[發明專利]有機發光顯示面板的制備方法及有機發光顯示面板

在審

• 申請號: 201710914989.0
• 申請日: 2017-09-29
• 公開（公告）號: CN107732031A
• 公開（公告）日: 2018-02-23
• 發明（設計）人: 邢紅燕;宋勇;鄭義;尹巖巖;宋玉冰;程丕建;付偉鵬
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L51/50;H01L27/32
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司11021
• 代理人: 黃亮

技術領域

本公開涉及顯示器件制造領域，更具體地涉及有機發光顯示面板的制備方法和相應的有機發光顯示面板。

背景技術

有機發光顯示面板是采用有機發光二極管(OLED)的顯示設備。在OLED中，作為主要功能層的電致發光(Electroluminescent或簡稱為EL)層是響應于電流而發光的一層有機化合物薄膜。該層有機化合物薄膜位于兩個電極(陰極和陽極)層之間，并在兩個電極的作用下發光。由于兩個電極中的至少一個電極通常是透明的，因此電致發光層所發出的光可以穿過透明的電極以及其它各透明層，并最終到達用戶的眼睛，使用戶觀察到圖像。

然而，在制備有機發光顯示面板時，由于其具有多層精細結構，因此各層之間需要非常精確地對位。否則，可能會使用于不同顏色像素的不同有機發光材料之間產生混色，從而導致所生產的OLED面板的良率降低。

發明內容

為了至少部分解決或減輕上述對位不準的問題，提供了根據本公開實施例的有機發光顯示面板的制備方法以及相應的有機發光顯示面板。

根據本公開的第一方面，提供了一種有機發光顯示面板的制備方法。該方法包括：在基板上形成與待形成的發光層圖案互補的犧牲層圖案；在形成有所述犧牲層圖案的基板上形成發光材料；以及去除所述犧牲層圖案及其上的發光材料，以形成所述發光層圖案。

在一些實施例中，在基板上形成與待形成的發光層圖案互補的犧牲層圖案的步驟包括：以濺射方式在所述基板上形成所述犧牲層圖案。在一些實施例中，在基板上形成與待形成的發光層圖案互補的犧牲層圖案的步驟包括：在所述基板上形成厚度高于待形成的發光層圖案的犧牲層圖案。在一些實施例中，所述犧牲層的圖案的高度是所述發光層圖案的高度的兩倍。在一些實施例中，所述犧牲層圖案是由金屬元素構成的圖案。在一些實施例中，所述金屬元素為以下各項之一：鉻、鎢、金。在一些實施例中，去除所述犧牲層圖案及其上的發光材料的步驟包括：使用干法刻蝕來去除所述犧牲層圖案及其上的發光材料。在一些實施例中，使用干法刻蝕來去除所述犧牲層圖案及其上的發光材料的步驟包括：使用化學性干法刻蝕來去除所述犧牲層圖案；以及將刻蝕后形成的氣態副產品連同所述犧牲層圖案上的發光材料一起排出反應室。在一些實施例中，所述干法刻蝕所采用的刻蝕氣是以下各項之一：CF₄、SF₆、C₂Cl₂F₄。在一些實施例中，在使用干法刻蝕時，將所述基板的具有所述犧牲層圖案的一面朝向下方，以使得所述犧牲層圖案上的發光材料隨著所述犧牲層被刻蝕掉而自然脫落。

根據本公開的第二方面，還提供了一種使用如根據本公開第一方面所述的方法制造的有機發光顯示面板。

通過使用根據本公開實施例的有機發光顯示面板的制備方法，可以在形成其發光層時避免由于高溫蒸鍍導致掩模板形變而造成的對位不準確的問題，使得EL層不會出現像素混色。

附圖說明

通過下面結合附圖說明本公開的優選實施例，將使本公開的上述及其它目的、特征和優點更加清楚，其中：

圖1是示出了根據本公開實施例的示例有機發光顯示面板的示例像素的截面圖；

圖2是示出了根據本公開實施例的在形成犧牲層圖案之后的像素局部截面圖；

圖3是示出了根據本公開實施例的在蒸鍍有機發光材料之后的像素局部截面圖；

圖4是示出了根據本公開實施例的在刻蝕犧牲層圖案時的像素局部截面圖；

圖5是示出了根據本公開實施例的在去除犧牲層圖案和多余的發光材料之后的像素局部截面圖；以及

圖6是示出了根據本公開實施例的用于制備有機發光顯示面板的示例方法的流程圖。

具體實施方式