[發(fā)明專利]一種具有納米顆粒膜的負(fù)溫度系數(shù)熱敏電阻及其制備方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710873153.0 | 申請(qǐng)日： | 2017-09-25 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN107622851B | 公開（公告）日： | 2019-06-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 汪洋 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 江蘇時(shí)恒電子科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01C7/04 | 分類號(hào)： | H01C7/04;H01C1/14 |
| 代理公司： | 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200 | 代理人： | 樓高潮 |
| 地址： | 212434 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 具有 納米 顆粒 溫度 系數(shù) 熱敏電阻 及其 制備 方法 | ||
本發(fā)明公開一種具有納米顆粒膜的負(fù)溫度系數(shù)熱敏電阻及其制備方法，熱敏電阻包括陶瓷基體、設(shè)置在陶瓷基體上濺射形成的銅電極層、陶瓷基體外部的保護(hù)層以及保護(hù)層下端的引腳，銅電極層表面堆棧有保護(hù)層；所述保護(hù)層為納米氧化鋁膜形成。制備方法如下：(1)將陶瓷基體清洗干凈后干燥；(2)采用磁控濺射在陶瓷基體表面濺射銅形成銅電極層；(3)將銅電極接好引腳后，在銅電極層表面采用磁控濺射濺射一層納米鋁膜，在弱氧化氣氛下燒結(jié)，形成納米氧化鋁膜。本發(fā)明以銅作電極層，納米鋁與銅形成固溶合金，加大了電極層和納米鋁的結(jié)合強(qiáng)度，再在低真空度下弱氧化氣氛燒結(jié)，使納米鋁表面被氧化形成一層致密的氧化鋁薄膜，起到保護(hù)層作用。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明公開了一種具有納米顆粒膜的負(fù)溫度系數(shù)熱敏電阻及其制備方法，屬于熱敏電阻技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)
溫度是表征物理冷熱程度的物理量，它可以通過物體隨溫度變化的某些特性(如電阻、電壓變化等)來間接測量。熱敏元件大都由正溫度系數(shù)或者負(fù)溫度系數(shù)熱敏材料制造而成。
負(fù)溫度系數(shù)(NTC)熱敏電阻所用電極多為貴金屬電極，如銀、金、鉑等，銀漿是國內(nèi)外NTC熱敏電阻生產(chǎn)時(shí)普遍采用的電極材料，但是銀離子容易在基體材料中遷移，對(duì)基體原件的性能產(chǎn)生影響。此外，研究生產(chǎn)NTC熱敏電阻電極時(shí)，電極保護(hù)層通常選用玻璃作為保護(hù)層，但玻璃和電極層附著度不強(qiáng)，對(duì)電極保護(hù)作用較弱。
申請(qǐng)?zhí)朇N2010105293994的中國專利申請(qǐng)公開了一種快速反應(yīng)NTC溫度傳感器及其制作方法，其中公開了印刷表面電極，并采取相應(yīng)燒銀工藝燒滲電極，把那個(gè)通過絲網(wǎng)印刷的方法在電極表面形成一層玻璃漿料，通過玻璃燒結(jié)工藝形成結(jié)構(gòu)致密厚度為20-100微米的玻璃保護(hù)層。
發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明的目的是提供一種具有納米顆粒膜的負(fù)溫度系數(shù)熱敏電阻及其制備方法，本發(fā)明采用銅作為電極層，選用納米鋁與銅形成固溶合金，加大了電極層和納米鋁的結(jié)合強(qiáng)度，同時(shí)將NTC熱敏電阻在低真空度下弱氧化氣氛燒結(jié)，使納米鋁表面被氧化形成一層致密的氧化鋁薄膜，起到保護(hù)層的作用。
本發(fā)明解決其技術(shù)問題采用的技術(shù)方案是：
一種具有納米顆粒膜的負(fù)溫度系數(shù)熱敏電阻，包括陶瓷基體、設(shè)置在陶瓷基體上的電極層、陶瓷基體外部的保護(hù)層以及保護(hù)層下端的引腳，所述的電極層為濺射形成的銅電極層，所述銅電極層與陶瓷基體表面結(jié)合，銅電極層上堆棧有保護(hù)層；所述保護(hù)層為納米氧化鋁膜形成的保護(hù)層。
一種具有納米顆粒膜的負(fù)溫度系數(shù)熱敏電阻的制備方法，包括如下步驟：
括如下步驟：
(1)將陶瓷基體先用5％氫氟酸浸泡5min，再用丙酮、酒精和去離子水超聲清洗10min，清洗干凈后利用氮?dú)獯祾撸芊獯茫?/p>
(2)采用磁控濺射的方式在陶瓷基體的表面濺射一層金屬銅形成銅電極層；
(3)將步驟(2)中銅電極接好引腳后，在銅電極層表面采用磁控濺射的方式濺射一層納米鋁膜，在弱氧化氣氛下燒結(jié)，形成納米氧化鋁膜。
作為本申請(qǐng)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述步驟(1)中陶瓷基體清洗干燥后先預(yù)濺射清除陶瓷基體表面氧化層，后涂覆一層金屬鎳形成過渡層。
作為本申請(qǐng)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述步驟(2)中銅電極層的厚度為1-2μm。
作為本申請(qǐng)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述步驟(3)中濺射納米鋁膜所用襯底溫度為100-200℃，所用氣壓為2-3Pa。
作為本申請(qǐng)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述步驟(3)中納米鋁膜的厚度為100-500nm之間。
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