[發明專利]壓電元件、壓電執行器以及壓電元件的制造方法

在審

• 申請號: 201710877982.6
• 申請日: 2017-09-25
• 公開（公告）號: CN107887498A
• 公開（公告）日: 2018-04-06
• 發明（設計）人: 古林智一;國分剛;兩角浩一
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H01L41/02
• 分類號: H01L41/02;H01L41/08;H01L41/22
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司11240
• 代理人: 張永明,玉昌峰

1.一種壓電元件，其特征在于，具有：

壓電體；以及

第一電極，配置在所述壓電體上，

在從所述第一電極和所述壓電體的排列方向觀察的平面圖中，所述壓電體的配置有所述第一電極的一側的面中的、位于所述第一電極的周圍且從所述第一電極的邊緣起10μm以內的區域具有晶面。

2.根據權利要求1所述的壓電元件，其特征在于，還具有：

第二電極，配置在所述壓電體的與配置有所述第一電極的一側的面相反側的面上，

從所述排列方向觀察的平面圖中，所述第二電極具有與所述晶面重疊的部分。

3.根據權利要求1或2所述的壓電元件，其特征在于，

將從所述排列方向觀察的平面圖中、所述壓電體的與所述第一電極重疊的部分作為第一部分，將位于所述第一電極的周圍的部分作為第二部分時，

所述第二部分的沿所述排列方向的長度比所述第一部分的沿所述排列方向的長度更短。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的壓電元件，其特征在于，

所述壓電體在與所述排列方向交叉的方向振動。

5.一種壓電執行器，其特征在于，具備：

權利要求1至4中任一項所述的壓電元件。

6.一種壓電馬達，其特征在于，具備：

權利要求5所述的壓電執行器。

7.一種機器人，其特征在于，具備：

權利要求1至4中任一項所述的壓電元件。

8.一種電子器件輸送裝置，其特征在于，具備：

權利要求1至4中任一項所述的壓電元件。

9.一種打印機，其特征在于，具備：

權利要求1至4中任一項所述的壓電元件。

10.一種超聲波換能器，其特征在于，具備：

權利要求1至4中任一項所述的壓電元件。

11.一種壓電元件的制造方法，其特征在于，包括：

準備配置有金屬膜的壓電體的工序；

通過干法蝕刻或者離子研磨去除所述金屬膜的一部分，將所述金屬膜圖案化的工序；以及

將所述壓電體從所述金屬膜露出的部分進行光蝕刻的工序。

12.根據權利要求11所述的壓電元件的制造方法，其特征在于，包括：

在將所述金屬膜圖案化的工序之前進行的、在所述金屬膜上形成掩膜的工序；以及

在將所述金屬膜圖案化的工序之后且進行所述光蝕刻的工序之前進行的、去除所述掩膜的工序。

13.根據權利要求11或12所述的壓電元件的制造方法，其特征在于，包括：

在將所述金屬膜圖案化的工序之后且進行所述光蝕刻的工序之前進行的、通過干法蝕刻或者離子研磨去除所述壓電體的一部分，將所述壓電體圖案化的工序。

14.根據權利要求11至13中任一項所述的壓電元件的制造方法，其特征在于，

在所述準備的工序，利用溶液法形成所述壓電體。