[發明專利]CF基板的微觀缺陷檢測方法、裝置及設備

在審

• 申請號: 201710873551.2
• 申請日: 2017-09-25
• 公開（公告）號: CN107402218A
• 公開（公告）日: 2017-11-28
• 發明（設計）人: 劉學敏
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/95;G02F1/13
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司44202
• 代理人: 郝傳鑫,熊永強

1.一種CF基板的微觀缺陷檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：

獲取所述CF基板的灰階圖像；

檢測所述灰階圖像的待檢測點的灰階值；

獲取所述待檢測點所在的色彩區域對應的正常灰階值范圍；

判斷所述待檢測點的灰階值是否在對應的正常灰階范圍內；

若所述待檢測點的灰階值不在對應的正常灰階范圍內，則判斷所述待檢測點為異常點。

2.如權利要求1所述的CF基板的微觀缺陷檢測方法，其特征在于，所述CF基板的微觀缺陷檢測方法還包括：

針對所述CF基板的各個色彩制程的正常色彩區域分別設置相應的正常灰階值范圍。

3.如權利要求1所述的CF基板的微觀缺陷檢測方法，其特征在于，所述CF基板的微觀缺陷檢測方法還包括：

檢測所述待檢測點周圍的對比像素點的灰階值，其中，所述對比像素點與所述待檢測點相距預設距離，且屬于同一色彩區域；

計算所述待檢測點的灰階值與所述對比像素點的灰階值之間的差值；

判斷所述差值的絕對值是否大于預設閾值；

若所述差值的絕對值大于所述預設閾值，則判斷所述待檢測點為異常點。

4.如權利要求3所述的CF基板的微觀缺陷檢測方法，其特征在于，所述對比像素點至少包括與所述待檢測點在同一水平方向上的對比像素點和與所述待檢測點在同一垂直方向上的對比像素點。

5.如權利要求4所述的CF基板的微觀缺陷檢測方法，其特征在于，所述預設距離至少包括水平方向的距離值和垂直方向的距離值，所述預設距離為同一方向上的一個或多個重復周期的相同色彩區域之間的距離。

6.一種CF基板的微觀缺陷檢測裝置，其特征在于，包括：

獲取模塊，用于獲取所述CF基板的灰階圖像；

檢測模塊，用于檢測所述灰階圖像的待檢測點的灰階值；

所述獲取模塊還用于獲取所述待檢測點所在的色彩區域對應的正常灰階值范圍；

分析模塊，用于判斷所述待檢測點的灰階值是否在對應的正常灰階范圍內；

所述分析模塊還用于在所述待檢測點的灰階值不在對應的正常灰階范圍內時，判斷所述待檢測點為異常點。

7.如權利要求6所述的CF基板的微觀缺陷檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置還包括設置模塊，所述設置模塊用于針對所述CF基板的各個色彩制程的正常色彩區域分別設置相應的正常灰階值范圍。

8.如權利要求6所述的CF基板的微觀缺陷檢測裝置，其特征在于，所述檢測模塊還用于檢測所述待檢測點周圍的對比像素點的灰階值，其中，所述對比像素點與所述待檢測點相距預設距離，且屬于同一色彩區域；

所述檢測裝置還包括計算模塊，所述計算模塊用于計算所述待檢測點的灰階值與所述對比像素點的灰階值之間的差值；

所述分析模塊還用于判斷所述差值的絕對值是否大于預設閾值，并在所述差值的絕對值大于所述預設閾值時，判斷所述待檢測點為異常點。

9.如權利要求8所述的CF基板的微觀缺陷檢測裝置，其特征在于，所述對比像素點至少包括與所述待檢測點在同一水平方向上的對比像素點和與所述待檢測點在同一垂直方向上的對比像素點；以及

所述預設距離至少包括水平方向的距離值和垂直方向的距離值，所述預設距離為同一方向上的一個或多個重復周期的相同色彩區域之間的距離。

10.一種CF基板的微觀缺陷檢測設備，包括圖像采集單元、存儲器以及處理器，所述圖像采集單元用于對放入所述檢測設備的CF基板進行拍照，以獲取所述CF基板的灰階圖像，其特征在于，所述處理器用于執行所述存儲器中的存儲的計算機程序時實現如權利要求1-5任一項所述的CF基板的微觀缺陷檢測方法的步驟，以對所述CF基板的灰階圖像上的待檢測點進行異常檢測。