[發(fā)明專利]壓電元件、壓電執(zhí)行器以及壓電元件的制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710877982.6
• 申請(qǐng)日: 2017-09-25
• 公開（公告）號(hào): CN107887498A
• 公開（公告）日: 2018-04-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 古林智一;國分剛;兩角浩一
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L41/02
• 分類號(hào): H01L41/02;H01L41/08;H01L41/22
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11240
• 代理人: 張永明,玉昌峰

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及壓電元件、壓電執(zhí)行器、壓電馬達(dá)、機(jī)器人、電子器件輸送裝置、打印機(jī)、超聲波換能器以及壓電元件的制造方法。

背景技術(shù)

例如，專利文獻(xiàn)1公開了利用壓電元件使振動(dòng)板振動(dòng)從而吐出液滴的液體吐出裝置。并且，作為在振動(dòng)板上形成壓電元件的方法，專利文獻(xiàn)1公開了首先在振動(dòng)板上依次成形下部電極、壓電體以及上部電極來得到層積體，其次通過干法蝕刻對(duì)該層積體圖案化，從而形成壓電元件的。

先行技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2008-47689號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的技術(shù)問題

但是，如果上部電極或壓電體通過干法蝕刻來圖案化，則通過蝕刻，壓電體的表面受到損傷，壓電體的表面上將形成損傷層(非晶層、微晶層等變質(zhì)層)。如果形成了這樣的損傷層，則降低壓電元件的機(jī)械強(qiáng)度，加大裝置的失效概率。

本發(fā)明的目的在于提供能夠降低失效概率的壓電元件、壓電執(zhí)行器、壓電馬達(dá)、機(jī)器人、電子器件輸送裝置、打印機(jī)、超聲波換能器以及壓電元件的制造方法。

用于解決技術(shù)問題的手段

上述目的通過下面的本發(fā)明實(shí)現(xiàn)。

本發(fā)明的壓電元件的特征在于，具有：壓電體；以及

第一電極，配置在所述壓電體上，

在從所述第一電極和所述壓電體的排列方向觀察的平面圖中，所述壓電體的配置有所述第一電極的一側(cè)的面中的、位于所述第一電極的周圍且從所述第一電極的邊緣起10μm以內(nèi)的區(qū)域具有晶面。

由此，可以抑制出現(xiàn)裂縫或燒壞等，得到提高機(jī)械強(qiáng)度，能夠降低裝置的失效概率的壓電元件。

優(yōu)選地，根據(jù)本發(fā)明的壓電元件，具有第二電極，配置在所述壓電體的與配置有所述第一電極的一側(cè)的面相反側(cè)的面上，

從所述排列方向觀察的平面圖中，所述第二電極具有與所述晶面重疊的部分。

由此，能夠更加有效地抑制出現(xiàn)裂縫或燒壞等。

優(yōu)選地，根據(jù)本發(fā)明的壓電元件，將從所述排列方向觀察的平面圖中、所述壓電體的與所述第一電極重疊的部分為第一部分，將位于所述第一電極的周圍的部分為第二部分時(shí)，

所述第二部分的沿所述排列方向的長度比所述第一部分的沿所述排列方向的長度更短。

由此，能夠更加有效地抑制出現(xiàn)裂縫或燒壞等。

優(yōu)選地，根據(jù)本發(fā)明的壓電元件，所述壓電體在與所述排列方向交叉的方向振動(dòng)。

由此，能夠高效率地驅(qū)動(dòng)例如采用壓電元件的壓電執(zhí)行器、機(jī)器人、電子器件輸送裝置、打印機(jī)以及超聲波換能器等。

本發(fā)明的壓電執(zhí)行器的特征在于，具備本發(fā)明的壓電元件。

由此，能夠取得本發(fā)明的壓電元件的效果，得到高可靠性的壓電執(zhí)行器。

本發(fā)明的壓電馬達(dá)的特征在于，具備本發(fā)明的壓電執(zhí)行器。

由此，可以取得本發(fā)明的壓電執(zhí)行器(壓電元件)的效果，得到高可靠性的壓電馬達(dá)。

本發(fā)明的機(jī)器人的特征在于，具備本發(fā)明的壓電元件。

由此，可以取得本發(fā)明的壓電元件的效果，得到高可靠性的機(jī)器人。

本發(fā)明的電子器件輸送裝置的特征在于，具備本發(fā)明的壓電元件。

由此，可以取得本發(fā)明的壓電元件的效果，得到高可靠性的電子器件輸送裝置。

本發(fā)明的打印機(jī)的特征在于，具備本發(fā)明的壓電元件。

由此，可以取得本發(fā)明的壓電元件的效果，得到高可靠性的打印機(jī)。

本發(fā)明的超聲波換能器的特征在于，具備本發(fā)明的壓電元件。

由此，可以取得本發(fā)明的壓電元件的效果，得到高可靠性的超聲波換能器。

本發(fā)明的壓電元件的制造方法的特征在于，包括：準(zhǔn)備配置有金屬膜的壓電體的工序；

通過干法蝕刻或者離子研磨去除所述金屬膜的一部分，將所述金屬膜圖案化的工序；以及

將所述壓電體從所述金屬膜露出的部分進(jìn)行光蝕刻的工序。

由此，可以抑制出現(xiàn)裂縫或燒壞等，可以得到提高機(jī)械強(qiáng)度，能夠降低裝置的失效概率的壓電元件。

優(yōu)選地，根據(jù)本發(fā)明的壓電元件的制造方法，包括：在將所述金屬膜圖案化的工序之前進(jìn)行的、在所述金屬膜上形成掩膜的工序；以及

在將所述金屬膜圖案化的工序之后且進(jìn)行所述光蝕刻的工序之前進(jìn)行的、去除所述掩膜的工序。

由此，能夠高精度地將金屬膜圖案化。