[發(fā)明專(zhuān)利]晶圓、壓電振動(dòng)片以及壓電振子

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710903456.2
• 申請(qǐng)日: 2017-09-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107888161B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-06-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 市村直也
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 精工電子水晶科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H03H9/17
• 分類(lèi)號(hào): H03H9/17;H03H9/10;H03H3/02;H03H3/04
• 代理公司: 中國(guó)專(zhuān)利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 肖日松;劉林華

1.一種晶圓，具備壓電振動(dòng)片、框架部、以及將所述壓電振動(dòng)片和所述框架部連結(jié)的連結(jié)部，其特征在于，

所述連結(jié)部具備在將所述連結(jié)部作為起點(diǎn)從所述框架部折取所述壓電振動(dòng)片時(shí)，將從所述連結(jié)部的厚度方向的一面?zhèn)仁艿降牧σ龑?dǎo)到所述連結(jié)部的寬度方向的至少一側(cè)的引導(dǎo)部，

所述引導(dǎo)部具有以越在所述連結(jié)部的厚度方向的內(nèi)側(cè)則越位于所述連結(jié)部的寬度方向外側(cè)的方式相對(duì)于所述連結(jié)部的厚度方向的一面傾斜的傾斜面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓，其特征在于，在所述連結(jié)部的橫截面視圖中，所述引導(dǎo)部構(gòu)成在所述連結(jié)部的寬度方向的外側(cè)具有頂角的三角形狀。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓，其特征在于，所述頂角的角度為30度以上且120度以下。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項(xiàng)所述的晶圓，其特征在于，在所述連結(jié)部的橫截面視圖中，所述連結(jié)部還具備構(gòu)成矩形形狀的本體部，

所述引導(dǎo)部配置在所述本體部的寬度方向的一側(cè)面以及另一側(cè)面中的至少一者。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓，其特征在于，在所述連結(jié)部的橫截面視圖中，所述本體部與所述引導(dǎo)部相比向所述連結(jié)部的厚度方向的外側(cè)突出。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓，其特征在于，

所述引導(dǎo)部具備：

配置在所述本體部的寬度方向的一側(cè)面的第一引導(dǎo)部；以及

配置在所述本體部的寬度方向的另一側(cè)面的第二引導(dǎo)部。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓，其特征在于，在所述連結(jié)部的橫截面視圖中，所述第一引導(dǎo)部和所述第二引導(dǎo)部將所述本體部的寬度方向的中心線作為對(duì)稱(chēng)軸構(gòu)成線對(duì)稱(chēng)形狀。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓，其特征在于，在所述連結(jié)部的橫截面視圖中，所述第一引導(dǎo)部和所述第二引導(dǎo)部構(gòu)成互不相同的形狀。

9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓，其特征在于，在所述連結(jié)部的橫截面視圖中，在設(shè)所述連結(jié)部的寬度為W1，所述本體部的寬度為W2時(shí)，滿(mǎn)足

10μm＜W2×2＜W1＜100μm。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項(xiàng)所述的晶圓，其特征在于，

還具備一對(duì)延伸電極，該一對(duì)延伸電極與在被施加既定的驅(qū)動(dòng)電壓時(shí)使所述壓電振動(dòng)片的一對(duì)振動(dòng)臂部振動(dòng)的一對(duì)激振電極電連接，

所述一對(duì)延伸電極中的一者配置在所述連結(jié)部的寬度方向的一側(cè)面，

所述一對(duì)延伸電極中的另一者配置在所述連結(jié)部的寬度方向的另一側(cè)面。

11.一種壓電振動(dòng)片，具備一對(duì)振動(dòng)臂部、以及將所述一對(duì)振動(dòng)臂部的基端彼此連接的基部，其特征在于，

還具備供所述基部連結(jié)的連結(jié)部，

所述連結(jié)部具備在將所述連結(jié)部作為起點(diǎn)折取所述壓電振動(dòng)片時(shí)，將從所述連結(jié)部的厚度方向的一面?zhèn)仁艿降牧σ龑?dǎo)到所述連結(jié)部的寬度方向的至少一側(cè)的引導(dǎo)部，

所述引導(dǎo)部具有以越在所述連結(jié)部的厚度方向的內(nèi)側(cè)則越位于所述連結(jié)部的寬度方向外側(cè)的方式相對(duì)于所述連結(jié)部的厚度方向的一面傾斜的傾斜面。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的壓電振動(dòng)片，其特征在于，在所述連結(jié)部的橫截面視圖中，所述引導(dǎo)部構(gòu)成在所述連結(jié)部的寬度方向的外側(cè)具有頂角的三角形狀。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的壓電振動(dòng)片，其特征在于，所述頂角的角度為30度以上且120度以下。

14.根據(jù)權(quán)利要求11至13中的任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)片，其特征在于，

在所述連結(jié)部的橫截面視圖中，所述連結(jié)部還具備構(gòu)成矩形形狀的本體部，

所述引導(dǎo)部配置在所述本體部的寬度方向的一側(cè)面以及另一側(cè)面中的至少一者。