所述柵極層上的部分所述柵極絕緣層具有第二厚度，位于所述基板上的另一部分所述柵極絕緣層具有第一厚度，且所述柵極絕緣層具有一外表面；

一半導(dǎo)體層，設(shè)置于所述柵極絕緣層上；

一源極層和一漏極層，設(shè)置于所述半導(dǎo)體層上，并暴露出部分所述半導(dǎo)體層；

一鈍化層，設(shè)置于所述基板上，所述鈍化層覆蓋所述源極層，所述漏極層及所述半導(dǎo)體層；

其中，所述柵極絕緣層的第一厚度大于所述柵極絕緣層的第二厚度，且所述柵極絕緣層的外表面為一平坦面。

8.如權(quán)利要求7所述的顯示面板，其特征在于，所述柵極絕緣層的第一厚度介于到之間。

9.如權(quán)利要求7所述的顯示面板，其特征在于，所述柵極絕緣層的第二厚度介于到之間。

10.一種顯示面板的制造方法，其特征在于，包括：

提供一基板；

設(shè)置一柵極層于所述基板上；

設(shè)置一柵極絕緣層于所述基板上，并覆蓋所述柵極層，其中，所述柵極絕緣層具有第一厚度；

通過一光罩，刻蝕位于所述柵極層之上的所述柵極絕緣層，并使位于所述柵極層上的所述柵極絕緣層具有第二厚度，且所述柵極絕緣層具有一外表面；

設(shè)置一半導(dǎo)體層于所述柵極絕緣層上；

設(shè)置一源極層和一漏極層于所述半導(dǎo)體層上，并暴露出部分所述半導(dǎo)體層；

設(shè)置一鈍化層于所述基板上，所述鈍化層覆蓋所述源極層，所述漏極層及所述半導(dǎo)體層；

其中，所述第一厚度為所述第二厚度為