[發明專利]有機發光二極管的制備裝置

有效

• 申請號: 201710865961.2
• 申請日: 2017-09-22
• 公開（公告）號: CN109536894B
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發明（設計）人: 紀進偉;廖文杰;范守善
• 申請（專利權）人: 清華大學;鴻富錦精密工業（深圳）有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明提供一種有機發光二極管的制備裝置，其包括：一蒸發裝置、一蒸鍍裝置、一導管和一真空泵；所述蒸發裝置包括一蒸發室和一第一加熱裝置；所述第一加熱裝置用于加熱所述蒸發室，使設置于該蒸發室內的蒸發源材料蒸發；所述蒸鍍裝置包括一蒸鍍室、一噴頭和一載物臺；該蒸發室通過該導管與一設置于該蒸鍍室內的噴頭連接；該噴頭包括一噴頭本體和一噴嘴，該噴頭本體具有相對的第一表面和第二表面，該第一表面設置一開口，該開口與該導管的排氣端連接，該第二表面為一開口結構，該噴嘴設置于該開口結構處，該噴嘴包括多個間隔設置的通孔；該載物臺設置于該蒸鍍室內；該真空泵與該蒸鍍室連接，用于維持制備裝置的真空度。

技術領域

本發明涉及一種有機發光二極管的制備裝置。

背景技術

有機發光二極管(organic light emitting diode，OLED)是一種發光層由有機復合物構成的發光二極管。作為一種高效的發光源，其具有重量輕、厚度薄、多色彩、低制造成本等諸多特點。現有的OLED的制備方法包括蒸鍍法和溶液法。然而現有的OLED蒸鍍裝置中，采用蒸鍍法設置有機發光層時，由于氣態蒸鍍材料會向各個方向擴散，使得蒸鍍裝置的內壁上也沉積部分有機發光層，造成材料浪費，成本上升。

發明內容

有鑒于此，確有必要提供一種能夠使蒸發源得到充分利用的有機發光二極管的制備裝置。

一種有機發光二極管的制備裝置，其包括：一蒸發裝置、一蒸鍍裝置、一導管和一真空泵；所述蒸發裝置包括一蒸發室和一第一加熱裝置；所述第一加熱裝置用于加熱所述蒸發室，使設置于該蒸發室內的蒸發源材料蒸發；所述蒸鍍裝置包括一蒸鍍室、一噴頭和一載物臺；所述蒸發室通過所述導管與設置于所述蒸鍍室內的噴頭連接；所述噴頭包括一噴頭本體和一噴嘴，所述噴頭本體具有相對的第一表面和第二表面，第一表面設置一開口，該開口與所述導管的排氣端連接，所述第二表面為一開口結構，所述噴嘴設置于所述開口結構處，所述噴嘴包括多個間隔設置的通孔；所述載物臺設置于所述蒸鍍室內；所述真空泵與所述蒸鍍室連接，用于維持制備裝置的真空度。

相較于現有技術，本發明提供的有機發光二極管的制備方法中所使用的制備裝置將蒸發室和蒸鍍室分開設置，并通過導管導通，由于導管和噴頭把所述有機發光層源材料產生的氣體直接引導至被沉積待鍍面，因此，一方面可以使得材料得到充分的利用，約了有機發光層源材料；另一方面，也可以通過控制在不同區域處氣體的流速和停留時間，使得不同區域形成的有機發光層厚度均勻。

附圖說明

圖1為本發明第一實施例提供的有機發光二極管制備裝置的結構示意圖。

圖2為本發明圖1的制備裝置中導管的排氣端與噴頭的連接示意圖。

圖3為本發明圖1的制備裝置中噴頭噴嘴的結構示意圖。

圖4為本發明第一實施例提供的制備有機發光二極管的流程圖。

圖5為本發明第一實施例制備的有機發光二極管的結構示意圖。

圖6為本發明第二實施例提供的有機發光二極管制備裝置的結構示意圖。

圖7為本發明第三實施例提供的有機發光二極管制備裝置的結構示意圖。

圖8為本發明第四實施例提供的有機發光二極管制備裝置的結構示意圖。

圖9為本發明第五實施例提供的有機發光二極管制備裝置的結構示意圖。

圖10為本發明第六實施例提供的有機發光二極管制備裝置的結構示意圖。

圖11為本發明第七實施例提供的有機發光二極管制備裝置的結構示意圖。

圖12為本發明第八實施例提供的有機發光二極管制備裝置的結構示意圖。

主要元件符號說明