[發明專利]玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造裝置

有效

• 申請號: 201710897109.3
• 申請日: 2017-09-28
• 公開（公告）號: CN107879597B
• 公開（公告）日: 2020-09-15
• 發明（設計）人: 服部佑紀
• 申請（專利權）人: 安瀚視特控股株式會社;安瀚視特股份有限公司
• 主分類號: C03B5/225
• 分類號: C03B5/225;C03B5/187
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 林斯凱

1.一種玻璃基板的制造方法，其特征在于：

具備使用澄清管進行熔融玻璃的澄清的澄清步驟，

在所述澄清步驟中，一邊以在所述熔融玻璃的液面上方形成氣相空間的方式使所述熔融玻璃流到所述澄清管內，一邊進行所述澄清，

所述澄清管由包含鉑族金屬的材料構成，具有沿所述熔融玻璃的流動方向延伸的筒狀的壁部，在與所述氣相空間相接的所述壁部的部分，具有將所述氣相空間內的氣體排出的通氣孔及將對于所述熔融玻璃為惰性的氣體導引到所述氣相空間內的導入孔，所述通氣孔及所述導入孔在所述熔融玻璃的所述流動方向上相互隔開而配置，

在所述澄清步驟中，使所述惰性氣體滯留在與所述導入孔相鄰的所述澄清管的外側的外部空間，通過使所述氣體從所述通氣孔排出，而將所述外部空間內的所述惰性氣體引入到所述氣相空間內，并使它沿所述熔融玻璃的所述流動方向流動，

在所述導入孔所在的所述壁部的部分連接有供所述外部空間內的所述惰性氣體向所述氣相空間內流動的導入管，在與所述壁部的側為反側的所述導入管的端，以堵塞所述惰性氣體的流路的方式配置有蓋，所述蓋設置有連通所述外部空間與所述導入管內的孔，

所述外部空間以包圍所述導入孔及所述導入管的方式形成，

所述惰性氣體是從供給管供給到所述外部空間內，碰撞到所述蓋，因而滯留在所述外部空間內，所述供給管與供給所述惰性氣體的惰性氣體供給裝置連接，從所述導入管的所述端隔開而配置。

2.根據權利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其中所述惰性氣體是以溶解于所述熔融玻璃的量與從所述導入孔噴射到所述氣相空間內的情況相比減少的方式被引入。

3.根據權利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其中

在所述澄清步驟中，使用所述熔融玻璃中包含的澄清劑進行所述澄清，

所述澄清管沿著所述流動方向具有第1加熱區域及第2加熱區域，所述第1加熱區域是將所述熔融玻璃加熱，以促進所述熔融玻璃的消泡，所述第2加熱區域是將所述熔融玻璃加熱，以促進在所述消泡后殘留的氣泡吸收到所述熔融玻璃中，

所述導入孔配置在所述第2加熱區域。

4.根據權利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其中所述外部空間是由以從所述澄清管的外側包圍所述導入孔及所述導入管的方式配置且由耐火性材料構成的部件以及所述澄清管所劃定的空間。

5.一種玻璃基板制造裝置，其特征在于具備：

澄清管，一邊以在熔融玻璃的液面上方形成氣相空間的方式使所述熔融玻璃流到所述澄清管內，一邊進行所述澄清，且由包含鉑族金屬的材料構成，具有沿所述熔融玻璃的流動方向延伸的筒狀的壁部，在與所述氣相空間相接的所述壁部的部分，具有將所述氣相空間內的氣體排出的通氣孔及將對所述熔融玻璃為惰性的氣體導引到所述氣相空間內的導入孔，所述通氣孔及所述導入孔在所述熔融玻璃的所述流動方向上相互隔開而配置；

包圍部，以從所述澄清管的外側包圍所述導入孔的方式配置，由耐火性材料構成；

惰性氣體供給裝置，將所述惰性氣體供給到所述包圍部內；

抽吸裝置，從所述通氣孔抽吸所述氣體而使它排出；以及

控制裝置，以通過使所述氣體從所述通氣孔排出而將所述包圍部內的所述惰性氣體引入到所述氣相空間內并使它沿所述熔融玻璃的所述流動方向流動的方式，控制所述抽吸裝置，

在所述導入孔所在的所述壁部的部分連接有供所述包圍部內的所述惰性氣體向所述氣相空間內流動的導入管，在與所述壁部的側為反側的所述導入管的端，以堵塞所述惰性氣體的流路的方式配置有蓋，所述蓋設置有連通所述包圍部內的空間與所述導入管內的孔，

所述包圍部除了包圍所述導入孔外，還以包圍所述導入管的方式配置，

所述惰性氣體是從供給管供給到所述包圍部內的空間內，碰撞到所述蓋，因而滯留在所述包圍部內的空間內，所述供給管與所述惰性氣體供給裝置連接，從配置有所述蓋的所述導入管的所述端隔開而配置。