[發明專利]具有虛置標準單元的集成電路

有效

• 申請號: 201710839608.7
• 申請日: 2017-09-18
• 公開（公告）號: CN109524394B
• 公開（公告）日: 2021-08-10
• 發明（設計）人: 許振賢;陳建孚;蔡承洋;王偉任;林肇尉;黃智宏;顧政宗;楊進盛
• 申請（專利權）人: 聯華電子股份有限公司
• 主分類號: H01L27/02
• 分類號: H01L27/02;H01L27/088
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 陳小雯

1.一種具有虛置標準單元(standard filler cell)的集成電路，包含：

第一金屬線以及第二金屬線，兩者沿著一第一方向延伸；

第一虛置柵極以及第二虛置柵極，沿著一第二方向延伸，其中該第一金屬線、該第二金屬線、該第一虛置柵極以及該第二虛置柵極包圍的區域定義為一虛置單元區；

多個鰭狀結構，設置在該虛置單元區中，該多個鰭狀結構平行于該第一方向；

多個柵極結構，設置在該虛置單元區中，位于該第一虛置柵極與該第二虛置柵極之間且平行于該第二方向；

多個短接觸插栓以及多個長接觸插栓，設置在該虛置單元區中，該多個短接觸插栓與該多個長接觸插栓設置于該多個柵極結構，或是該多個柵極結構與該第一虛置柵極，或該多個柵極結構與該第二虛置柵極之間；

摻質區，設置在該虛置單元區中，且與該多個長接觸插栓部分重疊；

柵極接觸插栓，設置在該多個柵極結構上；

多個通孔插栓，設置在該多個長接觸插栓上并與之電連接；以及

金屬層，設置在該多個通孔插栓上并與之電連接，該第一金屬層包含該第一金屬線以及該第二金屬線。

2.如權利要求1所述的集成電路，其中該虛置單元區中具有與該第二方向平行的一中心軸，該虛置單元區中的元件沿著該中心軸呈現鏡相對稱。

3.如權利要求1所述的集成電路，還包含第二虛置單元區，設置于該虛置單元區旁并與該虛置單元區直接接觸。

4.如權利要求3所述的集成電路，其中該第二虛置單元區中的元件與該第一虛置單元區中的元件為旋轉對稱。

5.如權利要求4所述的集成電路，其中該第二虛置區中的元件與該第一虛置單元中的元件是180度的旋轉對稱。

6.如權利要求1所述的集成電路，還包含第三虛置單元區，其中該第三虛置單元區的元件與該虛置單元區的元件配置完全相同，且該第一虛置單元與該第三虛置單元沒有直接接觸。

7.如權利要求1所述的集成電路，其中該多個長接觸插栓還進一步延伸至該虛置單元區外。

8.如權利要求1所述的集成電路，其中部分的該多個柵極結構包含兩個不相連的調整柵極結構。

9.如權利要求1所述的集成電路，還包含調整摻質區，設置在該虛置單元區中，且在該第一方向上的投影與該摻質區部分重疊。

10.如權利要求9所述的集成電路，其中該重疊的比例為1/2。

11.如權利要求1所述的集成電路，還包含調整柵極接觸插栓，設置在該虛置單元區中，且在該第一方向上的投影與該柵極接觸插栓部分重疊。

12.如權利要求11所述的集成電路，其中該重疊的比例為1/2。

13.如權利要求1所述的集成電路，還包含至少一調整通孔插栓設置在該虛置單元區中，且在該第一方向上的投影與部分的該多個通孔插栓重疊。

14.如權利要求1所述的集成電路，其中該多個短接觸插栓與該多個長接觸插栓的數量相同，使該多個柵極結構中相鄰的兩個之間，或是該第一虛置柵極與其相鄰的柵極結構之間，或是該第二虛置柵極與其相鄰的柵極結構之間具有一個該短接觸插栓與一個該長接觸插栓。

15.如權利要求1所述的集成電路，其中該多個短接觸插栓的數量少于該多個長接觸插栓的數量相同，使該多個柵極結構中相鄰的兩個之間，或是該第一虛置柵極與其相鄰的柵極結構之間，或是該第二虛置柵極與其相鄰的柵極結構之間具有一個該短接觸插栓與一個該長接觸插栓，或是具有兩個該長接觸插栓。