[發(fā)明專(zhuān)利]蒸鍍?cè)O(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710922695.2
• 申請(qǐng)日: 2017-09-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107587111B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃俊淞;蘇志瑋;付瀟
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/24
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/24;C23C14/50;C23C14/12
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤(rùn)湘

本發(fā)明公開(kāi)了一種蒸鍍?cè)O(shè)備，以降低蒸鍍生產(chǎn)成本，提高蒸鍍品質(zhì)和蒸鍍生產(chǎn)效率。蒸鍍?cè)O(shè)備包括：在水平面內(nèi)拼接的多個(gè)蒸鍍腔單元；每個(gè)蒸鍍腔單元所連接的承載架，位于蒸鍍腔單元的下方；每個(gè)承載架所連接的第一支撐桿，沿第一水平方向設(shè)置；第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，與各個(gè)第一支撐桿的同一側(cè)端部連接，并能夠驅(qū)動(dòng)第一支撐桿沿第一水平方向、第二水平方向及高度方向移動(dòng)，其中，第二水平方向與所述第一水平方向正交。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種蒸鍍?cè)O(shè)備。

背景技術(shù)

蒸鍍工藝，是指在一定的真空條件下加熱蒸鍍材料，使蒸鍍材料熔化(或升華)成原子、分子或原子團(tuán)組成的蒸氣，然后凝結(jié)在基板表面成膜的過(guò)程。蒸鍍工藝由于其技術(shù)穩(wěn)定，已被廣泛應(yīng)用于有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode，有機(jī)發(fā)光二級(jí)管，以下簡(jiǎn)稱(chēng)OLED)、太陽(yáng)能電池及半導(dǎo)體芯片等的制備中。

以O(shè)LED蒸鍍工藝為例，隨著目前市場(chǎng)對(duì)OLED產(chǎn)品的尺寸需求朝著更大的方向前進(jìn)，OLED蒸鍍?cè)O(shè)備的大型化必將成為未來(lái)發(fā)展的一大趨勢(shì)。在OLED蒸鍍?cè)O(shè)備大型化的發(fā)展趨勢(shì)下，如何降低設(shè)備及原材料成本，提高蒸鍍品質(zhì)和蒸鍍生產(chǎn)效率，是目前亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例的目的是提供一種蒸鍍?cè)O(shè)備，以降低蒸鍍生產(chǎn)成本，提高蒸鍍品質(zhì)和蒸鍍生產(chǎn)效率。

本發(fā)明實(shí)施例所提供的蒸鍍?cè)O(shè)備，包括：

在水平面內(nèi)拼接的多個(gè)蒸鍍腔單元；

每個(gè)所述蒸鍍腔單元所連接的承載架，位于所述蒸鍍腔單元的下方；

每個(gè)所述承載架所連接的第一支撐桿，沿第一水平方向設(shè)置；

第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，與各個(gè)所述第一支撐桿的同一側(cè)端部連接，并能夠驅(qū)動(dòng)所述第一支撐桿沿第一水平方向、第二水平方向及高度方向移動(dòng)，所述第二水平方向與所述第一水平方向正交。

在本發(fā)明實(shí)施例技術(shù)方案中，多個(gè)蒸鍍腔單元在水平面內(nèi)能夠拼接成一個(gè)較大尺寸規(guī)格的蒸鍍?cè)矗捎诘谝或?qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠驅(qū)動(dòng)第一支撐桿沿第一水平方向、第二水平方向及高度方向移動(dòng)，因此，可以根據(jù)需要將一定數(shù)量的蒸鍍腔單元拼接成所需的尺寸規(guī)格，而蒸鍍腔單元仍可以采用常規(guī)較為成熟的規(guī)格設(shè)計(jì)。采用該技術(shù)方案，可以根據(jù)所需蒸鍍?cè)吹囊?guī)格靈活的進(jìn)行拼裝，操作、維護(hù)簡(jiǎn)便，適用范圍廣，從而降低了蒸鍍生產(chǎn)成本，提高了蒸鍍生產(chǎn)效率；由于蒸鍍腔單元可以采用目前較為成熟的規(guī)格設(shè)計(jì)，因此，在基板上蒸鍍形成的膜層的厚度均勻性較好，蒸鍍品質(zhì)較高；由于蒸鍍腔單元各自獨(dú)立，因此，不同蒸鍍腔單元可以同時(shí)蒸鍍不同材料，從而提高了蒸鍍效率；由于蒸鍍腔單元各自獨(dú)立，不同蒸鍍腔單元的蒸鍍材料不會(huì)混合污染，因此蒸鍍材料還可以回收利用，從而進(jìn)一步節(jié)約了成本。

優(yōu)選的，所述多個(gè)蒸鍍腔單元在水平面內(nèi)呈矩陣狀拼接；所述第一方向?yàn)樗龆鄠€(gè)蒸鍍腔單元的行排列方向，所述第二方向?yàn)樗龆鄠€(gè)蒸鍍腔單元的列排列方向。

較佳的，沿所述第一水平方向，相鄰兩個(gè)所述蒸鍍腔單元的相面對(duì)的兩個(gè)拼接端，其中一個(gè)拼接端設(shè)置有多個(gè)銷(xiāo)柱，另一個(gè)拼接端對(duì)應(yīng)每個(gè)所述銷(xiāo)柱設(shè)置有銷(xiāo)孔；沿所述第二水平方向，相鄰兩個(gè)所述蒸鍍腔單元的相面對(duì)的兩個(gè)拼接端，其中一個(gè)拼接端設(shè)置有多個(gè)銷(xiāo)柱，另一個(gè)拼接端對(duì)應(yīng)每個(gè)所述銷(xiāo)柱設(shè)置有銷(xiāo)孔。

優(yōu)選的，所述第一支撐桿為伸縮桿。這樣可以使多個(gè)蒸鍍腔單元在非工作狀態(tài)呈緊湊排列，從而減小占用空間。

較佳的，所述多個(gè)蒸鍍腔單元的高度尺寸相同。

較佳的，沿遠(yuǎn)離所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的方向，所述承載架的高度尺寸依次增大，且所述承載架所對(duì)應(yīng)連接的所述第一支撐桿的高度位置依次降低。