[發明專利]有機發光二極管的制備裝置

有效

• 申請號: 201710865961.2
• 申請日: 2017-09-22
• 公開（公告）號: CN109536894B
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發明（設計）人: 紀進偉;廖文杰;范守善
• 申請（專利權）人: 清華大學;鴻富錦精密工業（深圳）有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種有機發光二極管的制備裝置，其特征在于，其包括：一蒸發裝置、一蒸鍍裝置、一導管和一真空泵；所述蒸發裝置包括一蒸發室和一第一加熱裝置；所述第一加熱裝置用于加熱所述蒸發室，使設置于該蒸發室內的蒸發源材料蒸發；所述蒸鍍裝置包括一蒸鍍室、一噴頭和一載物臺；所述蒸發室通過所述導管與設置于所述蒸鍍室內的噴頭連接；所述噴頭包括一噴頭本體和一噴嘴，所述噴頭本體具有相對的第一表面和第二表面，第一表面設置一開口，該開口與所述導管的排氣端連接，所述第二表面為一開口結構，所述噴嘴設置于所述開口結構處，所述噴嘴包括多個間隔設置的通孔，所述導管的排氣端延伸到所述噴頭內，所述排氣端的側壁和端面均包括多個間隔設置的通孔，所述排氣端的側壁上通孔的數量大于等于端面上通孔的數量，所述排氣端側壁上通孔的直徑大于等于端面上通孔的直徑；所述載物臺設置于所述蒸鍍室內；所述真空泵與所述蒸鍍室連接，用于維持制備裝置的真空度。

2.如權利要求1所述的有機發光二極管的制備裝置，其特征在于，所述蒸發室與所述第一加熱裝置間隔設置。

3.如權利要求1所述的有機發光二極管的制備裝置，其特征在于，所述蒸發室由一內襯和一外殼組成，所述第一加熱裝置包括至少一電熱絲，該電熱絲纏繞于所述內襯的外表面。

4.如權利要求1所述的有機發光二極管的制備裝置，其特征在于，進一步包括一設置于導管周圍的第二加熱裝置，用于對該導管內的氣體進行加熱。

5.如權利要求1所述的有機發光二極管的制備裝置，其特征在于，進一步包括一氣體供給裝置，所述導管與所述蒸發室連接的一端形成一分叉結構，所述氣體供給裝置通過該分叉結構連接至所述導管，該氣體供給裝置用于向所述導管通入惰性氣體或N₂。

6.如權利要求5所述的有機發光二極管的制備裝置，其特征在于，進一步包括一設置于所述分叉結構周圍的第三加熱裝置，用于對通入所述分叉結構的惰性氣體或N₂進行預熱處理。

7.如權利要求1所述的有機發光二極管的制備裝置，其特征在于，所述噴頭進一步包括多個擴散板，所述多個擴散板間隔設置于所述噴頭內。

8.如權利要求1所述的有機發光二極管的制備裝置，其特征在于，所述噴嘴與所述噴頭本體拆卸連接。

9.如權利要求1所述的有機發光二極管的制備裝置，其特征在于，進一步包括多個蒸發裝置、多個導管以及多個噴頭，所述多個蒸發裝置、多個導管和多個噴頭一一對應，用于向所述蒸鍍室內提供不同的蒸發源。