[發明專利]具有微納減反射層的太陽能光伏玻璃的制備方法

有效

• 申請號: 201710948030.9
• 申請日: 2017-10-12
• 公開（公告）號: CN107863393B
• 公開（公告）日: 2019-05-17
• 發明（設計）人: 檀滿林;代梅;田勇
• 申請（專利權）人: 深圳清華大學研究院
• 主分類號: H01L31/0216
• 分類號: H01L31/0216;C03C17/30
• 代理公司: 深圳市鼎言知識產權代理有限公司 44311
• 代理人: 盧亞紅;曾昭毅

一種具有微納減反射層的太陽能光伏玻璃的制備方法，其包括如下步驟：a.將玻璃基片置于氧氣等離子體中刻蝕，以制得改性玻璃基片；b.在該改性玻璃基片的表面涂覆一層有機硅附著力促進劑，以形成有機硅附著力促進劑鍍層；c.在該有機硅附著力促進劑鍍層的表面涂覆一層光刻膠，以形成光刻膠鍍層；d.將含有該光刻膠鍍層的玻璃基板放在真空壓印設備進行壓印，并采用紫外光源照射，待該光刻膠固化成型停止照射，以制得減反射層前驅體；e.移除該真空壓印設備，將該減反射層前驅體放入等離子體刻蝕腔中，加入反應氣體對玻璃基片進行刻蝕反應，以制得具有微納減反射層的太陽能光伏玻璃。本發明的制備工藝簡單，且制得的太陽能光伏玻璃具有高分辨率及高光轉化效率性能。

技術領域

本發明屬于減反射層的制備技術領域，尤其涉及一種具有微納減反射層的太陽能光伏玻璃的制備方法。

背景技術

光伏發電備受世界的關注，并且光伏技術廣泛應用于太陽能電池。太陽能電池通常安裝在戶外條件，雖然其表面的玻璃基片能夠起到防塵、防濕及避免外部沖擊的作用，但是玻璃基片堆積的污染物易吸收太陽光并能夠使太陽光發生散射，以及大氣和玻璃基片之間折射率失配，從而使得入射光到達太陽能電池表面時會產生大量的反射和折射，進而降低太陽能電池的光電轉化率。

現有的太陽能電池在玻璃基片的表面設計微納結構層來減少太陽光的反射和散射，并通過微納結構層的自清潔功能保持太陽電池板在惡劣環境下具備較佳的光伏性能。現有的構建玻璃基片表面的微納結構層的方法包括電子束光刻、聚焦離子束光刻、激光干涉光刻、納米球光刻和嵌段共聚物光刻工藝等。然而，這些制備方法存在制備工藝復雜、成本較高、分辨率較差等缺點，因此在工業生產應用過程中容易受限，不適合大規模生產。

發明內容

鑒于以上內容，有必要提供一種制備工藝簡單、成本低廉及高分辨率的具有微納減反射層的太陽能光伏玻璃的制備方法。

一種具有微納減反射層的太陽能光伏玻璃的制備方法，其包括如下步驟：

a.將玻璃基片置于氧氣等離子體中刻蝕，以制得改性玻璃基片；

b.在所述改性玻璃基片的表面涂覆一層有機硅附著力促進劑，以形成有機硅附著力促進劑鍍層；

c.在所述有機硅附著力促進劑鍍層的表面涂覆一層光刻膠，以形成光刻膠鍍層；

d.將含有所述光刻膠鍍層的玻璃基板放在真空壓印設備進行壓印，并采用紫外光源照射，待所述光刻膠固化成型停止照射，以制得微納減反射層前驅體；以及

e.移除所述真空壓印設備，將所述微納減反射層前驅體放入等離子體刻蝕腔中，加入反應氣體對所述玻璃基片進行刻蝕反應，并在反應結束后進行清洗及干燥處理，以制得具有微納減反射層的太陽能光伏玻璃。

在一實施例中，在步驟a之前還包括清洗并干燥所述玻璃基片。

在一實施例中，所述清洗玻璃基片步驟所用的清洗劑選自丙酮、乙醇、無水乙醇或異丙醇中的一種或幾種的組合。

在一實施例中，步驟b之前還包括將所述改性玻璃基片進行烘烤處理，所述烘烤的溫度為200-220℃，烘烤的時間為25-30min。

在一實施例中，步驟c之前還包括將所述有機硅附著力促進劑鍍層進行烘烤處理，所述烘烤的溫度為150-160℃，烘烤的時間為5-7min。

在一實施例中，步驟d之前還包括將所述光刻膠鍍層進行烘烤處理，所述烘烤的溫度為80-90℃，烘烤的時間為2-3min。

在一實施例中，所述光刻膠包括有機硅和有機氟化合物。

在一實施例中，所述真空壓印設備具有倒V型的鎳模具，以使所述減反射層前驅體形成V型的微納結構。