[發明專利]蒸鍍設備

有效

• 申請號: 201710922695.2
• 申請日: 2017-09-30
• 公開（公告）號: CN107587111B
• 公開（公告）日: 2019-04-02
• 發明（設計）人: 黃俊淞;蘇志瑋;付瀟
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/50;C23C14/12
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤湘

1.一種蒸鍍設備，其特征在于，包括：

在水平面內拼接的多個蒸鍍腔單元；

每個所述蒸鍍腔單元所連接的承載架，位于所述蒸鍍腔單元的下方；

每個所述承載架所連接的第一支撐桿，沿第一水平方向設置；

第一驅動機構，與各個所述第一支撐桿的同一側端部連接，并能夠驅動所述第一支撐桿沿第一水平方向、第二水平方向及高度方向移動，所述第二水平方向與所述第一水平方向正交。

2.如權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于，

所述多個蒸鍍腔單元在水平面內呈矩陣狀拼接；

所述第一水平方向為所述多個蒸鍍腔單元的行排列方向，所述第二水平方向為所述多個蒸鍍腔單元的列排列方向。

3.如權利要求2所述的蒸鍍設備，其特征在于，

沿所述第一水平方向，相鄰兩個所述蒸鍍腔單元的相面對的兩個拼接端，其中一個拼接端設置有多個銷柱，另一個拼接端對應每個所述銷柱設置有銷孔；

沿所述第二水平方向，相鄰兩個所述蒸鍍腔單元的相面對的兩個拼接端，其中一個拼接端設置有多個銷柱，另一個拼接端對應每個所述銷柱設置有銷孔。

4.如權利要求2所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述第一支撐桿為伸縮桿。

5.如權利要求4所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述多個蒸鍍腔單元的高度尺寸相同。

6.如權利要求5所述的蒸鍍設備，其特征在于，沿遠離所述第一驅動機構的方向，所述承載架的高度尺寸依次增大，且所述承載架所對應連接的所述第一支撐桿的高度位置依次降低。

7.如權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于，還包括：

多個第二支撐桿，沿第一水平方向設置，且與距離所述第一驅動機構最遠的承載架連接；

第二驅動機構，與所述多個第二支撐桿連接，并能夠驅動所述多個第二支撐桿沿第一水平方向移動。

8.如權利要求7所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述第二支撐桿為伸縮桿。

9.如權利要求7所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述距離所述第一驅動機構最遠的承載架具有用于與所述第二支撐桿插接的孔槽。

10.如權利要求7所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述多個第二支撐桿分布于至少兩個高度位置。