[發明專利]用于可磁致動器件的探針卡和包括探針卡的測試系統

有效

• 申請號: 201710881279.2
• 申請日: 2017-09-26
• 公開（公告）號: CN108459180B
• 公開（公告）日: 2020-09-04
• 發明（設計）人: M·羅西;S·M·雷納;G·卡爾卡特拉
• 申請（專利權）人: 意法半導體股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 王茂華

1.一種在用于測試可磁致動器件的系統中使用的探針卡，包括：

集成電路板，具有在所述探針卡的探針尖端處的第一貫通開口；

殼體結構，包括平面區域，所述平面區域包圍至少一個座，所述至少一個座從所述平面區域突出并且至少部分地延伸通過所述第一貫通開口；以及

永磁體，被布置在所述殼體結構的每個座中，所包括的所述永磁體被配置成生成測試磁場，所述測試磁場用于在可磁致動器件的測試階段期間磁致動所述可磁致動器件。

2.根據權利要求1所述的探針卡，其中所述至少一個座包括至少三個座，其中所述至少三個座彼此相鄰地延伸，并且其中每個座安置相應的永磁體，所包括的所述永磁體被相互布置以便生成磁場，所述磁場在所述可磁致動器件的方向上具有第一強度，并在相反方向上具有低于所述第一強度的第二強度。

3.根據權利要求2所述的探針卡，其中所包括的所述永磁體被相互布置以形成海爾貝克陣列。

4.根據權利要求1所述的探針卡，還包括鐵磁材料的蓋，所述鐵磁材料的蓋被布置在所述至少一個座上以及在所述至少一個座內的所述永磁體上。

5.根據權利要求1所述的探針卡，還包括：

非磁性材料的蓋，被布置在所述至少一個座上以及在所述至少一個座內的所述永磁體上；以及

μ-金屬的屏蔽層，在所述蓋的上方延伸。

6.根據權利要求1所述的探針卡，其中所述殼體結構包括：

第二引導件，沿與所述至少一個座延伸的方向相反的方向從所述平面區域突出，

第二滑動件，被配置為在所述第二引導件中滑動，以便覆蓋以及備選地不覆蓋所述至少一個座。

7.根據權利要求6所述的探針卡，其中所述至少一個座包括至少九個座，所述至少九個座被彼此相鄰地相互布置以形成3x3矩陣結構，所述第二滑動件在關閉操作期間、以每次覆蓋所述至少九個座中的一個座的方式而被模制。

8.根據權利要求1所述的探針卡，其中所述可磁致動器件包括磁致動懸掛結構，所述磁致動懸掛結構可圍繞第一旋轉軸線和第二旋轉軸線移動，并且其中所述至少一個座是多個座，

所述可磁致動器件、所述集成電路板和所述殼體結構被相互布置成：使所述測試磁場被定向成相對于所述可磁致動器件的所述懸掛結構的所述第一旋轉軸線和所述第二旋轉軸線成45°。

9.一種在用于測試可磁致動器件的系統中使用的探針卡，包括：

集成電路板，具有在所述探針卡的探針尖端處的第一貫通開口；

殼體結構，包括平面區域，所述平面區域包圍至少一個座，所述至少一個座從所述平面區域突出、并且至少部分地延伸通過所述第一貫通開口；以及

磁性元件，被布置在所述殼體結構的每個座中，所包括的所述磁性元件被配置成生成測試磁場，所述測試磁場用于在可磁致動器件的測試階段期間磁致動所述可磁致動器件；

支撐結構，具有第二貫通開口和至少部分包圍所述第二貫通開口的側壁，所述側壁被設置有相應的第一引導件；以及

第一滑動件，被配置為在所述第一引導件中滑動，

其中所述至少一個座延伸通過所述第二貫通開口。

10.根據權利要求9所述的探針卡，其中所述支撐結構具有被所述側壁包圍的底側，并且其中所述殼體結構的所述平面區域在所述底側和所述第一滑動件之間延伸，所述第二貫通孔延伸通過所述底側。

11.根據權利要求9所述的探針卡，其中所述第一引導件由所述側壁中的相應的凹部形成，所述第一滑動件具有錐形的外圍區域，所述外圍區域被配置為在所述凹部中滑動。