[發(fā)明專利]光阻涂布設(shè)備及涂布方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710910823.1
• 申請(qǐng)日: 2017-09-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107490938B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-09-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 龔成波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/16
• 分類號(hào): G03F7/16
• 代理公司: 深圳市銘粵知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰

本發(fā)明公開(kāi)了一種光阻涂布設(shè)備，包括：工作臺(tái)，工作臺(tái)上表面間隔地開(kāi)設(shè)有多個(gè)用于朝上方的基板吹氣使基板懸浮的噴氣孔；噴頭組件，包括移動(dòng)架和噴頭，移動(dòng)架的移動(dòng)方向垂直于其長(zhǎng)度方向，噴頭用于朝基板噴涂光阻材料；檢測(cè)單元，固定在噴頭組件上，用于檢測(cè)噴頭頂部與基板之間的距離；控制器，用于根據(jù)檢測(cè)單元的檢測(cè)結(jié)果控制噴氣孔的噴出壓力，以調(diào)整基板的懸浮高度。本發(fā)明的光阻涂布設(shè)備可以使基板懸浮于工作臺(tái)上方，并利用噴頭朝基板噴涂光阻材料，避免了基板與工作平臺(tái)直接接觸產(chǎn)生靜電，也避免了噴頭或基板損傷，保證了光阻涂布厚度和品質(zhì)。同時(shí)，可在光阻涂布前對(duì)基板與噴頭之間的距離進(jìn)行校準(zhǔn)，進(jìn)一步保證了光阻的涂布厚度的均勻性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光阻涂布技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種光阻涂布設(shè)備及涂布方法。

背景技術(shù)

CF(color filter，即彩色濾光片)基板是LCD(Liquid Crystal Display，液晶顯示器)用來(lái)實(shí)現(xiàn)彩色顯示的主要器件，其基本構(gòu)成通常包括：玻璃基板、黑色矩陣(BlackMatrix，即BM)、彩色色阻層等。背光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)液晶分子的調(diào)制入射到CF基板，通過(guò)CF基板上彩色色阻層的紅色色阻、綠色色阻、以及藍(lán)色色阻的濾光作用，分別顯示紅，綠，藍(lán)三種光線，不同顏色的色阻分別透射對(duì)應(yīng)顏色波段的光，從而實(shí)現(xiàn)顯示器的彩色顯示。在CF制程當(dāng)中，包括光阻涂布、曝光、顯影等制程，其中，光阻涂布無(wú)疑是最為重要的一個(gè)環(huán)節(jié)，光阻涂布的均勻性以及光阻的厚度對(duì)于顯示效果都有很重要的影響。

為保證光阻涂布厚度的均一性，現(xiàn)有的光阻涂布機(jī)通常包括工作平臺(tái)、噴頭模塊和噴頭支架，工作平臺(tái)用于放置待噴涂光阻的基板，兩條噴頭支架相互平行，分別位于工作平臺(tái)的寬度方向的兩側(cè)，一排涂布噴頭集成在條狀的涂布噴頭模塊上，涂布噴頭模塊兩端分別與噴頭支架滑動(dòng)配合，涂布噴頭模塊在沿基板的長(zhǎng)度方向上來(lái)回移動(dòng)的過(guò)程中噴出光阻材料，對(duì)下方的基板進(jìn)行光阻的涂布。然而，此種涂布方式的基板表面極易產(chǎn)生一些微粒(Particle)，當(dāng)微粒介入到噴頭與基板之間，容易造成噴頭損傷或基板出現(xiàn)劃痕，從而影響光阻涂布厚度。同時(shí)，基板與工作平臺(tái)接觸還容易產(chǎn)生靜電，從而影響光阻涂布品質(zhì)。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明提供了一種光阻涂布設(shè)備及涂布方法，可以避免光阻涂布過(guò)程中產(chǎn)生靜電，也可以保證光阻涂布厚度。

為了實(shí)現(xiàn)上述的目的，本發(fā)明采用了如下的技術(shù)方案：

一種光阻涂布設(shè)備，包括：

工作臺(tái)，所述工作臺(tái)上表面間隔地開(kāi)設(shè)有多個(gè)用于朝上方的基板吹氣使所述基板懸浮的噴氣孔；

噴頭組件，包括沿水平方向上可移動(dòng)地設(shè)于所述工作臺(tái)上方的移動(dòng)架和沿所述移動(dòng)架長(zhǎng)度方向線性布置在所述移動(dòng)架底部的至少一排噴頭，所述移動(dòng)架的移動(dòng)方向垂直于所述移動(dòng)架的長(zhǎng)度方向，所述噴頭用于朝所述基板噴涂光阻材料；

檢測(cè)單元，固定在所述噴頭組件上，用于檢測(cè)所述噴頭頂部與所述基板之間的距離；

控制器，用于根據(jù)所述檢測(cè)單元的檢測(cè)結(jié)果控制所述噴氣孔的噴出壓力，以調(diào)整所述基板的懸浮高度。

作為其中一種實(shí)施方式，所述噴頭為多排，陣列設(shè)置在所述噴頭組件下表面。

作為其中一種實(shí)施方式，所述檢測(cè)單元固定在所述噴頭組件側(cè)面。

作為其中一種實(shí)施方式，所述噴頭包括噴腔和連接在所述噴腔底部的噴嘴，所述檢測(cè)單元伸入所述噴腔底部與所述工作臺(tái)之間，用于檢測(cè)所述噴腔底部與所述基板之間的距離。

作為其中一種實(shí)施方式，所述檢測(cè)單元為兩個(gè)，分別設(shè)于所述噴頭組件的兩端。

作為其中一種實(shí)施方式，所述工作臺(tái)上表面還間隔地開(kāi)設(shè)有多個(gè)吸氣孔。

作為其中一種實(shí)施方式，所述噴氣孔陣列設(shè)置，所述吸氣孔為多排，每排所述吸氣孔設(shè)于相鄰的兩排所述噴氣孔之間。