[發(fā)明專利]探針卡裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710834758.9
• 申請(qǐng)日: 2017-09-15
• 公開（公告）號(hào): CN109507457B
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘇偉志;謝智鵬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中華精測(cè)科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/073
• 分類號(hào): G01R1/073
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 李昕巍;章侃銥

1.一種探針卡裝置，其特征在于，所述探針卡裝置包括：

一第一導(dǎo)板，形成有多個(gè)第一貫孔，并且每個(gè)所述第一貫孔具有一第一孔徑；

一第二導(dǎo)板，形成有多個(gè)第二貫孔，所述第二導(dǎo)板平行于所述第一導(dǎo)板，并且多個(gè)所述第二貫孔的位置分別對(duì)應(yīng)于多個(gè)所述第一貫孔的位置，每個(gè)所述第二貫孔具有不大于所述第一孔徑的一第二孔徑；以及

多個(gè)圓形探針，各包含有一金屬針體及成形于所述金屬針體的一絕緣卡榫，所述金屬針體的外徑不大于40微米、小于所述第一孔徑、并小于所述第二孔徑；每個(gè)所述金屬針體包含：

一中間段，位于所述第一導(dǎo)板與所述第二導(dǎo)板之間；

一第一連接段，自所述中間段一端延伸所形成并穿設(shè)于相對(duì)應(yīng)的所述第一貫孔內(nèi)；

一第二連接段，自所述中間段另一端延伸所形成并穿設(shè)于相對(duì)應(yīng)的所述第二貫孔內(nèi)；

一第一接觸段，自所述第一連接段延伸所形成且穿出相對(duì)應(yīng)的所述第一貫孔；及

一第二接觸段，自所述第二連接段延伸所形成且穿出相對(duì)應(yīng)的所述第二貫孔；

其中，于每個(gè)所述圓形探針中，所述絕緣卡榫成形于局部的所述第一接觸段，以使所述第一接觸段的末端部位突伸出所述絕緣卡榫并定義為一突出部，所述絕緣卡榫與所述第一接觸段共同構(gòu)成的一外徑大于所述第一孔徑、并大于所述第二孔徑。

2.依據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡裝置，其特征在于，任意兩個(gè)相鄰所述金屬針體之間形成有不大于100微米的一間距；而于每個(gè)所述圓形探針中，所述絕緣卡榫外表面與所述金屬針體的相鄰?fù)獗砻娌课恢g所成形的一最大距離不大于40微米。

3.依據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡裝置，其特征在于，于每個(gè)所述圓形探針中，所述絕緣卡榫為附著于所述第一接觸段且呈圓環(huán)狀的一絕緣膠層，或者所述絕緣卡榫包含有鍍?cè)O(shè)于所述第一接觸段且呈圓環(huán)狀的一金屬鍍層以及完全包覆于所述金屬鍍層的一絕緣膠層。

4.依據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡裝置，其特征在于，每個(gè)所述圓形探針包含有成形于所述中間段的一絕緣層，并且每個(gè)所述圓形探針的所述中間段與所述絕緣層所共同構(gòu)成的一外徑小于所述第一孔徑、并大于所述第二孔徑。

5.依據(jù)權(quán)利要求4所述的探針卡裝置，其特征在于，于每個(gè)所述圓形探針中，所述絕緣層與所述第二導(dǎo)板之間的距離不大于所述絕緣卡榫與所述第一導(dǎo)板之間的距離。

6.依據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡裝置，其特征在于，所述探針卡裝置進(jìn)一步包括有用以抵接于每個(gè)所述圓形探針的所述突出部的一轉(zhuǎn)接板。

7.依據(jù)權(quán)利要求1至6中任一所述的探針卡裝置，其特征在于，于每個(gè)所述圓形探針中，所述金屬針體包含有一內(nèi)針體與包覆在所述內(nèi)針體外表面的一外針體，所述內(nèi)針體與所述外針體的中心軸線重疊，并且所述外針體的楊氏模數(shù)大于所述內(nèi)針體的楊氏模數(shù)，而所述內(nèi)針體的導(dǎo)電率大于所述外針體的導(dǎo)電率；所述內(nèi)針體的楊氏模數(shù)是介于40～100Gpa，所述內(nèi)針體的導(dǎo)電率是在5.0×10^-4Ωm以上，所述外針體的楊氏模數(shù)是在100Gpa以上，所述外針體的導(dǎo)電率是在4.6×10^-4Ωm以上。