[發明專利]銅-陶瓷基板的制備方法有效
| 申請號： | 201710840957.0 | 申請日： | 2017-09-18 |
| 公開（公告）號： | CN107473774B | 公開（公告）日： | 2021-05-25 |
| 發明（設計）人： | 崔成強;賴韜;楊斌;張昱 | 申請（專利權）人： | 廣東工業大學 |
| 主分類號： | C04B41/88 | 分類號： | C04B41/88;H05K1/03;H05K3/00;H05K3/38 |
| 代理公司： | 北京睿智保誠專利代理事務所(普通合伙) 11732 | 代理人： | 周新楣 |
| 地址： | 510062 廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 陶瓷 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種銅-陶瓷基板的制備方法，包括以下步驟：
1)制備納米銅膏：將納米銅粉、納米二氧化硅與有機溶劑混合，得到納米銅膏；
2)表面清潔：將陶瓷基板進行超聲清洗10分鐘后烘干；
3)涂覆和干燥：將所述納米銅膏涂覆于陶瓷基板表面，真空干燥后，得到納米銅膏層；
4)燒結：對涂覆有納米銅膏層的陶瓷基板進行燒結并冷卻；
5)制作線路：在陶瓷基板上涂覆光刻膠，再按照線路進行顯影處理，之后進行圖形電鍍，最后將線路之外的光刻膠去除，就可以獲得有線路的陶瓷基板；
6)蝕刻：通過蝕刻工藝去除多余的納米銅膏層；
7)清洗：將陶瓷基板放入等離子清洗機中清洗，對線路表面進行清潔，得到銅-陶瓷基板；
所述納米銅粉的粒徑為5～50nm，所述納米二氧化硅的粒徑為5～30nm；
所述納米銅膏中納米銅粉的含量為70wt％～85wt％，納米二氧化硅的含量為1wt％～5wt％；
所述納米銅膏層的厚度為0.05～0.5mm；
所述真空干燥時間為10～20min；
所述燒結在氮氣的保護氣氛下進行，溫度為200～4500℃，時間為30～90min；
所述陶瓷基板為氧化鋁陶瓷基板或氮化鋁陶瓷基板。
2.根據權利要求1所述的銅-陶瓷基板的制備方法，其特征在于，所述有機溶劑為甲苯、二甲苯、甲醇、乙醇、異丙醇、丙二醇、乙醚、丙酮、甲基丁酮、醋酸甲酯和乙酸乙酯中的一種或多種。
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