[發(fā)明專(zhuān)利]晶圓、壓電振動(dòng)片以及壓電振子

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710903456.2
• 申請(qǐng)日: 2017-09-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107888161B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-06-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 市村直也
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 精工電子水晶科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H03H9/17
• 分類(lèi)號(hào): H03H9/17;H03H9/10;H03H3/02;H03H3/04
• 代理公司: 中國(guó)專(zhuān)利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 肖日松;劉林華

提供了一種能夠穩(wěn)定地折取壓電振動(dòng)片的晶圓。晶圓(60)具備壓電振動(dòng)片(3)、框架部(62)、以及將壓電振動(dòng)片(3)和框架部(62)連結(jié)的連結(jié)部(70)，連結(jié)部(70)具備在將連結(jié)部(70)作為起點(diǎn)從框架部(62)折取壓電振動(dòng)片(3)時(shí)，將從連結(jié)部(70)的厚度方向的一面?zhèn)仁艿降牧σ龑?dǎo)到連結(jié)部(70)的寬度方向的至少一側(cè)的引導(dǎo)部(72、73)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓、壓電振動(dòng)片以及壓電振子。

背景技術(shù)

近年來(lái)，伴隨電子設(shè)備的小型化，對(duì)壓電振子及壓電振動(dòng)片的小型化的要求日益高漲。例如，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中，公開(kāi)了利用由壓電材料形成的晶圓，一次制造多個(gè)壓電振動(dòng)片的技術(shù)。晶圓具備多個(gè)壓電振動(dòng)片、框架部、以及將壓電振動(dòng)片和框架部連結(jié)的連結(jié)部。例如，壓電振動(dòng)片在將連結(jié)部作為起點(diǎn)從框架部折取之后，著陸到載置臺(tái)，之后，被吸附支撐并被運(yùn)送到下個(gè)工序。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2009-194630號(hào)公報(bào)。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問(wèn)題

但是，在使壓電振動(dòng)片小型化的情況下，在壓電振動(dòng)片的折取時(shí)，裂紋進(jìn)入連結(jié)部的方式容易產(chǎn)生偏差。因此，壓電振動(dòng)片在載置臺(tái)處的著陸姿勢(shì)容易產(chǎn)生偏差。若壓電振動(dòng)片的著陸姿勢(shì)不佳，則難以吸附支撐并運(yùn)送壓電振動(dòng)片，存在成品率降低的可能性。因而，在以往的晶圓中，在穩(wěn)定地折取壓電振動(dòng)片方面存在改善的余地。

本發(fā)明是為了解決上述問(wèn)題而完成的，其目的在于提供能夠穩(wěn)定地折取壓電振動(dòng)片的晶圓、壓電振動(dòng)片以及壓電振子。

用于解決問(wèn)題的方案

本發(fā)明的一個(gè)方式所涉及的晶圓具備壓電振動(dòng)片、框架部、以及將所述壓電振動(dòng)片和所述框架部連結(jié)的連結(jié)部，其特征在于，所述連結(jié)部具備在將所述連結(jié)部作為起點(diǎn)從所述框架部折取所述壓電振動(dòng)片時(shí)，將從所述連結(jié)部的厚度方向的一面?zhèn)仁艿降牧σ龑?dǎo)到所述連結(jié)部的寬度方向的至少一側(cè)的引導(dǎo)部。

根據(jù)該構(gòu)成，在壓電振動(dòng)片的折取時(shí)，由于從連結(jié)部的厚度方向的一面?zhèn)仁艿降牧Ρ灰龑?dǎo)到連結(jié)部的寬度方向的至少一側(cè)，故裂紋進(jìn)入連結(jié)部的方式容易穩(wěn)定。因而，能夠穩(wěn)定地折取壓電振動(dòng)片。

在上述晶圓中，所述引導(dǎo)部還可以具有以越在所述連結(jié)部的厚度方向的內(nèi)側(cè)則越位于所述連結(jié)部的寬度方向外側(cè)的方式相對(duì)于所述連結(jié)部的厚度方向的一面傾斜的傾斜面。

根據(jù)該構(gòu)成，在壓電振動(dòng)片的折取時(shí)，由于從連結(jié)部的厚度方向的一面?zhèn)仁艿降牧Ρ谎貎A斜面引導(dǎo)，故裂紋進(jìn)入連結(jié)部的方式更加容易穩(wěn)定。因而，能夠更加穩(wěn)定地折取壓電振動(dòng)片。

在上述晶圓中，在所述連結(jié)部的橫截面視圖中，所述引導(dǎo)部構(gòu)成在所述連結(jié)部的寬度方向的外側(cè)具有頂角的三角形狀也可。

另外，在使連結(jié)部的橫截面形狀單純?yōu)榫匦涡螤畹那闆r下，在壓電振動(dòng)片的折取時(shí)，裂紋進(jìn)入連結(jié)部的方式不確定，無(wú)法穩(wěn)定地折取壓電振動(dòng)片的可能性高。相對(duì)于此，根據(jù)該構(gòu)成，在連結(jié)部的橫截面視圖中，通過(guò)引導(dǎo)部構(gòu)成在連結(jié)部的寬度方向的外側(cè)具有頂角的三角形狀，在壓電振動(dòng)片的折取時(shí)，裂紋被沿著三角形狀的斜邊引導(dǎo)，因而裂紋進(jìn)入連結(jié)部的方式更加容易穩(wěn)定。因而，能夠更加穩(wěn)定地折取壓電振動(dòng)片。

在上述晶圓中，所述頂角的角度還可以為30度以上且120度以下。

另外，在頂角的角度超過(guò)120度的情況下，連結(jié)部的寬度方向上的引導(dǎo)部的寬度變得過(guò)薄，連結(jié)部因強(qiáng)度不足而在意外的情形下彎折的可能性高。另一方面，在頂角的角度小于30度的情況下，連結(jié)部的厚度方向上的引導(dǎo)部的厚度變得過(guò)薄，連結(jié)部因強(qiáng)度不足而在意外的情形下彎折的可能性高。相對(duì)于此，根據(jù)該構(gòu)成，通過(guò)頂角的角度在30度以上且120度以下，充分地確保連結(jié)部的強(qiáng)度，因而能夠避免連結(jié)部在意外的情形下彎折。