[發明專利]光阻涂布設備及涂布方法

有效

• 申請號: 201710910823.1
• 申請日: 2017-09-29
• 公開（公告）號: CN107490938B
• 公開（公告）日: 2020-09-08
• 發明（設計）人: 龔成波
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰

1.一種光阻涂布設備，其特征在于，包括：

工作臺(10)，所述工作臺(10)上表面間隔地開設有垂直于所述工作臺(10)的多個用于朝上方的基板(1)吹氣使所述基板(1)懸浮的噴氣孔(11)，以及與所述噴氣孔(11)呈一夾角設置的子噴氣孔(13)；

噴頭組件(20)，包括沿水平方向上可移動地設于所述工作臺(10)上方的移動架(21)和沿所述移動架(21)長度方向線性布置在所述移動架(21)底部的至少一排噴頭(200)，所述移動架(21)的移動方向垂直于所述工作臺(10)的長度方向，所述噴頭(200)用于朝所述基板(1)噴涂光阻材料；

多排滾輪(14)，所述滾輪(14)可滾動地設于所述工作臺(10)上，且所述滾輪(14)的部分滾輪面凸出于所述工作臺(10)上表面，所述滾輪(14)接地處理；所述基板(1)承載在所述滾輪(14)上時，所述子噴氣孔(13)朝所述基板(1)吹氣可使所述基板(1)在所述滾輪(14)上滾動進行傳輸；

檢測單元(30)，固定在所述噴頭組件(20)上，用于檢測所述噴頭(200)頂部與所述基板(1)之間的距離；

控制器，用于根據所述檢測單元(30)的檢測結果控制所述噴氣孔(11)的噴出壓力，以調整所述基板(1)的懸浮高度。

2.根據權利要求1所述的光阻涂布設備，其特征在于，所述噴頭(200)為多排，陣列設置在所述噴頭組件(20)下表面。

3.根據權利要求1所述的光阻涂布設備，其特征在于，所述檢測單元(30)固定在所述噴頭組件(20)側面。

4.根據權利要求1所述的光阻涂布設備，其特征在于，所述噴頭(200)包括噴腔(201)和連接在所述噴腔(201)底部的噴嘴(202)，所述檢測單元(30)伸入所述噴腔(201)底部與所述工作臺(10)之間，用于檢測所述噴腔(201)底部與所述基板(1)之間的距離。

5.根據權利要求1所述的光阻涂布設備，其特征在于，所述檢測單元(30)為兩個，分別設于所述噴頭組件(20)的兩端。

6.根據權利要求1-5任一所述的光阻涂布設備，其特征在于，所述工作臺(10)上表面還間隔地開設有多個吸氣孔(12)。

7.根據權利要求6所述的光阻涂布設備，其特征在于，所述噴氣孔(11)陣列設置，所述吸氣孔(12)為多排，每排所述吸氣孔(12)設于相鄰的兩排所述噴氣孔(11)之間。

8.一種使用權利要求1-7任一所述的光阻涂布設備的光阻涂布方法，其特征在于，包括測量所述噴頭(200)頂部與所述基板(1)之間的距離，計算所述噴頭(200)端部和所述基板(1)之間的間距，并根據所述噴頭(200)端部和所述基板(1)之間的間距與預定間隙值的差距調整所述基板(1)的懸浮高度，然后所述噴頭(200)開始噴涂并平移，直至噴涂完成；在所述工作臺(10)的噴氣孔(11)不工作時，所述基板(1)承載于所述滾輪(14)表面，所述子噴氣孔(13)朝所述基板(1)吹氣可使所述基板(1)在所述滾輪(14)上滾動進行傳輸。