[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體晶圓金屬保護(hù)液

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710879057.7
• 申請(qǐng)日: 2017-09-26
• 公開（公告）號(hào): CN107815688A
• 公開（公告）日: 2018-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顏維成;孫虹艷
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥新匯成微電子有限公司
• 主分類號(hào): C23F11/06
• 分類號(hào): C23F11/06
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶圓技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體晶圓金屬保護(hù)液。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的半導(dǎo)體晶圓制造工藝中，首先在二氧化硅、金屬以及低k材料等表面形成光刻膠涂層，利用適當(dāng)?shù)难谀＿M(jìn)行曝光、顯影，根據(jù)所用光刻膠的特性，除去曝光或者未曝光部分的光刻膠，在所要求的部位形成光刻膠圖案，然后在該光刻膠圖案上進(jìn)行等離子刻蝕或者反應(yīng)性氣體刻蝕，進(jìn)行圖形轉(zhuǎn)移。目前工業(yè)上大部分都是用堿性清除劑除去半導(dǎo)體晶圓中金屬、金屬合金或電介質(zhì)等基材上的光刻膠或者其他殘留物。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在提供了一種半導(dǎo)體晶圓金屬保護(hù)液。

本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種半導(dǎo)體晶圓金屬保護(hù)液，包括以下質(zhì)量百分比的原料：6-12％磷酸酯活性劑、5-20％的甲基丙烯酸酯、5-15％的丙烯酸酯、2-10％的氟化甲基丙烯酸酯、9-15％的交聯(lián)劑、2-4％異辛酸鈉、6-9％苯并三氮唑、22-35％硼酸和/或硼酸鹽和水。

所述磷酸酯活性劑是將脂肪醇與POCl3得到烷基磷酸單酯和氯化氫氣體；再將得到的氯化氫氣體與甘油經(jīng)催化氯化反應(yīng)得到二氯甘油；將得到的烷基磷酸單酯與季銨堿進(jìn)行中和反應(yīng)后再加入得到的二氯甘油中，即得所述磷酸酯活性劑。

所述甲基丙烯酸酯是在酯化反應(yīng)條件下，用過量的丙烯酸和/或甲基丙烯酸與脂肪醇反應(yīng)；用堿性醇水溶液將得到的產(chǎn)物洗滌至堿性，分層后，收集上層液體，用水將之洗至中性，減壓蒸餾后即得所述甲基丙烯酸酯。

所述丙烯酸酯氟化甲基丙烯酸酯選自甲基丙烯酸三氟乙酯、甲基丙烯酸十二氟庚酯或加急丙烯酸十三氟辛酯。

所述交聯(lián)劑三丙二醇丙烯酸酯、己二醇二丙烯酸酯和新戊二醇二甲基丙烯酸酯中的一種或多種。

所述硼酸和/或硼酸鹽選自苯硼酸、2-羧基苯硼酸、2-羥甲基苯硼酸、硼酸銨、五硼酸銨和四甲基硼酸銨中的一種或多種。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明制得的保護(hù)液可以顯著抑制半導(dǎo)體晶圓清洗過程中堿性清洗液對(duì)半導(dǎo)體晶圓中金屬圖案和金屬基材的腐蝕，有利于提高晶圓良率；本發(fā)明的保護(hù)液可以使半導(dǎo)體晶圓漂洗過程易于自由控制，有利于半導(dǎo)體晶圓制造的工業(yè)化操作。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

實(shí)施例1一種半導(dǎo)體晶圓金屬保護(hù)液，包括以下質(zhì)量百分比的原料：6％磷酸酯活性劑、5％的甲基丙烯酸酯、5％的丙烯酸酯、2％的氟化甲基丙烯酸酯、9％的交聯(lián)劑、2％異辛酸鈉、6％苯并三氮唑、22％硼酸和/或硼酸鹽和水。

所述磷酸酯活性劑是將脂肪醇與POCl3得到烷基磷酸單酯和氯化氫氣體；再將得到的氯化氫氣體與甘油經(jīng)催化氯化反應(yīng)得到二氯甘油；將得到的烷基磷酸單酯與季銨堿進(jìn)行中和反應(yīng)后再加入得到的二氯甘油中，即得所述磷酸酯活性劑。

所述甲基丙烯酸酯是在酯化反應(yīng)條件下，用過量的丙烯酸和/或甲基丙烯酸與脂肪醇反應(yīng)；用堿性醇水溶液將得到的產(chǎn)物洗滌至堿性，分層后，收集上層液體，用水將之洗至中性，減壓蒸餾后即得所述甲基丙烯酸酯。

所述丙烯酸酯氟化甲基丙烯酸酯選自甲基丙烯酸三氟乙酯、甲基丙烯酸十二氟庚酯或加急丙烯酸十三氟辛酯。

所述交聯(lián)劑三丙二醇丙烯酸酯、己二醇二丙烯酸酯和新戊二醇二甲基丙烯酸酯中的一種或多種。

所述硼酸和/或硼酸鹽選自苯硼酸、2-羧基苯硼酸、2-羥甲基苯硼酸、硼酸銨、五硼酸銨和四甲基硼酸銨中的一種或多種。

實(shí)施例2一種半導(dǎo)體晶圓金屬保護(hù)液，包括以下質(zhì)量百分比的原料：12％磷酸酯活性劑、20％的甲基丙烯酸酯、15％的丙烯酸酯、10％的氟化甲基丙烯酸酯、15％的交聯(lián)劑、4％異辛酸鈉、9％苯并三氮唑、35％硼酸和/或硼酸鹽和水。

所述磷酸酯活性劑是將脂肪醇與POCl3得到烷基磷酸單酯和氯化氫氣體；再將得到的氯化氫氣體與甘油經(jīng)催化氯化反應(yīng)得到二氯甘油；將得到的烷基磷酸單酯與季銨堿進(jìn)行中和反應(yīng)后再加入得到的二氯甘油中，即得所述磷酸酯活性劑。

所述甲基丙烯酸酯是在酯化反應(yīng)條件下，用過量的丙烯酸和/或甲基丙烯酸與脂肪醇反應(yīng)；用堿性醇水溶液將得到的產(chǎn)物洗滌至堿性，分層后，收集上層液體，用水將之洗至中性，減壓蒸餾后即得所述甲基丙烯酸酯。