[發明專利]散熱單元的制造方法

在審

• 申請號: 201710847801.5
• 申請日: 2017-09-19
• 公開（公告）號: CN107809880A
• 公開（公告）日: 2018-03-16
• 發明（設計）人: 江貴鳳;林志曄
• 申請（專利權）人: 奇鋐科技股份有限公司
• 主分類號: H05K7/20
• 分類號: H05K7/20;C22F1/18;C23C18/12;B21D53/04
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司11139
• 代理人: 孫皓晨

技術領域

本發明涉及一種散熱單元的制造方法，尤指一種以鈦金屬所制成的散熱單元的制造方法。

背景技術

現行電子設備隨著計算速度越來越快，則令其內部電子元件容易產生高熱，針對電子元件散熱的問題該項業者通過至少一散熱單元如熱管、熱板、均溫板、散熱器，并通過所述的這些散熱單元直接與該電子元件接觸結合傳導熱量，更進一步可增加一風扇與該散熱單元結合作為強制散熱的效果。

散熱單元一般選用鋁或銅或不銹鋼或前述材料的合金等材質作為使用，其中銅與鋁及不銹鋼等材質雖具有散熱及熱傳導快等特征，又尤其銅最常被使用作為熱傳裝置的材料使用，銅雖具有熱傳導速度快的優點，但銅也有缺點，銅(Cu)經高溫還原制程后，因晶粒成長而粗化造成降伏強度(Yield Strength)大幅下降，并且銅的質量重，其硬度也較軟容易變形，變形后無法自行恢復原狀。

此外因現行智慧手持裝置(諸如手機、平板、平板電腦或筆記型電腦)與穿戴型裝置或需要薄型化的電子裝置都需要更薄化的被動式散熱裝置來進行散熱，致使業者必須要將銅質板體置換成銅箔以達薄化要求，然而銅箔雖符合薄化的要求，但其結構更軟而缺乏足夠結構支撐強度，故許多特殊的應用不太適用，且因銅箔過軟不具有支撐力易受外力容易變形并破壞內部熱傳結構。

另外，上述鋁或銅或不銹鋼等材質的散熱單元在一些特殊環境或嚴苛氣候(諸如腐蝕、高濕、高鹽、極寒、高溫、真空或太空中)中是無法使用。也此有該項業者通過以鈦合金作為取代銅材料使用，鈦合金具有高硬度、抗腐蝕、抗高溫極寒及質量輕等特性，但鈦合金的加工極不容易，除通過切削加工或部分非傳統加工的方式外，非常難以對鈦合金進行塑性變形，故鈦合金仍然無法取代銅材料使用。

發明內容

爰此，為解決上述現有技術的缺點，本發明的主要目的，提供一種可實現對商業純鈦進行塑性加工且取代銅材質制成散熱單元的制造方法。

為達到上述目的，本發明提供一種散熱單元的制造方法，其特征是包含下列步驟：

準備一第一鈦金屬板體及一第二鈦金屬板體，并進行前置清洗作業；

對前述第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體進行熱處理；

在前述第一鈦金屬板體進行沖壓加工形成復數凸部；

在該第二金屬板體一側結合一金屬網目；

將前述第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體設置于真空環境中，并將該第二鈦金屬板體具有金屬網目的一側填充工作液體；

將該第一鈦金屬板體具有凸部的一側與該第二鈦金屬板體具有金屬網目的一側對應蓋合，并通過激光焊接進行封邊。

所述的散熱單元的制造方法，其中：清洗作業是先以丙酮擦拭，然后再以超音波清洗機加入去離子水沖洗，最后用氮氣干燥第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體表面。

所述的散熱單元的制造方法，其中：第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體進行熱處理，是將該第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體置入一氣氛爐，并在該氣氛爐中通入氬氣并加熱至400℃～700℃，時間為30～90分鐘。

所述的散熱單元的制造方法，其中：具有一步驟：對前述第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體及金屬網目進行表面改質處理，在該第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體及該金屬網目表面形成至少一鍍層。

所述的散熱單元的制造方法，其中：所述鍍層為親水性鍍層或疏水性鍍層。

所述的散熱單元的制造方法，其中：所述鍍層是二氧化鈦或二氧化硅。

所述的散熱單元的制造方法，其中：所述金屬網目通過擴散接合與前述第二鈦金屬板體結合。

所述的散熱單元的制造方法，其中：所述擴散接合的溫度650℃～850℃，工作時間為30min～90min。

所述的散熱單元的制造方法，其中：對前述第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體及金屬網目進行表面改質處理，是將該第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體置入一氣氛爐，并在該氣氛爐中通入氬氣，令該第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體表面產生過熱還原。

所述的散熱單元的制造方法，其中：對前述第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體及金屬網目進行表面改質處理，是將該第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體置入一氣氛爐，并在該氣氛爐中抽真空，令該第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體表面產生過熱還原。

所述的散熱單元的制造方法，其中：對前述第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體及金屬網目進行表面改質處理，是通過溶膠-凝膠法將該第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體置入一氣氛爐，并在該氣氛爐中抽真空，令該第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體表面產生一鍍層。

所述的散熱單元的制造方法，其中：所述鍍層是二氧化鈦。