[發明專利]用于可磁致動器件的探針卡和包括探針卡的測試系統

有效

• 申請號: 201710881279.2
• 申請日: 2017-09-26
• 公開（公告）號: CN108459180B
• 公開（公告）日: 2020-09-04
• 發明（設計）人: M·羅西;S·M·雷納;G·卡爾卡特拉
• 申請（專利權）人: 意法半導體股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 王茂華

一種探針卡裝配在用于測試微機電器件的系統中，該微機電器件具有對磁場敏感的元件。探針卡由PCB形成，PCB具有貫通開口以及探針尖端，用于電接觸微機電器件。殼體結構被容納在貫通開口內。殼體結構包括平面外圍區域，該平面外圍區域包圍至少部分地突出且延伸到貫通開口中的座。磁性元件被布置在座中，其中磁性元件被布置以生成測試磁場，該測試磁場用于微機電器件的測試操作。

優先權聲明

本申請要求于2017年2月21日提交的專利號102017000019437的意大利申請的優先權，其公開內容在法律允許的最大程度上通過整體引用并入于此。

技術領域

本公開涉及一種用于可磁致動或可電磁致動器件的探針卡，特別是包括可磁致動的振蕩元件的MEMS(微機電系統)器件。MEMS器件可以是微鏡。本公開還涉及包括探針卡的測試機器或系統。

背景技術

具有使用半導體材料技術制造的微鏡結構的微機械器件在本領域中是已知的。

這種微機械器件用于便攜式器件，諸如便攜式計算機、筆記本電腦、筆記本(包括超薄筆記本電腦)、PDA、平板電腦、智能手機，以及用于光學應用，特別是引導使用所需方法的、由光源生成的輻射光束。

憑借小尺寸，通過這種器件在面積和深度方面可以滿足空間占用的嚴格要求。

微鏡器件通常包括懸掛在腔上方的鏡元件，并且由半導體材料體制成，以便例如通過滾動和傾斜移動可移動。

鏡元件的旋轉借助于目前為靜電、電磁或壓電類型的致動系統來控制。

認識到對這些MEMS器件的操作執行測試的需要；然而，目前已知用于測試磁或電磁致動的MEMS器件的系統受到用于測試的磁場發生器和測試機的電子電路(晶片探測器和測試儀)之間的電磁干擾現象的限制。此外，由于難以在這種系統內集成磁場發生器，在制造可用于這種系統中的探針卡中也遇到了問題。

因此，本領域需要一種用于可磁致動或可電磁致動器件的探針卡，以及包括適于克服上述困難和限制的探針卡的測試系統。

發明內容

在一個實施例中，適于裝配在用于測試可磁致動器件的系統中的探針卡包括：集成電路板，具有在該探針卡的探頭尖端處的第一貫通開口；殼體結構，包括平面區域，該平面區域包圍一個或多個座，該一個或多個座從平面區域突出并且至少部分地延伸通過第一貫通開口；以及被布置在殼體結構的相應座中的一個或多個磁性元件，該一個或多個磁性元件被配置為生成測試磁場，該測試磁場被配置為在器件的測試階段期間磁性地致動該器件。

在一個實施例中，測試系統包括：卡盤，用于支撐半導體材料的晶片，該卡盤包括可磁致動器件，如前段所討論的探針卡；晶片探測器，被機械地耦合到探針卡，被配置以移動卡盤，以便使該器件的選定部分與探針卡的相應探針尖端電耦合；以及數據處理電路，被電耦合到探針卡，被配置以借助于探針卡將電測試信號饋送到器件，并且對在設備的磁致動期間、從器件經由探針卡處理接收到的響應信號進行處理。

附圖說明

為了更好地理解本發明，現在參考附圖，僅通過非限制性示例來描述本發明的優選實施例，其中：

圖1是具有磁致動的MEMS器件，特別是微鏡的俯視示意圖；

圖2和圖3分別是從包括圖1的微鏡器件的系統的側視圖和俯視圖；

圖4A和圖4B是圖1的MEMS器件的測試系統的相應實施例；

圖5A至圖5D示出了用于容納磁體的相應結構，該磁體適于生成測試磁場并且可以用于圖4A或圖4B的測試系統中；

圖6示出了根據本公開的一個實施例的圖5A至圖5D所示的用于殼體結構的支撐和容納模塊；