[發(fā)明專利]觸控面板及其制作方法、觸控顯示裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710831597.8
• 申請日: 2017-09-15
• 公開（公告）號: CN107512050B
• 公開（公告）日: 2019-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝濤峰;賀曉悅
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號: B32B15/00
• 分類號: B32B15/00;B32B9/00;G06F3/041
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 焦玉恒

一種觸控面板及其制作方法、觸控顯示裝置。觸控面板包括：襯底基板；位于襯底基板上的多個(gè)第一觸控電極，每個(gè)第一觸控電極包括多條交叉設(shè)置的第一觸控電極線，并且，沿垂直于襯底基板的方向，第一觸控電極線包括至少兩層層疊設(shè)置的透明導(dǎo)電層，其包括第一金屬氧化物層以及第一金屬層，或者第一金屬氧化物層以及第一石墨烯層。該觸控面板采用至少兩層層疊設(shè)置的透明導(dǎo)電層代替金屬網(wǎng)格而作為觸控電極中的網(wǎng)格觸控電極線，消除了摩爾紋，從而提高了觸控面板的光學(xué)品質(zhì)。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開至少一個(gè)實(shí)施例涉及一種觸控面板及其制作方法、觸控顯示裝置。

背景技術(shù)

金屬網(wǎng)格是利用銀、銅等金屬材料或氧化物，在玻璃/聚對苯二甲酸乙二醇酯(Glass/PET)薄膜上所形成的金屬網(wǎng)格圖案。金屬網(wǎng)格的理論最低面阻值可達(dá)0.1歐姆/□，并且因具備電磁遮蔽功能而降低訊號干擾，但其所制得的觸控感測器中因圖形線幅較粗(線幅超過5μm以上)而導(dǎo)致摩爾干涉波紋非常明顯，僅適用于觀測距離較遠(yuǎn)的顯示屏。

發(fā)明內(nèi)容

本公開的至少一實(shí)施例提供一種觸控面板及其制作方法、觸控顯示裝置。該觸控面板采用至少兩層層疊設(shè)置的透明導(dǎo)電層代替金屬網(wǎng)格而作為觸控電極中的網(wǎng)格觸控電極線，消除了摩爾紋，從而提高了觸控面板的光學(xué)品質(zhì)。

本公開的至少一實(shí)施例提供一種觸控面板，包括：襯底基板；位于襯底基板上的多個(gè)第一觸控電極，每個(gè)第一觸控電極包括多條交叉設(shè)置的第一觸控電極線，并且，沿垂直于襯底基板的方向，第一觸控電極線包括至少兩層層疊設(shè)置的透明導(dǎo)電層，至少兩層層疊設(shè)置的透明導(dǎo)電層包括第一金屬氧化物層以及第一金屬層，或者第一金屬氧化物層以及第一石墨烯層。

例如，第一觸控電極線還包括位于第一金屬層或者第一石墨烯層遠(yuǎn)離第一金屬氧化物層的一側(cè)的第二金屬氧化物層。

例如，第一金屬層的材料包括銀鈀銅合金。

例如，沿垂直于襯底基板的方向，第一金屬層的厚度范圍為150埃-250埃。

例如，沿垂直于襯底基板的方向，第一觸控電極線的厚度范圍為750埃-2650埃。

例如，第一觸控電極線的方塊電阻不大于10Ω/□。

例如，第一金屬氧化物層和第二金屬氧化物層的至少之一的材料包括氧化銦錫。

例如，觸控面板還包括：位于第一觸控電極遠(yuǎn)離襯底基板的一側(cè)的多個(gè)第二觸控電極，每個(gè)第二觸控電極包括多條交叉設(shè)置的第二觸控電極線，第一觸控電極與第二觸控電極彼此絕緣，其中，第二觸控電極線包括至少兩層層疊設(shè)置的透明導(dǎo)電層，至少兩層層疊設(shè)置的透明導(dǎo)電層包括第三金屬氧化物層以及第二金屬層，或者第三金屬氧化物層以及第二石墨烯層。

例如，觸控面板還包括：消影層，位于第一觸控電極與襯底基板之間或者位于第一觸控電極遠(yuǎn)離襯底基板的一側(cè)。

本公開的至少一實(shí)施例提供一種觸控面板的制作方法，包括：在襯底基板上形成第一觸控電極層，形成第一觸控電極層包括形成至少兩層疊層的透明導(dǎo)電層，形成至少兩層疊層的透明導(dǎo)電層包括依次形成第一金屬氧化物層以及第一金屬層，或者第一金屬氧化物層以及第一石墨烯層；對第一觸控電極層圖案化以形成多個(gè)第一觸控電極，每個(gè)第一觸控電極包括多條交叉設(shè)置的第一觸控電極線。

例如，形成至少兩層疊層的透明導(dǎo)電層還包括：在第一金屬層或者第一石墨烯層遠(yuǎn)離第一金屬氧化物層的一側(cè)形成第二金屬氧化物層。

例如，對第一觸控電極層圖案化包括：采用一步圖案化工藝對至少兩層疊層的透明導(dǎo)電層圖案化。