[發(fā)明專(zhuān)利]一種半導(dǎo)體晶圓金屬保護(hù)液在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710879057.7 | 申請(qǐng)日: | 2017-09-26 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN107815688A | 公開(kāi)(公告)日: | 2018-03-20 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 顏維成;孫虹艷 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 合肥新匯成微電子有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | C23F11/06 | 分類(lèi)號(hào): | C23F11/06 |
| 代理公司: | 暫無(wú)信息 | 代理人: | 暫無(wú)信息 |
| 地址: | 230000 安徽*** | 國(guó)省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 半導(dǎo)體 金屬 保護(hù) | ||
1.一種半導(dǎo)體晶圓金屬保護(hù)液,其特征在于,包括以下質(zhì)量百分比的原料:6-12%磷酸酯活性劑、5-20%的甲基丙烯酸酯、5-15%的丙烯酸酯、2-10%的氟化甲基丙烯酸酯、9-15%的交聯(lián)劑、2-4%異辛酸鈉、6-9%苯并三氮唑、22-35%硼酸和/或硼酸鹽和水。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓金屬保護(hù)液的使用方法,其特征在于:所述磷酸酯活性劑是將脂肪醇與POCl3得到烷基磷酸單酯和氯化氫氣體;再將得到的氯化氫氣體與甘油經(jīng)催化氯化反應(yīng)得到二氯甘油;將得到的烷基磷酸單酯與季銨堿進(jìn)行中和反應(yīng)后再加入得到的二氯甘油中,即得所述磷酸酯活性劑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓金屬保護(hù)液,其特征在于:所述甲基丙烯酸酯是在酯化反應(yīng)條件下,用過(guò)量的丙烯酸和/或甲基丙烯酸與脂肪醇反應(yīng);用堿性醇水溶液將得到的產(chǎn)物洗滌至堿性,分層后,收集上層液體,用水將之洗至中性,減壓蒸餾后即得所述甲基丙烯酸酯。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓金屬保護(hù)液,其特征在于:所述丙烯酸酯氟化甲基丙烯酸酯選自甲基丙烯酸三氟乙酯、甲基丙烯酸十二氟庚酯或加急丙烯酸十三氟辛酯。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓金屬保護(hù)液,其特征在于:所述交聯(lián)劑三丙二醇丙烯酸酯、己二醇二丙烯酸酯和新戊二醇二甲基丙烯酸酯中的一種或多種。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓金屬保護(hù)液,其特征在于:所述硼酸和/或硼酸鹽選自苯硼酸、2-羧基苯硼酸、2-羥甲基苯硼酸、硼酸銨、五硼酸銨和四甲基硼酸銨中的一種或多種。
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