[發(fā)明專(zhuān)利]一種半導(dǎo)體晶圓金屬保護(hù)液

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710879057.7
• 申請(qǐng)日: 2017-09-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107815688A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顏維成;孫虹艷
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 合肥新匯成微電子有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23F11/06
• 分類(lèi)號(hào): C23F11/06
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種半導(dǎo)體晶圓金屬保護(hù)液，其特征在于，包括以下質(zhì)量百分比的原料：6-12％磷酸酯活性劑、5-20％的甲基丙烯酸酯、5-15％的丙烯酸酯、2-10％的氟化甲基丙烯酸酯、9-15％的交聯(lián)劑、2-4％異辛酸鈉、6-9％苯并三氮唑、22-35％硼酸和/或硼酸鹽和水。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓金屬保護(hù)液的使用方法，其特征在于：所述磷酸酯活性劑是將脂肪醇與POCl3得到烷基磷酸單酯和氯化氫氣體；再將得到的氯化氫氣體與甘油經(jīng)催化氯化反應(yīng)得到二氯甘油；將得到的烷基磷酸單酯與季銨堿進(jìn)行中和反應(yīng)后再加入得到的二氯甘油中，即得所述磷酸酯活性劑。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓金屬保護(hù)液，其特征在于：所述甲基丙烯酸酯是在酯化反應(yīng)條件下，用過(guò)量的丙烯酸和/或甲基丙烯酸與脂肪醇反應(yīng)；用堿性醇水溶液將得到的產(chǎn)物洗滌至堿性，分層后，收集上層液體，用水將之洗至中性，減壓蒸餾后即得所述甲基丙烯酸酯。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓金屬保護(hù)液，其特征在于：所述丙烯酸酯氟化甲基丙烯酸酯選自甲基丙烯酸三氟乙酯、甲基丙烯酸十二氟庚酯或加急丙烯酸十三氟辛酯。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓金屬保護(hù)液，其特征在于：所述交聯(lián)劑三丙二醇丙烯酸酯、己二醇二丙烯酸酯和新戊二醇二甲基丙烯酸酯中的一種或多種。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓金屬保護(hù)液，其特征在于：所述硼酸和/或硼酸鹽選自苯硼酸、2-羧基苯硼酸、2-羥甲基苯硼酸、硼酸銨、五硼酸銨和四甲基硼酸銨中的一種或多種。