[發明專利]有機發光二極管基板及其制造方法

有效

• 申請號: 201710852353.8
• 申請日: 2017-09-20
• 公開（公告）號: CN107611280B
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 吳海東;李彥松;杜小波
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 北京安信方達知識產權代理有限公司 11262
• 代理人: 曲鵬;張京波

1.一種有機發光二極管基板，其特征在于，包括：

設置在基底上的像素定義層，以及設置在像素區域內的陽極、有機發光二極管OLED功能層和陰極，所述像素定義層包括依次疊設的第一像素定義層、輔助陰極和第二像素定義層，所述輔助陰極與所述陰極連接；所述像素區域是所述第一像素定義層限定的區域，所述陽極僅設置在像素區域內；所述陽極與所述輔助陰極同層設置且通過一次工藝形成。

2.根據權利要求1所述的基板，其特征在于，所述第一像素定義層的厚度為300～350nm，所述第一像素定義層邊緣的坡度角和第二像素定義層邊緣的坡度角均為85°～90°。

3.根據權利要求1所述的基板，其特征在于，所述陰極的厚度為6～10nm。

4.根據權利要求1～3任一所述的基板，其特征在于，所述輔助陰極包括依次疊設的厚度為5～20nm的第一透明導電層、厚度為130～170nm的金屬層和厚度為5～20nm的第二透明導電層。

5.根據權利要求4所述的基板，其特征在于，所述OLED功能層包括厚度為d_R的紅色OLED功能層、厚度為d_G的綠色OLED功能層、厚度為d_B的藍色OLED功能層，且：d_Bd_P1-d_A1-d_A2-d_A3-d_Y；d_Rd_P1；d_Rd_Gd_B；

其中，d_P1為第一像素定義層圖案的厚度，d_A1為第一透明導電層的厚度，d_A2為金屬層的厚度，d_A3為第二透明導電層的厚度，d_Y為陰極的厚度。

6.根據權利要求1～3任一所述的基板，其特征在于，所述輔助陰極包括厚度為160～170nm的透明導電層。

7.根據權利要求6所述的基板，其特征在于，所述OLED功能層包括厚度為d_R的紅色OLED功能層、厚度為d_G的綠色OLED功能層、厚度為d_B的藍色OLED功能層，且：d_Bd_P1-d_Z-d_Y；d_Rd_P1；d_Rd_Gd_B；

其中，d_P1為第一像素定義層圖案的厚度，d_Z為透明導電層的厚度，d_Y為陰極的厚度。

8.一種顯示面板，其特征在于，包括權利要求1～7任一所述的有機發光二極管基板。

9.一種有機發光二極管基板的制造方法，其特征在于，包括：

在基底上形成第一像素定義層；

通過一次工藝，在所述第一像素定義層上形成輔助陰極，在所述第一像素定義層所限定的像素區域內形成陽極，所述陽極僅設置在像素區域內；

在所述輔助陰極上形成第二像素定義層；

在所述陽極上形成有機發光二極管OLED功能層和陰極，所述陰極與所述輔助陰極連接。

10.根據權利要求9所述的制造方法，其特征在于，所述在基底上形成第一像素定義層，包括：沉積一像素定義薄膜，對所述像素定義薄膜進行曝光、顯影和刻蝕，形成第一像素定義層；所述第一像素定義層的厚度為300nm～350nm，第一像素定義層邊緣的坡度角為85°～90°。