[發(fā)明專利]一種自動(dòng)圓形硅片插片機(jī)構(gòu)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710879212.5
• 申請(qǐng)日: 2017-09-26
• 公開（公告）號(hào): CN109560004A
• 公開（公告）日: 2019-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 甄輝;齊風(fēng);李麗娟;徐長(zhǎng)坡;陳澄;梁效峰;楊玉聰;李亞哲;黃志煥;王曉捧;王宏宇;王鵬;徐艷超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津環(huán)鑫科技發(fā)展有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

本發(fā)明提供一種自動(dòng)圓形硅片插片機(jī)構(gòu)，包括依次設(shè)置的分片部、傳輸部和插片部，其中，分片部用于分離疊在一起的硅片；傳輸部用于傳輸分離的硅片；插片部用于將傳輸而來(lái)的硅片插入硅片裝載裝置。本發(fā)明的有益效果是解決現(xiàn)有技術(shù)中手動(dòng)分片、插片對(duì)硅片造成污染、在作業(yè)中易碎片的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)圓形硅片插片的自動(dòng)化作業(yè)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種自動(dòng)圓形硅片插片機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

在現(xiàn)有的技術(shù)中單晶硅通過(guò)線切、脫膠清洗及堿腐工序后，需要手動(dòng)作業(yè)將圓形硅片插入到硅片裝載裝置中，以便進(jìn)行下道清洗作業(yè)，手動(dòng)分片、插片會(huì)造成硅片污染，并且在作業(yè)中極易發(fā)生破片。半導(dǎo)體硅片對(duì)于表面的顆粒度有嚴(yán)格的要求，手動(dòng)作業(yè)產(chǎn)生的次生污染已不能適應(yīng)生產(chǎn)的需求，在工業(yè)發(fā)展迅速的大環(huán)境下，隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，以及人員費(fèi)用的遞增，急需一種自動(dòng)圓形硅片插片機(jī)構(gòu)取代目前半導(dǎo)體圓形硅片手動(dòng)插片形式，以適應(yīng)工業(yè)發(fā)展趨勢(shì)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種自動(dòng)圓形硅片插片機(jī)構(gòu)，目的是要解決現(xiàn)有技術(shù)中手動(dòng)分片、插片對(duì)硅片造成污染、在作業(yè)中易碎片的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)圓形硅片插片的自動(dòng)化作業(yè)。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種自動(dòng)圓形硅片插片機(jī)構(gòu)，包括依次設(shè)置的分片部、傳輸部和插片部，其中:

所述分片部用于分離疊在一起的硅片；

所述傳輸部用于將經(jīng)所述分片部分離出的硅片傳送給所述插片部；

所述插片部用于將傳送而來(lái)的硅片插入硅片裝載裝置。

優(yōu)選地，所述分片部包括水中供料槽體，所述水中供料槽體內(nèi)依次設(shè)置定位及升降裝置和出水分片裝置，其中，

所述定位及升降裝置，用于將疊在一起的硅片定位到指定位置；

所述出水分片裝置，用于分離圓形硅片。

優(yōu)選地，所述插片部包括升降裝置，所述升降裝置連接控制系統(tǒng)，所述升降裝置用于將傳輸裝置輸送而來(lái)的硅片插入硅片裝載裝置。

優(yōu)選地，所述出水分片裝置包括摩擦吸著裝置，所述摩擦吸著裝置包括摩擦裝置和吸著裝置，利用摩擦力和吸著力吸附傳送硅片。

優(yōu)選地，所述分片部還包括傳輸裝置，所述傳輸裝置的一部分設(shè)置在所述供料槽體內(nèi)部與所述摩擦吸著裝置通過(guò)連接件連接，所述傳輸裝置的另一部分設(shè)置在所述供料槽體外與所述傳輸部連接。

優(yōu)選地，所述傳輸裝置包括第一傳輸裝置和第二傳輸裝置，所述第一傳輸裝置與所述吸著裝置通過(guò)連接件連接。

優(yōu)選地，所述連接件為依次設(shè)置的一段30°皮帶和一段水平皮帶，所述水平的皮帶與所述第一傳輸裝置連接，所述水平皮帶上設(shè)置傳感器。

優(yōu)選地，所述定位及升降裝置采用彈夾工裝定位。

優(yōu)選地，所述摩擦裝置采用滾輪摩擦，所述吸著裝置的底部設(shè)置吸附孔，所述摩擦裝置設(shè)置在所述吸著裝置的側(cè)面。

優(yōu)選地，所述第一傳輸裝置設(shè)置為皮帶傳輸，所述第二傳輸裝置設(shè)置為可伸縮皮帶傳輸，所述第一傳輸裝置與所述第二傳輸裝置均通過(guò)螺栓固定在硅片承載平臺(tái)上。

本發(fā)明具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是：

1.通過(guò)設(shè)置水中供料槽體和定位及升降裝置，利用高壓水流沖擊疊放在一起圓形硅片的徑向方向，高壓水流減少片與片間的負(fù)壓，處于最上面的圓形硅片在沒(méi)有片間負(fù)壓的條件下，利用水流的沖擊力及水的浮力達(dá)到分離圓形硅片的目的。