[發明專利]具有微納減反射層的太陽能光伏玻璃的制備方法

有效

• 申請號: 201710948030.9
• 申請日: 2017-10-12
• 公開（公告）號: CN107863393B
• 公開（公告）日: 2019-05-17
• 發明（設計）人: 檀滿林;代梅;田勇
• 申請（專利權）人: 深圳清華大學研究院
• 主分類號: H01L31/0216
• 分類號: H01L31/0216;C03C17/30
• 代理公司: 深圳市鼎言知識產權代理有限公司 44311
• 代理人: 盧亞紅;曾昭毅

1.一種具有微納減反射層的太陽能光伏玻璃的制備方法，其包括如下步驟：

a.將玻璃基片置于氧氣等離子體中刻蝕，以制得改性玻璃基片；

b.在所述改性玻璃基片的表面涂覆一層有機硅附著力促進劑，以形成有機硅附著力促進劑鍍層；

c.在所述有機硅附著力促進劑鍍層的表面涂覆一層光刻膠，以形成光刻膠鍍層；

d.將含有所述光刻膠鍍層的玻璃基板放在真空壓印設備進行壓印，并采用紫外光源照射，待所述光刻膠固化成型停止照射，以制得微納減反射層前驅體；以及

e.移除所述真空壓印設備，將所述微納減反射層前驅體放入等離子體刻蝕腔中，加入反應氣體對所述玻璃基片進行刻蝕反應，并在反應結束后進行清洗及干燥處理，以制得具有微納減反射層的太陽能光伏玻璃。

2.如權利要求1所述的太陽能光伏玻璃的制備方法，其特征在于，在步驟a之前還包括清洗并干燥所述玻璃基片。

3.如權利要求2所述的太陽能光伏玻璃的制備方法，其特征在于，所述清洗玻璃基片步驟所用的清洗劑選自丙酮、乙醇、無水乙醇或異丙醇中的一種或幾種的組合。

4.如權利要求1所述的太陽能光伏玻璃的制備方法，其特征在于，步驟b之前還包括將所述改性玻璃基片進行烘烤處理，所述烘烤的溫度為200-220℃，烘烤的時間為25-30min。

5.如權利要求1所述的太陽能光伏玻璃的制備方法，其特征在于，步驟c之前還包括將所述有機硅附著力促進劑鍍層進行烘烤處理，所述烘烤的溫度為150-160℃，烘烤的時間為5-7min。

6.如權利要求1所述的太陽能光伏玻璃的制備方法，其特征在于，步驟d之前還包括將所述光刻膠鍍層進行烘烤處理，所述烘烤的溫度為80-90℃，烘烤的時間為2-3min。

7.如權利要求1所述的太陽能光伏玻璃的制備方法，其特征在于，所述光刻膠包括有機硅和有機氟化合物。

8.如權利要求1所述的太陽能光伏玻璃的制備方法，其特征在于，所述真空壓印設備具有倒V型的鎳模具，以使所述減反射層前驅體形成V型的微納結構。

9.如權利要求1所述的太陽能光伏玻璃的制備方法，其特征在于，所述真空壓印設備的壓印壓力為100-105Pa，所述紫外光源照射的強度為4.4-4.8mW/cm²，所述紫外光源照射的時間為4-5min。

10.如權利要求1所述的太陽能光伏玻璃的制備方法，其特征在于，所述反應氣體為SF₆和O₂的混合氣體，所述刻蝕反應的時間為16-18min，所述刻蝕反應的功率為100-110W，所述刻蝕反應的氣壓為0.25-0.30Pa。