[發明專利]蒸鍍掩膜板、OLED面板及系統及蒸鍍監控方法

有效

• 申請號: 201710910812.3
• 申請日: 2017-09-29
• 公開（公告）號: CN109585695B
• 公開（公告）日: 2020-01-24
• 發明（設計）人: 劉明星;李俊峰;王徐亮;高峰
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L23/544;H01L27/32;H01L21/67;C23C14/04
• 代理公司: 31237 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 智云

本發明提供了一種蒸鍍掩膜板、OLED面板及系統及蒸鍍監控方法，其中，所述蒸鍍掩膜板包括第一功能區域和位于所述第一功能區域外的第一外圍區域，所述第一功能區域具有用于蒸鍍形成功能層的第一開口，所述第一外圍區域具有用于監控所述第一開口的蒸鍍效果的第二開口。通過蒸鍍掩膜板的第二開口可以在OLED面板的觀察層上蒸鍍形成監控結構，通過所述監控結構可以監控所述蒸鍍掩膜板的第一開口的蒸鍍效果，從而可以及時的監控蒸鍍效果，達到實時在線監控的效果。

技術領域

本發明涉及OLED技術領域，特別涉及一種蒸鍍掩膜板、OLED面板及系統及蒸鍍監控方法。

背景技術

有機電致發光技術(Organic Light Emitting Diode，OLED)是一種新型的顯示、照明技術，近幾年內針對OLED器件的投資逐漸增加，OLED器件已經成為行業熱點。

在OLED器件的制造過程中，往往會利用蒸鍍掩膜板，通過真空蒸鍍方式形成有機材料層。蒸鍍掩膜板通常包括掩膜片(sheet mask)，掩膜片上具有圖案，在真空蒸鍍過程中，(加熱升華后的)有機材料通過所述圖案后到片達基板上，從而在基板上形成有機材料層。

蒸鍍的效果對于OLED器件的制造非常重要，現有技術中無法實現蒸鍍效果(主要包括蒸鍍偏位)的及時監控，只是對每次蒸鍍結果進行抽檢，利用顯微鏡進行人為測量，該方法耗時耗力且不能對蒸鍍過程時時監控。因此，如何提供一種能夠比較實時的蒸鍍監控方法成了本領域技術人員需要解決的一個問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種蒸鍍掩膜板、OLED面板及系統及蒸鍍監控方法，以解決現有技術中不能對蒸鍍過程及時監控的問題。

為解決上述技術問題，本發明提供一種蒸鍍掩膜板，所述蒸鍍掩膜板包括第一功能區域和位于所述第一功能區域外的第一外圍區域，所述第一功能區域具有用于蒸鍍形成功能層的第一開口，所述第一外圍區域具有用于監控所述第一開口的蒸鍍效果的第二開口。

可選的，在所述的蒸鍍掩膜板中，所述第二開口的形狀和所述第一開口的形狀相同。

可選的，在所述的蒸鍍掩膜板中，所述第一外圍區域具有相對的第一邊沿和第二邊沿，所述第一邊沿較所述第二邊沿靠近所述第一功能區域；相較于第二邊沿，所述第二開口靠近所述第一邊沿。

可選的，在所述的蒸鍍掩膜板中，所述第二開口的數量為多個，多個所述第二開口均勻的分布于所述第一外圍區域。

可選的，在所述的蒸鍍掩膜板中，所述蒸鍍掩膜板包括掩膜片和用于支撐所述掩膜片的支撐條，所述第一開口和所述第二開口均位于所述掩膜片上，所述支撐條上具有第三開口，所述第三開口僅露出部分數量的所述第二開口。

本發明還提供一種OLED面板，所述OLED面板包括第二功能區域和位于所述第二功能區域外的第二外圍區域，所述第二外圍區域上形成有觀察層。

可選的，在所述的OLED面板中，所述觀察層的材料為反光材料。

可選的，在所述的OLED面板中，所述觀察層的厚度為100nm～200nm。

可選的，在所述的OLED面板中，所述第二外圍區域的表面和所述第二功能區域的表面的高度差小于等于200nm。

本發明還提供一種OLED面板系統，所述OLED面板系統包括：如上所述的蒸鍍掩膜板及如上所述的OLED面板，所述蒸鍍掩膜板位于所述OLED面板的下方，所述蒸鍍掩膜板的第一開口用于在所述OLED面板的第二功能區域上蒸鍍形成功能層，所述蒸鍍掩膜板的第二開口用于在所述OLED面板的觀察層上蒸鍍形成監控結構，所述監控結構用于監控所述第一開口的蒸鍍效果。

本發明還提供一種蒸鍍監控方法，所述蒸鍍監控方法包括：