[發明專利]探針組件及其電容式探針有效
| 申請號： | 201710905039.1 | 申請日： | 2017-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN109581003B | 公開（公告）日： | 2021-01-15 |
| 發明（設計）人： | 謝智鵬;蘇偉志 | 申請（專利權）人： | 中華精測科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/067 | 分類號： | G01R1/067;G01R1/073 |
| 代理公司： | 隆天知識產權代理有限公司 72003 | 代理人： | 李昕巍;章侃銥 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探針 組件 及其 電容 | ||
1.一種電容式探針，其特征在于，所述電容式探針包括：
一探針結構，所述探針結構具有一第一端部、一對應于所述第一端部的第二端部、一連接在所述第一端部與所述第二端部之間的連接部；
一導電結構，所述導電結構設置在所述探針結構的一側，且所述導電結構電性連接于一轉接載板；以及
一介電結構，所述介電結構設置在所述探針結構與所述導電結構之間；
其中，所述探針結構與所述導電結構彼此電性絕緣，且所述介電結構具有一與所述探針結構相互接觸的第一表面以及一與所述導電結構相互接觸的第二表面；
其中，所述導電結構為一套筒狀的結構；
其中，所述探針結構、所述導電結構及所述介電結構為一串聯連接的架構。
2.根據權利要求1所述的電容式探針，其特征在于，所述導電結構具有一容置空間，所述介電結構設置在所述探針結構的所述第二端部上，且所述探針結構的第二端部與所述介電結構設置在所述容置空間中。
3.根據權利要求2所述的電容式探針，其特征在于，所述探針結構的電阻率小于5x 102Ωm。
4.根據權利要求2所述的電容式探針，其特征在于，所述導電結構的電阻率小于5x 102Ωm。
5.根據權利要求2所述的電容式探針，其特征在于，所述介電結構的電阻率大于或等于108Ωm。
6.一種探針組件，其特征在于，所述探針組件包括：
一轉接載板，所述轉接載板具有多個容置槽；
一探針承載座，所述探針承載座設置在所述轉接載板上；以及
多個電容式探針，多個所述電容式探針設置在所述承載座上，且多個所述電容式探針分別設置在多個所述容置槽之中，其中，每一個所述電容式探針包括一探針結構、一導電結構以及一介電結構；
其中，每一個所述電容式探針的所述導電結構電性連接于所述轉接載板，所述探針結構具有一第一端部、一對應于所述第一端部的第二端部、一連接在所述第一端部與所述第二端部之間的連接部，所述導電結構設置在所述探針結構的一側，且所述介電結構設置在所述探針結構與所述導電結構之間；
其中，所述探針結構與所述導電結構彼此電性絕緣，且所述介電結構具有一與所述探針結構相互接觸的第一表面以及一與所述導電結構相互接觸的第二表面；
其中，所述導電結構為一套筒狀的結構；
其中，所述探針結構、所述導電結構及所述介電結構為一串聯連接的架構。
7.根據權利要求6所述的探針組件，其特征在于，所述導電結構具有一容置空間，所述介電結構設置在所述探針結構的所述第二端部上，且所述探針結構的第二端部及所述介電結構設置在所述容置空間中。
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