[發(fā)明專利]濾光片檢測裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710861037.7
• 申請日: 2017-09-21
• 公開（公告）號: CN107607595B
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙文龍;王棟;崔曉強(qiáng);徐海燕;王釗;齊超;趙梓亨;唐歡;金賢鎮(zhèn)
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司
• 主分類號: G01N27/24
• 分類號: G01N27/24;G01B7/06
• 代理公司: 北京市立方律師事務(wù)所 11330
• 代理人: 劉延喜;王增鑫

1.一種濾光片檢測裝置，應(yīng)用于對濾光片中的異常剝離膜層的檢測，其特征在于，包括測量裝置與數(shù)據(jù)處理裝置；

所述測量裝置與所述數(shù)據(jù)處理裝置電連接以便所述數(shù)據(jù)處理裝置接收并處理所述測量裝置采集的數(shù)據(jù)；所述測量裝置包括相對設(shè)置的第一電極板和第二電極板，所述第一電極板和第二電極板內(nèi)皆設(shè)有多個金屬探針，所述第一電極板內(nèi)的金屬探針與所述第二電極板內(nèi)的金屬探針相互配合，用于采集待測濾光片厚度的實測值D₂；

所述數(shù)據(jù)處理裝置內(nèi)存儲有所述第一電極板內(nèi)的各金屬探針和所述第二電極板內(nèi)的各金屬探針的預(yù)設(shè)坐標(biāo)值；所述數(shù)據(jù)處理裝置用于獲取并記錄待測濾光片厚度的實測值D₂，計算并確定待測濾光片不計入某一膜層的厚度時該濾光片的厚度D₂’，計算D₂與D₂’的差值，依次確定每次不計入不同單一膜層的厚度時待測濾光片的厚度D₂’及D₂與D₂’的差值，通過對比判斷不計入不同單一膜層厚度時D₂與各D₂’的差值，以確定該差值為最小時所對應(yīng)的未計入的膜層為異常剝離膜層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光片檢測裝置，其特征在于，所述測量裝置還包括電源、絕緣殼體、第一平臺和第二平臺，所述第一平臺設(shè)于所述絕緣殼體底端內(nèi)側(cè)面，所述第二平臺設(shè)于所述絕緣殼體頂端內(nèi)側(cè)面；所述第一電極板和第二電極板設(shè)于所述第一平臺與第二平臺之間，所述第一電極板緊貼所述第一平臺，所述第二電極板緊貼所述第二平臺；所述第一平臺和第二平臺分別與所述電源正負(fù)極連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光片檢測裝置，其特征在于，所述第一電極板和第二電極板中的所有金屬探針皆以行列形式排列，同一電極板內(nèi)相同行或相同列中任意兩相鄰所述金屬探針之間等間距設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光片檢測裝置，其特征在于，所述第一電極板的表面和第二電極板的表面皆設(shè)有保護(hù)層。

5.一種濾光片檢測方法，其特征在于，運用于權(quán)利要求1-4中任意一項所述的濾光片檢測裝置，包括如下步驟：

S1：所述數(shù)據(jù)處理裝置獲取并記錄待測濾光片厚度的實測值D₂；

S2：所述數(shù)據(jù)處理裝置計算并確定待測濾光片不計入某一膜層的厚度時該濾光片的厚度D₂’；

S3：所述數(shù)據(jù)處理裝置計算D₂與D₂’的差值；

S4：依次重復(fù)步驟S2和S3，確定每次不計入不同單一膜層的厚度時待測濾光片的厚度D₂’及D₂與D₂’的差值；

S5：對比判斷不計入不同單一膜層厚度時D₂與各D₂’的差值，以確定該差值為最小時所對應(yīng)的未計入的膜層為異常剝離膜層。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的濾光片檢測方法，其特征在于，還包括如下具體步驟：

所述數(shù)據(jù)處理裝置計算所述異常剝離膜層中各點對應(yīng)于所述第一電極板和第二電極板之間的電容值，確定該膜層中發(fā)生異常剝離的具體位置。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的濾光片檢測方法，其特征在于，所述數(shù)據(jù)處理裝置計算并確定D₂’的原理公式為：

D₂’＝ε’ε₀s/(C-ε₀²s/D₁)；

其中，ε’為待測濾光片不計入某一膜層的介電常數(shù)時該濾光片的介電常數(shù)，ε₀為真空介電常數(shù)，C為所述第一電極板和第二電極板之間的正常電容值，s為所述金屬探針的截面積，D₁為所述第二電極板與待測濾光片上靠近所述第二電極板的端面之間的距離。