[發(fā)明專利]一種在ITO表面進(jìn)行化學(xué)鍍銅鎳合金的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710930045.2
• 申請日: 2017-10-09
• 公開（公告）號: CN107557772B
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王杰然
• 申請（專利權(quán)）人: 福建省飛陽光電股份有限公司
• 主分類號: C23C18/48
• 分類號: C23C18/48;C23C18/18;C03C17/10
• 代理公司: 泉州君典專利代理事務(wù)所(普通合伙) 35239
• 代理人: 陳曉艷

一種在ITO表面進(jìn)行化學(xué)鍍銅鎳合金的方法，包括以下步驟：脫脂→微蝕→活化→還原處理→化學(xué)鍍銅鎳合金→烘烤除氫，活化：將經(jīng)過微蝕處理的ITO玻璃置于鈀活化劑中進(jìn)行活化，活化后過水漂洗；化學(xué)鍍銅鎳合金：將經(jīng)過還原處理的ITO玻璃置于PH＝4?5、皮膜應(yīng)力為±0的化學(xué)鍍液中進(jìn)行化學(xué)鍍銅鎳合金，之后將已經(jīng)化學(xué)鍍銅鎳合金的ITO玻璃過水漂洗，其中，化學(xué)鍍液的成分包括：NiSO₄·6H₂O：20?26g/L、CuSO₄·5H₂O：18?22g/L、NaH₂PO₂·H₂O：16?20g/L、醋酸：27?33g/L、丙酸：10?14g/L、穩(wěn)定劑：1.8?2.2mg/L。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及化學(xué)金屬鍍層技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種在ITO表面進(jìn)行化學(xué)鍍銅鎳合金的方法。

背景技術(shù)

ITO薄膜是一種半導(dǎo)體材料，具有優(yōu)異的光電特性和導(dǎo)電性，在觸摸屏技術(shù)方面得到了廣泛的應(yīng)用。在電容式觸摸屏玻璃基板表面進(jìn)行ITO濺鍍后，使其成為雙面ITO，不在同一面的ITO膜需要通過其四邊邊緣的ITO導(dǎo)線連通，為了降低控制芯片輸入阻抗限制，就必須降低邊緣的ITO電阻，而在ITO連通導(dǎo)線上覆蓋一層金屬鎳層用于大大降低其電阻。

化學(xué)鍍鎳又稱無電解鍍鎳，其工藝是美國A.Brenner和G.Riddel于1946年在實驗室研究成功的，已在工業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用。化學(xué)鍍鎳在觸摸屏功能片的ITO連通到線上的應(yīng)用較少，且存在以下問題，在化學(xué)鍍鎳的活化步驟中，現(xiàn)有技術(shù)采用PdCl₂作為活化劑，會導(dǎo)致電極與電極之間不需鍍鎳的地方鍍上導(dǎo)電物質(zhì)，從而鍍鎳效果較差，中國專利文獻(xiàn)CN 104445997 A公開了一種電容式觸摸屏表面進(jìn)行化學(xué)鍍鎳的方法，包括以下步驟：將ITO薄膜玻璃一次進(jìn)行脫脂處理、蝕刻處理、活化處理、還原處理和化學(xué)鍍鎳，活化處理采用的活化劑按照如下的方法制備：將PdCl₂、去離子水、濃鹽酸混合，在50℃下加熱，得到H₂PdCl₄溶液；向所述H₂PdCl₄溶液中加入二亞乙基三胺、氯化亞錫、氯化鉀，在50℃下保持4h，蒸除溶劑后得到鈀復(fù)合物；將鈀復(fù)合物溶于N-甲基吡咯烷酮中得到鈀復(fù)合物的NMP溶液，最后將鈀復(fù)合物的NMP溶液與二乙二醇單乙醚、二縮水甘油醚丁烷混合，得活化劑，與現(xiàn)有技術(shù)相比，采用上述發(fā)明制備的活化劑進(jìn)行活化，避免了在化學(xué)鍍鎳步驟中電極與電極之間不需鍍處被鍍上導(dǎo)電物質(zhì)，從而保證了具有良好的鍍鎳效果，但是金屬鎳層降低的ITO連通導(dǎo)線的電阻小、導(dǎo)電力不強，有待進(jìn)一步改進(jìn)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點，提供一種電阻小、導(dǎo)電力強的在ITO表面進(jìn)行化學(xué)鍍銅鎳合金的方法。

本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：

一種在ITO表面進(jìn)行化學(xué)鍍銅鎳合金的方法，包括以下步驟：脫脂→微蝕→活化→還原處理→化學(xué)鍍銅鎳合金→烘烤除氫，

活化：將經(jīng)過微蝕處理的ITO玻璃置于鈀活化劑中進(jìn)行活化，活化后過水漂洗，其中，活化劑按照如下方法制備：將PdCl₂、去離子水、濃鹽酸混合加熱制得到H₂PdCl₄溶液；向所述H₂PdCl₄溶液中加入二亞乙基三胺、氯化亞錫、氯化鉀，在45-55℃下保持3-5h，蒸除溶劑后得到鈀復(fù)合物；將鈀復(fù)合物溶于N-甲基吡咯烷酮中得到鈀復(fù)合物的NMP溶液，最后將鈀復(fù)合物的NMP溶液與二乙二醇單乙醚、二縮水甘油醚丁烷混合，得活化劑；