[發明專利]物品搬運設備

有效

• 申請號: 201710859693.3
• 申請日: 2017-09-21
• 公開（公告）號: CN107857064B
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發明（設計）人: 北原素行;森本雄一;松尾研介;櫻井武司
• 申請（專利權）人: 株式會社大福
• 主分類號: B65G35/00
• 分類號: B65G35/00;B65G43/00;H01L21/677
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張雨;劉林華

1.一種物品搬運設備，前述物品搬運設備具備物品搬運車和控制裝置，

前述物品搬運車在多個搬運對象場所之間沿移動路徑移動來搬運物品，

前述控制裝置控制該物品搬運車，

前述物品搬運車具有容納部、罩部、移載機構，

前述容納部容納前述物品，

前述罩部覆蓋該容納部，

前述物品搬運設備的特征在于，

前述移載機構在前述容納部和相對于該容納部位于外側的前述多個搬運對象場所的一個之間使前述物品移動，進行該搬運對象場所和前述物品搬運車之間的前述物品的移載，

前述物品搬運車還具有姿勢改變機構，

前述姿勢改變機構改變搬運中的前述物品的姿勢，

前述姿勢改變機構能夠將前述物品的姿勢改變成第一姿勢和第二姿勢，前述第一姿勢是用于作為搬運源的前述搬運對象場所處的移載的姿勢，前述第二姿勢是用于作為搬運目的地的前述搬運對象場所處的移載的姿勢，

前述罩部被設置于如下位置，使得前述罩部在前述位置時，在被容納于前述容納部的狀態的前述物品在前述第一姿勢的情況下及在前述第二姿勢的情況下，不與前述物品干涉，在前述物品的姿勢為在前述第一姿勢和前述第二姿勢之間改變的過程的姿勢即中間姿勢的情況下，與前述物品干涉，

前述控制裝置執行姿勢改變控制，前述姿勢改變控制是如下控制：在從前述搬運源至前述搬運目的地的路徑即搬運路徑的途中，在借助前述移載機構使前述物品相對于前述容納部向外側移動的狀態下，借助前述姿勢改變機構將前述物品從前述第一姿勢改變成前述第二姿勢后，借助前述移載機構將前述物品容納于前述容納部。

2.如權利要求1所述的物品搬運設備，其特征在于，

前述移載機構具備把持部、升降機構、橫向移動機構，

前述把持部把持前述物品，前述升降機構使前述把持部沿鉛垂方向升降，前述橫向移動機構使前述把持部沿著橫向來橫向移動，前述橫向是與前述搬運路徑交叉并且沿著水平方向的方向，

前述姿勢改變機構具備繞沿著前述鉛垂方向的旋轉軸使前述把持部旋轉的旋轉部，在前述第一姿勢和前述第二姿勢之間的姿勢改變通過前述物品繞前述旋轉軸的旋轉來進行，

前述姿勢改變控制在以借助前述橫向移動機構使前述物品相對于前述容納部位于外側的方式使前述把持部橫向移動的狀態下，通過使前述物品繞前述旋轉軸旋轉來進行。

3.如權利要求2所述的物品搬運設備，其特征在于，

前述移動路徑被從頂棚懸掛支承的軌道確定，

前述移載機構還具備支承部件，前述支承部件被支承于前述軌道或前述頂棚，并且被配置于與前述移動路徑相鄰的位置，

前述支承部件被設置成，在以前述物品相對于前述容納部位于外側的方式使前述把持部橫向移動的狀態下，將前述橫向移動機構在前述鉛垂方向上支承。

4.如權利要求1所述的物品搬運設備，其特征在于，

前述控制裝置在前述搬運路徑的途中的前述物品搬運車的停止中執行前述姿勢改變控制。

5.如權利要求2所述的物品搬運設備，其特征在于，

前述控制裝置在前述搬運路徑的途中的前述物品搬運車的停止中執行前述姿勢改變控制。

6.如權利要求3所述的物品搬運設備，其特征在于，

前述控制裝置在前述搬運路徑的途中的前述物品搬運車的停止中執行前述姿勢改變控制。

7.如權利要求1~6中任一項所述的物品搬運設備，其特征在于，

前述控制裝置在前述物品位于前述容納部的外側的不與前述罩部干涉的范圍內且在基于前述移載機構的前述物品的移動中的情況下，執行前述姿勢改變控制。

8.如權利要求2或3所述的物品搬運設備，其特征在于，

借助前述移載機構使前述物品相對于前述容納部向外側橫向移動的狀態下，前述移載機構及前述物品不與存在于前述搬運路徑的周圍的其他部件干涉的前述搬運路徑的區域被設定成姿勢改變允許區域，

前述控制裝置在前述物品搬運車位于前述姿勢改變允許區域內的情況下，執行前述姿勢改變控制。

9.如權利要求8所述的物品搬運設備，其特征在于，

前述物品是收納半導體襯底的容器，

在前述搬運對象場所，包括收發部，前述收發部用于進行相對于前述半導體襯底的處理的處理裝置和前述物品搬運車之間的前述物品的收發，

多個前述收發部被工序內路徑連結，并且多個工序內路徑被工序間路徑連結，

前述姿勢改變允許區域被設定成前述移動路徑中的前述工序內路徑和前述工序間路徑的連接區域。