[發明專利]沉積裝置及利用其的有機物沉積方法

有效

• 申請號: 201710904054.4
• 申請日: 2017-09-29
• 公開（公告）號: CN107881464B
• 公開（公告）日: 2022-12-09
• 發明（設計）人: 高晙赫;姜敏求
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/12;C23C14/50
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 王達佐;劉錚

本發明涉及沉積裝置以及利用該沉積裝置的沉積方法，具體地，沉積裝置包括掩模單元、第一板和施壓單元，掩模單元布置在上述掩模單元上并與上述掩模單元隔開，施壓單元與上述第一板獨立地布置并且沿著上述第一板的一表面移動并對目標襯底的表面的一部分區域施壓，其中上述第一板包括施壓固定部，施壓固定部布置在上述第一板的一表面上并且供上述施壓單元聯接。

技術領域

本發明涉及沉積裝置以及利用該沉積裝置的有機物沉積方法。

背景技術

有機發光顯示(organic light emitting display；OLED)裝置是能夠利用分別由陽極(anode)和陰極(cathode)提供的空穴和電子在位于這些電極之間的有機發光層中結合而生成的光來顯示圖像、文字等信息的顯示裝置。

所述有機發光顯示裝置在上述電極之間形成有機發光層和諸如電子注入層、電子傳輸層、空穴傳輸層和空穴注入層等的中間層以獲得高效率的發光。

通常，上述有機發光層和上述中間層利用包括精細金屬掩模(fine metal maskFMM)的掩模來形成，其中精細金屬掩模具有沉積圖案。然而，精細金屬掩模趨向于大面積化，并且在用于控制這種精細金屬掩模的冷板(Cool plate)由金屬形成的情況下，由于自重而導致的下垂現象也會發生得較為嚴重，因此在平坦度上可能隨著位置的不同而出現數百um的差異。也就是說，由于氣化的有機物沉積在未保持均勻的平坦面的目標襯底表面上，因此難以形成均勻的有機膜。

這種不均勻的沉積可能在實現有機發光顯示裝置時導致污漬現象，因此可能成為產品缺陷的直接原因。

此外，雖然格(Cell)的布置根據樣式而不同，但是沉積裝置中的施壓(Embo)限定在相同的位置上，而當格不與施壓的位置對應時，可能發生沉積缺陷。也就是說，這種沉積缺陷被認為是在不考慮目標襯底的大小的情況下在同一沉積裝置內將有機物沉積到各種大小的目標襯底上而導致的。即，對于利用一個沉積裝置自由地實現具有各種格大小的目標襯底而言已達到了極限。

如上所述，若考慮目標襯底的大小而準備應對各種目標襯底的大小和格的大小的沉積設備和沉積裝置，則準備裝置的費用可能增加。

發明內容

本發明要解決的技術問題在于，提供這樣一種沉積裝置，即，通過在板上布置能夠應對各種目標襯底的大小及各種格的大小的施壓單元，從而能夠對應于目標襯底的彎曲而調節平坦度，由此能夠改善目標襯底上的不均勻沉積。

本發明的問題不限于上文中所提及的技術問題，并且本領域技術人員可通過下面的記載明確理解未提及的或其他的技術問題。

為解決上述技術問題的根據本發明一實施方式的沉積裝置包括掩模單元、第一板和施壓單元，其中第一板布置在所述掩模單元上并且所述掩模單元隔開，施壓單元布置成獨立于所述第一板并且沿著所述第一板的一表面移動并對目標襯底的表面的一部分區域施壓，其中，所述第一板包括施壓固定部，施壓固定部布置在所述第一板的一表面上并且供所述施壓單元聯接。

所述施壓固定部可包括彼此相鄰地并排布置的第一引導部和第二引導部，其中，所述第一引導部可具有位于所述第一板的一表面上的第一引導壁和從所述第一引導壁延伸并且從所述第一引導壁在第一方向上彎曲的第一引導蓋，并且所述第二引導部可具有位于所述第一板的一表面上的第二引導壁和從所述第二引導壁延伸并且從所述第二引導壁在與所述第一方向相反的第二方向上彎曲的第二引導蓋。

所述第一引導蓋與所述第二引導蓋可在彼此相對的方向上布置成平行于所述第一板的一表面。

所述施壓單元可通過由所述第一引導部和所述第二引導部包圍的空間聯接至所述施壓固定部。

所述第一引導蓋與所述第二引導蓋可彼此隔開，并且所述第一引導蓋與所述第二引導蓋之間的距離可小于所述第一引導壁與所述第二引導壁之間的距離。