[發(fā)明專利]玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710897109.3
• 申請日: 2017-09-28
• 公開（公告）號: CN107879597B
• 公開（公告）日: 2020-09-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 服部佑紀(jì)
• 申請（專利權(quán)）人: 安瀚視特控股株式會社;安瀚視特股份有限公司
• 主分類號: C03B5/225
• 分類號: C03B5/225;C03B5/187
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 林斯凱

本發(fā)明涉及一種玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造裝置。本發(fā)明抑制鉑族金屬在澄清管內(nèi)凝聚并且抑制在澄清后的熔融玻璃內(nèi)產(chǎn)生氣泡。玻璃基板的制造方法具備使用澄清管進(jìn)行熔融玻璃的澄清的澄清步驟。在澄清步驟中，一邊以在熔融玻璃的液面上方形成氣相空間的方式使熔融玻璃流到澄清管內(nèi)，一邊進(jìn)行澄清。澄清管由包含鉑族金屬的材料構(gòu)成，在與氣相空間相接的壁部，具有將氣相空間內(nèi)的氣體排出的通氣孔及將對于熔融玻璃為惰性的氣體導(dǎo)引到氣相空間內(nèi)的導(dǎo)入孔，通氣孔及導(dǎo)入孔在熔融玻璃的流動方向上相互隔開而配置。在澄清步驟中，使惰性氣體滯留在與導(dǎo)入孔相鄰的澄清管的外側(cè)的外部空間，通過使氣體從通氣孔排出，而將外部空間內(nèi)的惰性氣體引入到氣相空間內(nèi)，并使它沿熔融玻璃的流動方向流動。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造裝置。

背景技術(shù)

一般來說，玻璃基板經(jīng)由從玻璃原料生成熔融玻璃之后使熔融玻璃成形為玻璃基板的步驟而制造。在所述步驟中，包括將熔融玻璃所內(nèi)包的微小氣泡去除的步驟(以下，也稱為澄清)。澄清是通過如下操作來進(jìn)行：一邊將澄清槽的主體(澄清管)加熱，一邊使調(diào)配有澄清劑的熔融玻璃通過該澄清管，利用澄清劑的氧化還原反應(yīng)將熔融玻璃中的氣泡除掉。更具體來說，進(jìn)一步提高經(jīng)粗熔解的熔融玻璃的溫度以使澄清劑發(fā)揮功能而使氣泡浮起消泡之后，使溫度下降，由此，使未完全消泡而殘留的相對較小的氣泡吸收到熔融玻璃中。也就是說，澄清包括使氣泡浮起消泡的消泡處理以及使小泡吸收到熔融玻璃中的吸收處理。

與成形前的高溫熔融玻璃相接的部件的內(nèi)壁必須根據(jù)與該部件相接的熔融玻璃的溫度、所要求的玻璃基板的品質(zhì)等而由適當(dāng)?shù)牟牧蠘?gòu)成。例如，構(gòu)成所述澄清管的材料通常使用鉑、鉑合金等鉑族金屬(專利文獻(xiàn)1)。鉑族金屬的熔點(diǎn)高，對熔融玻璃的耐蝕性也優(yōu)異。

[背景技術(shù)文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)1]日本專利特開2010-111533號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

[發(fā)明要解決的問題]

存在熔融玻璃通過將鉑族金屬用于內(nèi)壁面的澄清管時(shí)，在經(jīng)加熱的內(nèi)壁面中之與氣相空間相接的部分，鉑族金屬被氧化、揮發(fā)的情況。另一方面，存在鉑族金屬的氧化物在局部地溫度降低的澄清管的位置被還原而附著在內(nèi)壁面的情況。有附著在內(nèi)壁面的鉑族金屬掉落而混入到熔融玻璃中并作為異物殘留在玻璃基板內(nèi)的擔(dān)憂。有包含這種異物的玻璃基板被作為缺陷品處理的擔(dān)憂。

眾所周知，為了抑制這種鉑族金屬的揮發(fā)，而使惰性氣體流入澄清管內(nèi)以使氧濃度下降。但是，已知由于使惰性氣體流通，而存在澄清后的熔融玻璃中產(chǎn)生氣泡的情況。存在這種氣泡殘留在玻璃基板中而被作為光學(xué)缺陷處理的情況，而有使玻璃基板的良率降低的擔(dān)憂。

本發(fā)明的目的在于抑制鉑族金屬在澄清管內(nèi)凝聚并且抑制在澄清后的熔融玻璃內(nèi)產(chǎn)生氣泡。

[解決問題的手段]

本發(fā)明提供下述(1)～(7)。

(1)一種玻璃基板的制造方法，其特征在于：

具備使用澄清管進(jìn)行熔融玻璃的澄清的澄清步驟，

在所述澄清步驟中，一邊以在所述熔融玻璃的液面上方形成氣相空間的方式使所述熔融玻璃流到所述澄清管內(nèi)，一邊進(jìn)行所述澄清，

所述澄清管由包含鉑族金屬的材料構(gòu)成，在與所述氣相空間相接的壁部，具有將所述氣相空間內(nèi)的氣體排出的通氣孔及將對于所述熔融玻璃為惰性的氣體導(dǎo)引到所述氣相空間內(nèi)的導(dǎo)入孔，所述通氣孔及所述導(dǎo)入孔在所述熔融玻璃的流動方向上相互隔開而配置，

在所述澄清步驟中，使所述惰性氣體滯留在與所述導(dǎo)入孔相鄰的所述澄清管的外側(cè)的外部空間，通過使所述氣體從所述通氣孔排出，而將所述外部空間內(nèi)的所述惰性氣體引入到所述氣相空間內(nèi)，并使它沿所述熔融玻璃的流動方向流動。