[發(fā)明專利]一種陣列基板、掩膜板及陣列基板制作方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710892062.1
• 申請(qǐng)日: 2017-09-27
• 公開（公告）號(hào): CN107731853A
• 公開（公告）日: 2018-02-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉興華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/12
• 分類號(hào): H01L27/12;H01L29/786;H01L21/77;G03F1/38
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司44202
• 代理人: 郝傳鑫,熊永強(qiáng)

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種陣列基板、掩膜板及陣列基板制作方法。

背景技術(shù)

低溫多晶硅(Low Temperature Poly-silicon；簡(jiǎn)稱LTPS)薄膜晶體管液晶顯示器是在封裝過程中，利用準(zhǔn)分子鐳射作為熱源，鐳射光經(jīng)過投射系統(tǒng)后，會(huì)產(chǎn)生能量均勻分布的鐳射光束，投射于非晶硅結(jié)構(gòu)的玻璃基板上，當(dāng)非晶硅結(jié)構(gòu)玻璃基板吸收準(zhǔn)分子鐳射的能量后，會(huì)轉(zhuǎn)變成為多晶硅結(jié)構(gòu)，它的最大優(yōu)勢(shì)在于超薄、重量輕、低耗電，可以提供更艷麗的色彩和更清晰的影像。業(yè)內(nèi)LTPS顯示器的封閉結(jié)構(gòu)通常包括一用于覆蓋源/漏極的平坦層，平坦層光阻膜厚2.5μm，烘烤后平坦光阻膜厚均一性在10％以內(nèi)，可保證穿透率需求，從而滿足光學(xué)標(biāo)準(zhǔn)。在目前LTPS技術(shù)下，因平坦層采用平面結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，導(dǎo)致面向背光源的內(nèi)表面反射率偏低，需求背光量大，成本較高。與此同時(shí)，在外部光線比較強(qiáng)的情況下，采用平面結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的平坦層的外表面很容易造成反光而影響觀看視屏效果。

發(fā)明內(nèi)容

為解決現(xiàn)有顯示屏平面結(jié)構(gòu)而造成反射率偏低、反光等問題，本發(fā)明提供一種陣列基板，具體技術(shù)方案如下：

一種陣列基板，包括基板、設(shè)在所述基板上的薄膜晶體管層以及設(shè)于所述薄膜晶體管層上方的平坦層；

所述平坦層遠(yuǎn)離所述薄膜晶體管層的一側(cè)表面形成有凸點(diǎn)。

優(yōu)選的，所述凸點(diǎn)為半球形、半橢圓形、四面錐形中的一種或者多種。

優(yōu)選的，所述半球形的凸點(diǎn)的直徑大小為5-6μm。

上述凸點(diǎn)形成有規(guī)則性凹凸面，后續(xù)各層保持規(guī)則的凹凸面，當(dāng)外界光線照射在顯示屏上時(shí)，凹凸面形成漫反射層，從而提高光線反射率，降低背光需求，同時(shí)也弱化了顯示屏面反光現(xiàn)象，觀看效果更佳。

優(yōu)選的，所述薄膜晶體管層包括：

設(shè)于所述基板上的緩沖層；

設(shè)于所述緩沖層上的有源層；

設(shè)于所述緩沖層上并包覆所述有源層的柵極絕緣層；

設(shè)于所述柵極絕緣層上的柵極；

設(shè)于所述柵極絕緣層上并包覆所述柵極的層間絕緣層，以及設(shè)于層間絕緣層上的金屬源/漏極。

優(yōu)選的，所述平坦層遠(yuǎn)離所述薄膜晶體管層的一側(cè)的表面還形成有凹點(diǎn)，所述凹點(diǎn)和所述凸點(diǎn)交替設(shè)置。

優(yōu)選的，所述凹點(diǎn)與所述凸點(diǎn)之間通過曲線過度銜接。

優(yōu)選的，所述凸點(diǎn)之間的間距小于所述凸點(diǎn)的寬度。

優(yōu)選的，所述凹點(diǎn)的最低點(diǎn)到所述凸點(diǎn)最高點(diǎn)的高度為0.7-1.3μm。

本發(fā)明還提供一種掩膜板，所述掩膜板包括不透光區(qū)和可透光區(qū)，所述不透光區(qū)和可透光區(qū)相互間隔呈周期性布置，所述可透光區(qū)為透光區(qū)或者半透光區(qū)。

優(yōu)選的，所述不透光區(qū)和可透光區(qū)呈近似蜂窩狀結(jié)構(gòu)分布，所述近似蜂窩狀結(jié)構(gòu)包括黑色格，所述黑色格通過白色邊緣間隔開，所述黑色格為不透光區(qū)所在區(qū)域，所述白色邊緣為可透光區(qū)所在區(qū)域；所述黑色格為邊長(zhǎng)為5-7μm的方格，所述白色邊緣的寬度小于黑色格的邊長(zhǎng)。

優(yōu)選的，所述不透光區(qū)和可透光區(qū)呈棋盤式結(jié)構(gòu)分布，所述棋盤式結(jié)構(gòu)包括黑色格和白色格，所述黑色格和白色格相互間隔交錯(cuò)設(shè)置，所述黑色格為不透光區(qū)所在區(qū)域，所述白色格為可透光區(qū)所在區(qū)域；所述黑色格為邊長(zhǎng)為5-7μm的方格，所述白色格為邊長(zhǎng)為5-7μm的方格。

本發(fā)明還提供一種陣列基板的制作方法，該方法包括步驟：

提供基板；依次在基板上沉積緩沖層、有源層，后續(xù)依次形成柵極絕緣層、柵極、層間絕緣層、金屬源/漏極、平坦層，在所述平坦層遠(yuǎn)離金屬源/漏極的一面上通過光罩法做成有凸點(diǎn)，所述光罩法是采用了上面所述的掩膜板，將所述掩膜板置于平坦層的上方，通過黃光、蝕刻制程形成所述凸點(diǎn)。

優(yōu)選的，所述有源層是在緩沖層沉積非晶硅層，然后使非晶硅層轉(zhuǎn)變成多晶硅層并圖案化形成多晶硅段，并在多晶硅段兩端形成源/漏極接觸區(qū)。

本發(fā)明的有益效果：

(1)將產(chǎn)品平坦層做成有規(guī)則的凹凸面，從而使后續(xù)各層保持規(guī)則的凹凸面。在規(guī)定視角內(nèi)可有效提高光線漫反射，降低在光強(qiáng)下背光量的需求；降低能耗，針對(duì)產(chǎn)品可有效提高產(chǎn)品電源續(xù)航能力，延長(zhǎng)背光部件使用壽命，并降低背光部件成本等。當(dāng)背光源的光線會(huì)照射的平坦層凹凸點(diǎn)的反面時(shí)，背光源的光線在凹凸點(diǎn)的反面會(huì)有反射和折射現(xiàn)象，從而增加了光線亮度，進(jìn)而降低了背光需求。

(2)改善顯示屏表面在外部光線比較強(qiáng)的情況下反光嚴(yán)重的問題，使顯示屏圖像更清晰，觀看效果更佳。

(3)且采用凹凸點(diǎn)排列方式更易做出漫反射鏡面，工藝上更易實(shí)現(xiàn)。