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[發明專利]具有微納減反射層的太陽能光伏玻璃的制備方法有效

專利信息
申請號: 201710948030.9 申請日: 2017-10-12
公開(公告)號: CN107863393B 公開(公告)日: 2019-05-17
發明(設計)人: 檀滿林;代梅;田勇 申請(專利權)人: 深圳清華大學研究院
主分類號: H01L31/0216 分類號: H01L31/0216;C03C17/30
代理公司: 深圳市鼎言知識產權代理有限公司 44311 代理人: 盧亞紅;曾昭毅
地址: 518057 廣東省深圳市南山區高*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 具有 微納減 反射層 太陽能 玻璃 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種具有微納減反射層的太陽能光伏玻璃的制備方法,其包括如下步驟:

a.將玻璃基片置于氧氣等離子體中刻蝕,以制得改性玻璃基片;

b.在所述改性玻璃基片的表面涂覆一層有機硅附著力促進劑,以形成有機硅附著力促進劑鍍層;

c.在所述有機硅附著力促進劑鍍層的表面涂覆一層光刻膠,以形成光刻膠鍍層;

d.將含有所述光刻膠鍍層的玻璃基板放在真空壓印設備進行壓印,并采用紫外光源照射,待所述光刻膠固化成型停止照射,以制得微納減反射層前驅體;以及

e.移除所述真空壓印設備,將所述微納減反射層前驅體放入等離子體刻蝕腔中,加入反應氣體對所述玻璃基片進行刻蝕反應,并在反應結束后進行清洗及干燥處理,以制得具有微納減反射層的太陽能光伏玻璃。

2.如權利要求1所述的太陽能光伏玻璃的制備方法,其特征在于,在步驟a之前還包括清洗并干燥所述玻璃基片。

3.如權利要求2所述的太陽能光伏玻璃的制備方法,其特征在于,所述清洗玻璃基片步驟所用的清洗劑選自丙酮、乙醇、無水乙醇或異丙醇中的一種或幾種的組合。

4.如權利要求1所述的太陽能光伏玻璃的制備方法,其特征在于,步驟b之前還包括將所述改性玻璃基片進行烘烤處理,所述烘烤的溫度為200-220℃,烘烤的時間為25-30min。

5.如權利要求1所述的太陽能光伏玻璃的制備方法,其特征在于,步驟c之前還包括將所述有機硅附著力促進劑鍍層進行烘烤處理,所述烘烤的溫度為150-160℃,烘烤的時間為5-7min。

6.如權利要求1所述的太陽能光伏玻璃的制備方法,其特征在于,步驟d之前還包括將所述光刻膠鍍層進行烘烤處理,所述烘烤的溫度為80-90℃,烘烤的時間為2-3min。

7.如權利要求1所述的太陽能光伏玻璃的制備方法,其特征在于,所述光刻膠包括有機硅和有機氟化合物。

8.如權利要求1所述的太陽能光伏玻璃的制備方法,其特征在于,所述真空壓印設備具有倒V型的鎳模具,以使所述減反射層前驅體形成V型的微納結構。

9.如權利要求1所述的太陽能光伏玻璃的制備方法,其特征在于,所述真空壓印設備的壓印壓力為100-105Pa,所述紫外光源照射的強度為4.4-4.8mW/cm2,所述紫外光源照射的時間為4-5min。

10.如權利要求1所述的太陽能光伏玻璃的制備方法,其特征在于,所述反應氣體為SF6和O2的混合氣體,所述刻蝕反應的時間為16-18min,所述刻蝕反應的功率為100-110W,所述刻蝕反應的氣壓為0.25-0.30Pa。

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