[發(fā)明專利]一種蒸鍍坩堝以及蒸鍍裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710870205.9
• 申請日: 2017-09-21
• 公開（公告）號: CN107604317B
• 公開（公告）日: 2019-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 洪國榮;徐超
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/14
• 代理公司: 44280 深圳市威世博知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 袁江龍<國際申請>=<國際公布>=<進入

本發(fā)明公開了一種蒸鍍坩堝以及蒸鍍裝置，其中，所述蒸鍍坩堝包括：坩堝本體，用于容納蒸鍍材料；至少兩層墊片，間隔設(shè)置于所述坩堝本體內(nèi)，每一所述墊片貫通開設(shè)多個通孔，以使得所述蒸鍍材料汽化后順利通過所述墊片，并阻擋所述蒸鍍材料中的固體雜質(zhì)。通過上述方式，本發(fā)明能夠?qū)⒄翦儾牧现械碾s質(zhì)過濾，減少待加工產(chǎn)品中的雜質(zhì)，從而提高產(chǎn)品的良率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示屏制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種蒸鍍坩堝以及蒸鍍裝置。

背景技術(shù)

隨著有機發(fā)光二極管(OLED，Organic Light-Emitting Diode)顯示屏廣泛運用到手機屏上，越來越多的面板廠商開始建設(shè)OLED顯示屏量產(chǎn)線，其中蒸鍍工藝是影響OLED顯示屏良率的關(guān)鍵制程，是在量產(chǎn)線制備過程中需要重點控制的項目。

現(xiàn)有OLED器件主要包括有機膜層和金屬膜層，其中，金屬膜層主要使用鎂/銀共蒸作為OLED陽極。

本申請的發(fā)明人在長期的研發(fā)過程中，發(fā)現(xiàn)采用蒸鍍工藝在待加工產(chǎn)品上沉積鎂的過程中，在往坩堝本體內(nèi)添加鎂時，因鎂活性較高，與空氣接觸的鎂易被氧化成氧化鎂，同時鎂的純度高達99.99％，因提純困難導(dǎo)致起始原料鎂中含有部分雜質(zhì)，如此，在沉積鎂的過程中，起始原料中的少量雜質(zhì)和氧化物氧化鎂會蒸鍍到產(chǎn)品上，從而導(dǎo)致代加工產(chǎn)品表面出現(xiàn)混色、黑點等情況，影響良品率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明主要解決的技術(shù)問題是提供一種蒸鍍坩堝以及蒸鍍裝置，能夠?qū)⒄翦儾牧现械碾s質(zhì)過濾，減少待加工產(chǎn)品中的雜質(zhì)，從而提高產(chǎn)品的良率。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的一個技術(shù)方案是：提供一種蒸鍍坩堝，所述蒸鍍坩堝包括：

坩堝本體，用于容納蒸鍍材料；

至少兩層墊片，間隔設(shè)置于所述坩堝本體內(nèi)，每一所述墊片貫通開設(shè)多個通孔，以使得所述蒸鍍材料汽化后順利通過所述墊片，并阻擋所述蒸鍍材料中的固體雜質(zhì)。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的另一個技術(shù)方案是：提供一種蒸鍍裝置，包括蒸鍍坩堝，所述蒸鍍坩堝為上述所述的蒸鍍坩堝。

本發(fā)明的有益效果是：區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本發(fā)明提供的蒸鍍坩堝包括坩堝本體，用于容納蒸鍍材料；至少兩層墊片，間隔設(shè)置于所述坩堝本體內(nèi)，每一所述墊片貫通開設(shè)多個通孔，以使得所述蒸鍍材料汽化后順利通過所述墊片，并阻擋所述蒸鍍材料中的固體雜質(zhì)。通過在坩堝本體內(nèi)部間隔設(shè)置至少兩層墊片，且每一層墊片貫通開設(shè)有多個通孔，如此，在加熱過程中，坩堝本體內(nèi)的蒸鍍材料在達到一定溫度時，發(fā)生汽化，隨著墊片中的通孔而往上流動，而對待加工產(chǎn)品進行蒸鍍，而蒸鍍材料中所含雜質(zhì)則保持為固體顆粒，受到氣流的影響向上移動時，因墊片未開孔區(qū)域的阻擋作用，使得固體雜質(zhì)無法繼續(xù)向上移動，即使穿過通孔，則會再次受到下一層墊片的阻擋作用或重力作用而下降，從而將雜質(zhì)過濾掉，在蒸鍍過程中，能夠有效避免了氧固體雜質(zhì)蒸鍍到待加工產(chǎn)品上，從而有效提高良品率。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。其中：

圖1是本發(fā)明蒸鍍坩堝一實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1所示的蒸鍍坩堝的分解示意圖。

具體實施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性的勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。