[發明專利]磁傳感器

有效

• 申請號: 201710892742.3
• 申請日: 2017-09-27
• 公開（公告）號: CN107871814B
• 公開（公告）日: 2021-02-12
• 發明（設計）人: 石田拓也
• 申請（專利權）人: 旭化成微電子株式會社
• 主分類號: H01L43/06
• 分類號: H01L43/06;H01L43/04;H01L43/14
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種磁傳感器，其特征在于，

該磁傳感器具有：

霍爾元件，其具有基板和形成在所述基板上的活性層；

第一面，其為使所述基板側為下側時成為最上側的面；及

第二面，其為使所述基板側為下側時成為最下側的面，

所述第一面與所述活性層的靠所述第一面側的面之間的距離為100μm以下，所述第一面的算術平均粗糙度Ra為1μm以上且為20μm以下。

2.根據權利要求1所述的磁傳感器，其特征在于，

該磁傳感器具有密封部，該密封部覆蓋著所述霍爾元件的與所述基板相反那一側的面，所述密封部具有所述第一面。

3.根據權利要求1所述的磁傳感器，其特征在于，

所述霍爾元件具有多個電極，該多個電極形成在所述活性層的靠所述第一面那一側，該多個電極與所述活性層電連接。

4.根據權利要求2所述的磁傳感器，其特征在于，

所述霍爾元件具有多個電極，該多個電極形成在所述活性層的靠所述第一面那一側，該多個電極與所述活性層電連接。

5.根據權利要求4所述的磁傳感器，其特征在于，

所述活性層由半導體薄膜構成，

該磁傳感器具有：

多個引線端子，從俯視角度觀察時，它們配置在所述霍爾元件周圍；及

多根金屬細線，它們分別將所述多個引線端子和所述霍爾元件的所述多個電極之間電連接起來，

所述霍爾元件的側面、所述引線端子的靠所述第一面側的面、所述引線端子的與所述霍爾元件的側面相對的面和所述多根金屬細線被所述密封部所覆蓋。

6.根據權利要求2、4、5中任一項所述的磁傳感器，其特征在于，

所述密封部是由含合成樹脂的材料形成的。

7.根據權利要求6所述的磁傳感器，其特征在于，

所述合成樹脂含有填料。

8.根據權利要求7所述的磁傳感器，其特征在于，

所述填料的尺寸為1μm以上且為50μm以下。

9.根據權利要求7或8所述的磁傳感器，其特征在于，

所述填料為球狀。

10.根據權利要求7或8所述的磁傳感器，其特征在于，

所述合成樹脂中的所述填料的含有率為50體積百分比以上且為99體積百分比以下。

11.根據權利要求9所述的磁傳感器，其特征在于，

所述合成樹脂中的所述填料的含有率為50體積百分比以上且為99體積百分比以下。

12.根據權利要求1～5中任一項所述的磁傳感器，其特征在于，

所述霍爾元件的厚度為100μm以下。

13.根據權利要求1～5中任一項所述的磁傳感器，其特征在于，

所述第一面與所述第二面之間的距離為200μm以下。

14.根據權利要求1～5中任一項所述的磁傳感器，其特征在于，

所述基板的靠所述第二面側的面被絕緣層所覆蓋。

15.根據權利要求14所述的磁傳感器，其特征在于，

所述絕緣層具有從所述第二面暴露出來的面。