[發(fā)明專利]一種雙面氧化鋁P型PERC太陽能電池及制作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710937780.6
• 申請日: 2017-10-10
• 公開（公告）號: CN107887453B
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫涌濤
• 申請（專利權(quán)）人: 橫店集團(tuán)東磁股份有限公司
• 主分類號: H01L31/0216
• 分類號: H01L31/0216;H01L31/18
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 33109
• 代理人: 尉偉敏

1.一種雙面氧化鋁P型PERC太陽能電池，其特征在于：包括硅片（3）和設(shè)于所述硅片正面的兩個正電極（7）；所述硅片正面依次設(shè)有正面氮化硅膜（2）和正面氧化鋁膜（1）；硅片背面依次設(shè)有背面氧化鋁膜（4）、背面氮化硅膜（5）、背電極/場（6）；

所述的雙面氧化鋁P型PERC太陽能電池的制作方法包括以下步驟：

1）清洗、制絨；

2）擴(kuò)散制PN結(jié)；

3）刻蝕；

4）正面鍍氮化硅膜：采用PECVD方式，在步驟（3）刻蝕好的硅片正面鍍70-80nm厚的氮化硅膜；

5）雙面鍍氧化鋁膜：將步驟4）正面鍍好氮化硅膜的硅片，插入鋁質(zhì)花籃中，每個卡槽插1片，放入氧化鋁鍍膜設(shè)備中，在真空條件下，以原子沉積的方式周期性通入TMA和水蒸氣，在硅片正面、背面同時制作一層厚度為3-10nm氧化鋁膜層；

6）背面鍍氮化硅膜：將步驟5）雙面鍍好氧化鋁的硅片利用PECVD方式，在硅片背面鍍100-180nm厚的氮化硅膜；

7）激光開槽；

8）絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)。

2.如權(quán)利要求1所述的一種雙面氧化鋁P型PERC太陽能電池，其特征在于，步驟1）中，清洗、制絨的具體過程為：將P型硅片用雙氧水清洗后，置于80±2℃、濃度為3-4%的堿中制絨10-20min，然后用鹽酸、氫氟酸清洗1-3min，純水清洗1-3min后烘干。

3.如權(quán)利要求1所述的一種雙面氧化鋁P型PERC太陽能電池，其特征在于，步驟2）中，擴(kuò)散制PN結(jié)的具體過程為：將步驟1）制絨后的硅片在720-850℃下，通入三氯氧磷、氮氣和氧氣，制作方阻為85±5 ohm/squ的PN結(jié)。

4.如權(quán)利要求1所述的一種雙面氧化鋁P型PERC太陽能電池，其特征在于，步驟3）中，刻蝕的具體過程為：對步驟2）PN結(jié)制作完畢的硅片進(jìn)行濕法刻蝕去除背面PN結(jié)，減重控制0.2-0.3g/片。

5.如權(quán)利要求1所述的一種雙面氧化鋁P型PERC太陽能電池，其特征在于，步驟7）中，激光開槽的具體過程為：將步驟6）處理后的硅片，利用激光在背面氮化硅膜上均勻開孔徑為35-45μm的槽線，線數(shù)170-200根。

6.如權(quán)利要求1所述的一種雙面氧化鋁P型PERC太陽能電池，其特征在于，步驟8）中，絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)的具體過程為：對步驟7）處理后的硅片，分別印刷背電極、背電場、正電極，最后燒結(jié)形成雙面氧化鋁P型PERC太陽能電池。

7.如權(quán)利要求1所述的一種雙面氧化鋁P型PERC太陽能電池，其特征在于，步驟5）中，通入TMA和水蒸氣的每個周期過程為：通入1.5-2.5秒TMA，氮氣清洗2.5-3.5秒，通入水蒸氣1-2秒，氮氣清洗4-6秒，總周期數(shù)為要40-60個。