[發(fā)明專利]一種在ITO表面進(jìn)行化學(xué)鍍銅鎳合金的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710930045.2
• 申請日: 2017-10-09
• 公開（公告）號: CN107557772B
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王杰然
• 申請（專利權(quán)）人: 福建省飛陽光電股份有限公司
• 主分類號: C23C18/48
• 分類號: C23C18/48;C23C18/18;C03C17/10
• 代理公司: 泉州君典專利代理事務(wù)所(普通合伙) 35239
• 代理人: 陳曉艷

1.一種在ITO表面進(jìn)行化學(xué)鍍銅鎳合金的方法，其特征在于：包括以下步驟：脫脂→微蝕→活化→還原處理→化學(xué)鍍銅鎳合金→烘烤除氫，

活化：將經(jīng)過微蝕處理的ITO玻璃置于鈀活化劑中進(jìn)行活化，活化后過水漂洗，其中，活化劑按照如下方法制備：將PdCl₂、去離子水、濃鹽酸混合加熱制得到H₂PdCl₄溶液；向所述H₂PdCl₄溶液中加入二亞乙基三胺、氯化亞錫、氯化鉀，在45-55℃下保持3-5h，蒸除溶劑后得到鈀復(fù)合物；將鈀復(fù)合物溶于N-甲基吡咯烷酮中得到鈀復(fù)合物的NMP溶液，最后將鈀復(fù)合物的NMP溶液與二乙二醇單乙醚、二縮水甘油醚丁烷混合，得活化劑；

化學(xué)鍍銅鎳合金：將經(jīng)過還原處理的ITO玻璃置于PH＝4-5、皮膜應(yīng)力為±0的化學(xué)鍍液中進(jìn)行化學(xué)鍍銅鎳合金，之后將已經(jīng)化學(xué)鍍銅鎳合金的ITO玻璃過水漂洗，其中，化學(xué)鍍液的成分包括：NiSO₄·6H₂O：20-26g/L、CuSO₄·5H₂O：18-22g/L、NaH₂PO₂·H₂O：16-20g/L、醋酸：27-33g/L、丙酸：10-14g/L、穩(wěn)定劑：1.8-2.2mg/L；

所述穩(wěn)定劑為乙酸鉛或碘酸鉀。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在ITO表面進(jìn)行化學(xué)鍍銅鎳合金的方法，其特征在于：所述活化劑按照如下方法制備：將4.32-4.76nmol的PdCl₂、40-60ml的去離子水、0.5-1.5ml的濃鹽酸混合，在40-60℃下加熱，得到H₂PdCl₄溶液；向所述H₂PdCl₄溶液中加入4.28-4.78nmol的二亞乙基三胺、2.02-2.45nmol的氯化亞錫、1.84-2.26nmol的氯化鉀，在45-55℃下保持3-5h，蒸除溶劑后得到鈀復(fù)合物；將鈀復(fù)合物取6-10mg溶于5-15ml的N-甲基吡咯烷酮中得到鈀復(fù)合物的NMP溶液，最后將鈀復(fù)合物的NMP溶液與40-60ml的二乙二醇單乙醚、0.305-0.375ml的二縮水甘油醚丁烷混合，得活化劑。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在ITO表面進(jìn)行化學(xué)鍍銅鎳合金的方法，其特征在于：所述脫脂包括：將ITO玻璃放在1.5-2.5mol/L的堿性溶液中進(jìn)行浸漬處理，溫度45-55℃，時(shí)間2-4min，然后分別放入熱水和冷水清洗，堿性溶液包括以下成分：17-23g/L的NaHCO₃、14-18g/L的KOH、18-22g/L的Na₃PO₄和2-6g/L的烷基酚聚氧乙烯醚、去離子水。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在ITO表面進(jìn)行化學(xué)鍍銅鎳合金的方法，其特征在于：所述微蝕包括：將經(jīng)過脫脂處理后的ITO玻璃放入酸性蝕刻劑中進(jìn)行處理，溫度常溫，時(shí)間3-5min，然后過水漂洗，酸性蝕刻劑為4.5-5.5g/L的HCl。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在ITO表面進(jìn)行化學(xué)鍍銅鎳合金的方法，其特征在于：所述還原處理包括:將經(jīng)過活化處理的ITO玻璃置于還原劑溶液中進(jìn)行處理，溫度為45-55℃，時(shí)間2-4min，然后過水漂洗，還原劑溶液為12-18g/L的NaH₂PO₂·H₂O。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在ITO表面進(jìn)行化學(xué)鍍銅鎳合金的方法，其特征在于：所述烘烤除氫包括：將經(jīng)過化學(xué)鍍銅鎳合金的ITO玻璃置于130-180℃的烤箱中烘烤25-35min，即得成品。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在ITO表面進(jìn)行化學(xué)鍍銅鎳合金的方法，其特征在于：所述化學(xué)鍍液的溫度為75-90℃。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或7所述的一種在ITO表面進(jìn)行化學(xué)鍍銅鎳合金的方法，其特征在于：所述化學(xué)鍍液的時(shí)間為4-6min。