[發明專利]FCOB芯片在芯片-傳遞裝置的暫時存儲

有效

• 申請號: 201710855050.1
• 申請日: 2017-09-20
• 公開（公告）號: CN107863314B
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發明（設計）人: 羅美爾·塞巴斯蒂安;羅斯曼·托馬斯;特里賈尼·米歇爾
• 申請（專利權）人: 先進裝配系統有限責任兩合公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 北京申翔知識產權代理有限公司 11214
• 代理人: 艾晶

1.一種將芯片（192）從晶片（195）傳遞到自動裝配機（110）的裝配頭（136）上的芯片-傳遞裝置（140），其特征在于：該芯片-傳遞裝置（140）具有

可旋轉的取出工具（150），其

（a）用來從晶片（195）上取出散開的芯片（192）；

（b）用來翻轉該取出的芯片（192），使之作為FCOB芯片（292a)提供給第一提取位置（256），以及

（c）用來將該取出的芯片（192）傳遞到可旋轉的存儲工具（170）上，使之作為COB芯片（292b)提供給第二提取位置（276）；

可旋轉的存儲工具（170），其

（a）用來由取出工具（150）上取出散開的芯片（192）；

（b）用來重新翻轉該取出的芯片（192），使之作為COB芯片（292b）提供給第二提取位置（276），以及

（c）將通過存儲工具（170）暫時存儲的芯片（292a）回送到取出工具 (150)上，使之也作為另外的FCOB芯片（292a）最終翻轉一次并且提供給第二提取位置（276）；以及

處理器（144），其用來控制取出工具（150）和存儲工具，

取出工具（150）具有多個徑向突出的、用來分別暫時接納芯片(192、292a、292b)的第一抽吸夾具（160），其中第一抽吸夾具（160）是主動的芯片-止動裝置，其能夠相對于取出工具（150）的第一旋轉軸線（251）沿徑向方向移動；以及

存儲工具（170）具有多個徑向突出的、用來分別暫時接納另一芯片(192、292a、292b)的第二抽吸夾具（180），其中第二抽吸夾具（180）是被動的芯片-止動裝置，其靜止地設置在存儲工具（170）的機架上，

其中存儲工具包括一個共同的徑向驅動器，用于在所述存儲工具的設定角度位置徑向地推移第二抽吸夾具。

2.根據權利要求1所述的芯片-傳遞裝置（140），其特征在于：

第一抽吸夾具（160）分別具有第一氣動的耦合元件（361），第一吸管（369）能夠耦合到此耦合元件上；和/或

第二抽吸夾具（180）分別具有第二氣動的耦合元件，第二吸管能夠耦合到此耦合元件上。

3.根據權利要求1或2 所述的芯片-傳遞裝置（140），其特征在于：

第一抽吸夾具(160) 和/或第二抽吸夾具（180）能夠圍繞著其縱向軸線旋轉。

4. 根據權利要求1所述的芯片-傳遞裝置（140），其特征在于：

第一抽吸夾具（160）能夠相對于可旋轉的取出工具（150）的機架沿徑向方向位移，和/或

第二抽吸夾具（180）能夠相對于可旋轉的存儲工具（170）的機架沿徑向方向位移。

5. 根據權利要求4所述的芯片-傳遞裝置（140），其特征在于：

取出工具（150）具有第一共同的徑向驅動器，用于徑向地推移第一抽吸夾具（160）；和/或

其中存儲工具（170）具有第二共同的徑向驅動器，用于徑向地推移第二抽吸夾具（180）。

6.根據權利要求1所述的芯片-傳遞裝置（140），其特征在于：

第一抽吸夾具(160) 和/或第二抽吸夾具（180）至少沿徑向方向彈性地支承著。

7.根據權利要求1所述的芯片-傳遞裝置（140），其特征在于：

取出工具（150）具有第一抽吸夾具（160），該第一抽吸夾具的數量可被4整除，

存儲工具（170）具有第二抽吸夾具（180），該第二抽吸夾具的數量可被4整除。

8.根據權利要求1所述的芯片-傳遞裝置（140），其特征在于：

第二抽吸夾具（180）的數量多于第一抽吸夾具 (160)。

9.根據權利要求8所述的芯片-傳遞裝置（140），其特征在于：第二抽吸夾具（180）的數量是第一抽吸夾具（160）的兩倍或四倍。