[發明專利]CF基板的微觀缺陷檢測方法、裝置及設備

在審

• 申請號: 201710873551.2
• 申請日: 2017-09-25
• 公開（公告）號: CN107402218A
• 公開（公告）日: 2017-11-28
• 發明（設計）人: 劉學敏
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/95;G02F1/13
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司44202
• 代理人: 郝傳鑫,熊永強

技術領域

本發明涉及光學檢測技術領域，特別涉及一種CF基板的微觀缺陷檢測方法、裝置及設備。

背景技術

目前，在顯示面板制造中通常采用自動光學檢測(Automatic Optic Inspection，簡稱AOI)設備來對CF(color filter，彩色濾光片、彩膜)基板的微觀缺陷進行檢測。微觀缺陷包括白缺陷和黑缺陷，白缺陷類型有光阻缺失、顏色泛白等，黑缺陷類型有微粒(particle)、光阻殘留、異物殘留、背污等。由于CF基板的缺陷直接影響到顯示面板的顯示效果，因此，AOI檢測對于CF基板的質量監控至關重要，如果AOI檢測不能及時攔檢具有缺陷的CF基板，可能導致大批量的異常CF基板流到后段，最終導致成品不良，造成良率較低。

目前AOI設備的檢查原理主要為灰階比對，即CF基板進入機臺后，AOI設備通過CCD(Charge Coupled Device，電荷耦合器件)對CF基板的膜面微觀圖像進行拍照以形成灰階圖像，并將像素點的灰階值和其周圍上下左右的像素點的灰階值進行比對，如果差值超出設置灰階差值(閾值)，則判定為缺陷。如圖1所示，當灰階圖像中存在白缺陷時，待檢測點E位置的像素點灰階值較高，當與周圍上下左右相同位置的對比像素點E1-E4比較后，灰階差值大于閾值則判定為白缺陷。如圖2所示，當灰階圖像中存在黑缺陷時，待檢測點F位置的像素點灰階值較低，當與周圍上下左右相同位置的對比像素點F1-F4比較后，灰階差值大于閾值則判定為黑缺陷。

現有AOI參數設置主要包括燈源亮度，比對距離值(pitch值)和閾值，通過以上參數的設置可調整AOI對缺陷的檢出率。然而，現有的參數設置無法檢出形狀較規律的微觀異常缺陷(如圖3-5所示)，因為此類缺陷與周圍的參考像素點進行比對時，灰階無差異或差異很小，無法達到設定閾值，AOI檢測判定為正常。通過降低閾值雖然可以提高AOI缺陷檢出率，但是當閾值降到一定程度會出現大面積誤報，將正常區域當成缺陷檢出。此外，通過調整燈源亮度、比對距離值均不能檢出此類缺陷，從而影響產品的品質。

發明內容

鑒于此，本發明提供一種CF基板的微觀缺陷檢測方法、裝置及設備，以提高CF基板的缺陷檢出率，并有效地解決缺陷漏檢的問題。

本發明一方面提供一種CF基板的微觀缺陷檢測方法，包括以下步驟：

獲取所述CF基板的灰階圖像；

檢測所述灰階圖像的待檢測點的灰階值；

獲取所述待檢測點所在的色彩區域對應的正常灰階值范圍；

判斷所述待檢測點的灰階值是否在對應的正常灰階范圍內；

若所述待檢測點的灰階值不在對應的正常灰階范圍內，則判斷所述待檢測點為異常點。

進一步地，所述CF基板的微觀缺陷檢測方法還包括：

針對所述CF基板的各個色彩制程的正常色彩區域分別設置相應的正常灰階值范圍。

進一步地，所述CF基板的微觀缺陷檢測方法還包括：

檢測所述待檢測點周圍的對比像素點的灰階值，其中，所述對比像素點與所述待檢測點相距預設距離，且屬于同一色彩區域；

計算所述待檢測點的灰階值與所述對比像素點的灰階值之間的差值；

判斷所述差值的絕對值是否大于預設閾值；

若所述差值的絕對值大于所述預設閾值，則判斷所述待檢測點為異常點。

進一步地，所述對比像素點至少包括與所述待檢測點在同一水平方向上的對比像素點和與所述待檢測點在同一垂直方向上的對比像素點。

進一步地，所述預設距離至少包括水平方向的距離值和垂直方向的距離值，所述預設距離為同一方向上的一個或多個重復周期的相同色彩區域之間的距離。

本發明另一方面提供一種CF基板的微觀缺陷檢測裝置，包括：

獲取模塊，用于獲取所述CF基板的灰階圖像；

檢測模塊，用于檢測所述灰階圖像的待檢測點的灰階值；

所述獲取模塊還用于獲取所述待檢測點所在的色彩區域對應的正常灰階值范圍；

分析模塊，用于判斷所述待檢測點的灰階值是否在對應的正常灰階范圍內；

所述分析模塊還用于在所述待檢測點的灰階值不在對應的正常灰階范圍內時，判斷所述待檢測點為異常點。

進一步地，所述檢測裝置還包括設置模塊，所述設置模塊用于針對所述CF基板的各個色彩制程的正常色彩區域分別設置相應的正常灰階值范圍。

進一步地，所述檢測模塊還用于檢測所述待檢測點周圍的對比像素點的灰階值，其中，所述對比像素點與所述待檢測點相距預設距離，且屬于同一色彩區域；