[發明專利]一種半導體晶圓金屬保護液

在審

• 申請號: 201710879057.7
• 申請日: 2017-09-26
• 公開（公告）號: CN107815688A
• 公開（公告）日: 2018-03-20
• 發明（設計）人: 顏維成;孫虹艷
• 申請（專利權）人: 合肥新匯成微電子有限公司
• 主分類號: C23F11/06
• 分類號: C23F11/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種半導體晶圓金屬保護液，其特征在于，包括以下質量百分比的原料：6-12％磷酸酯活性劑、5-20％的甲基丙烯酸酯、5-15％的丙烯酸酯、2-10％的氟化甲基丙烯酸酯、9-15％的交聯劑、2-4％異辛酸鈉、6-9％苯并三氮唑、22-35％硼酸和/或硼酸鹽和水。

2.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓金屬保護液的使用方法，其特征在于：所述磷酸酯活性劑是將脂肪醇與POCl3得到烷基磷酸單酯和氯化氫氣體；再將得到的氯化氫氣體與甘油經催化氯化反應得到二氯甘油；將得到的烷基磷酸單酯與季銨堿進行中和反應后再加入得到的二氯甘油中，即得所述磷酸酯活性劑。

3.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓金屬保護液，其特征在于：所述甲基丙烯酸酯是在酯化反應條件下，用過量的丙烯酸和/或甲基丙烯酸與脂肪醇反應；用堿性醇水溶液將得到的產物洗滌至堿性，分層后，收集上層液體，用水將之洗至中性，減壓蒸餾后即得所述甲基丙烯酸酯。

4.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓金屬保護液，其特征在于：所述丙烯酸酯氟化甲基丙烯酸酯選自甲基丙烯酸三氟乙酯、甲基丙烯酸十二氟庚酯或加急丙烯酸十三氟辛酯。

5.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓金屬保護液，其特征在于：所述交聯劑三丙二醇丙烯酸酯、己二醇二丙烯酸酯和新戊二醇二甲基丙烯酸酯中的一種或多種。

6.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓金屬保護液，其特征在于：所述硼酸和/或硼酸鹽選自苯硼酸、2-羧基苯硼酸、2-羥甲基苯硼酸、硼酸銨、五硼酸銨和四甲基硼酸銨中的一種或多種。