[發明專利]散熱單元的制造方法

在審

• 申請號: 201710847801.5
• 申請日: 2017-09-19
• 公開（公告）號: CN107809880A
• 公開（公告）日: 2018-03-16
• 發明（設計）人: 江貴鳳;林志曄
• 申請（專利權）人: 奇鋐科技股份有限公司
• 主分類號: H05K7/20
• 分類號: H05K7/20;C22F1/18;C23C18/12;B21D53/04
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司11139
• 代理人: 孫皓晨

1.一種散熱單元的制造方法，其特征是包含下列步驟：

準備一第一鈦金屬板體及一第二鈦金屬板體，并進行前置清洗作業；

對前述第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體進行熱處理；

在前述第一鈦金屬板體進行沖壓加工形成復數凸部；

在該第二金屬板體一側結合一金屬網目；

將前述第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體設置于真空環境中，并將該第二鈦金屬板體具有金屬網目的一側填充工作液體；

將該第一鈦金屬板體具有凸部的一側與該第二鈦金屬板體具有金屬網目的一側對應蓋合，并通過激光焊接進行封邊。

2.根據權利要求1所述的散熱單元的制造方法，其特征在于：清洗作業是先以丙酮擦拭，然后再以超音波清洗機加入去離子水沖洗，最后用氮氣干燥第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體表面。

3.根據權利要求1所述的散熱單元的制造方法，其特征在于：第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體進行熱處理，是將該第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體置入一氣氛爐，并在該氣氛爐中通入氬氣并加熱至400℃～700℃，時間為30～90分鐘。

4.根據權利要求1所述的散熱單元的制造方法，其特征在于：具有一步驟：對前述第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體及金屬網目進行表面改質處理，在該第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體及該金屬網目表面形成至少一鍍層。

5.根據權利要求4所述的散熱單元的制造方法，其特征在于：所述鍍層為親水性鍍層或疏水性鍍層。

6.根據權利要求4所述的散熱單元的制造方法，其特征在于：所述鍍層是二氧化鈦或二氧化硅。

7.根據權利要求1所述的散熱單元的制造方法，其特征在于：所述金屬網目通過擴散接合與前述第二鈦金屬板體結合。

8.根據權利要求7所述的散熱單元的制造方法，其特征在于：所述擴散接合的溫度650℃～850℃，工作時間為30min～90min。

9.根據權利要求4所述的散熱單元的制造方法，其特征在于：對前述第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體及金屬網目進行表面改質處理，是將該第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體置入一氣氛爐，并在該氣氛爐中通入氬氣，令該第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體表面產生過熱還原。

10.根據權利要求4所述的散熱單元的制造方法，其特征在于：對前述第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體及金屬網目進行表面改質處理，是將該第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體置入一氣氛爐，并在該氣氛爐中抽真空，令該第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體表面產生過熱還原。

11.根據權利要求4所述的散熱單元的制造方法，其特征在于：對前述第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體及金屬網目進行表面改質處理，是通過溶膠-凝膠法將該第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體置入一氣氛爐，并在該氣氛爐中抽真空，令該第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體表面產生一鍍層。

12.根據權利要求11所述的散熱單元的制造方法，其特征在于：所述鍍層是二氧化鈦。

13.根據權利要求4所述的散熱單元的制造方法，其特征在于：對前述第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體及金屬網目進行表面改質處理，是通過溶膠-凝膠法并將該第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體置入一氣氛爐，令該第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體表面產生一鍍層。

14.根據權利要求1所述的散熱單元的制造方法，其特征在于：對前述第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體對應蓋合并進行封邊，所使用的激光焊接波長是1030nm，激光功率100～500W，真空環境10^-2torr中進行。

15.根據權利要求1所述的散熱單元的制造方法，其特征在于：所述金屬網目是鈦材質或不銹鋼材質。

16.根據權利要求1所述的散熱單元的制造方法，其特征在于：所述金屬網目同時選擇兩片金屬網目，其一選擇鈦材質另一選擇為不銹鋼材質，兩片金屬網目相互疊合設置于該第一鈦金屬板體、第二鈦金屬板體之間。

17.根據權利要求9或10或11或13所述的散熱單元的制造方法，其特征在于：該氣氛爐加熱至400℃～700℃，時間為30～90分鐘。