[發明專利]觸控面板及其制作方法、觸控顯示裝置

有效

• 申請號: 201710831597.8
• 申請日: 2017-09-15
• 公開（公告）號: CN107512050B
• 公開（公告）日: 2019-09-03
• 發明（設計）人: 謝濤峰;賀曉悅
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號: B32B15/00
• 分類號: B32B15/00;B32B9/00;G06F3/041
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 焦玉恒

1.一種觸控面板，包括：

襯底基板；

位于所述襯底基板上的多個第一觸控電極，每個所述第一觸控電極包括多條交叉設置的第一觸控電極線，

其中，沿垂直于所述襯底基板的方向，所述第一觸控電極線包括至少兩層層疊設置的透明導電層，所述至少兩層層疊設置的透明導電層包括第一金屬氧化物層以及第一金屬層，或者第一金屬氧化物層以及第一石墨烯層，

所述第一金屬氧化物層在所述襯底基板上的正投影與所述第一金屬層在所述襯底基板上的正投影重合，或者所述第一金屬氧化物層在所述襯底基板上的正投影與所述第一石墨烯層在所述襯底基板上的正投影重合，所述透明導電層還包括位于所述第一金屬層或者所述第一石墨烯層遠離所述第一金屬氧化物層的一側的第二金屬氧化物層，且所述第一金屬氧化物層與所述第二金屬氧化物層的材料相同。

2.根據權利要求1所述的觸控面板，其中，所述第一金屬層的材料包括銀鈀銅合金。

3.根據權利要求1所述的觸控面板，其中，沿垂直于所述襯底基板的方向，所述第一金屬層的厚度范圍為150埃-250埃。

4.根據權利要求3所述的觸控面板，其中，沿垂直于所述襯底基板的方向，所述第一觸控電極線的厚度范圍為750埃-2650埃。

5.根據權利要求1所述的觸控面板，其中，所述第一觸控電極線的方塊電阻不大于10Ω/□。

6.根據權利要求1所述的觸控面板，其中，所述第一金屬氧化物層和所述第二金屬氧化物層的材料包括氧化銦錫、氧化銦鋅、氧化鋅、氧化銦、氧化銦鎵和氧化鋁鋅中的組合或至少一種。

7.根據權利要求1-6任一項所述的觸控面板，還包括：

位于所述第一觸控電極遠離所述襯底基板的一側的多個第二觸控電極，每個所述第二觸控電極包括多條交叉設置的第二觸控電極線，所述第一觸控電極與所述第二觸控電極彼此絕緣，

其中，所述第二觸控電極線包括至少兩層層疊設置的透明導電層，所述至少兩層層疊設置的透明導電層包括第三金屬氧化物層以及第二金屬層，或者第三金屬氧化物層以及第二石墨烯層。

8.根據權利要求1-6任一項所述的觸控面板，還包括：

消影層，位于所述第一觸控電極與所述襯底基板之間或者位于所述第一觸控電極遠離所述襯底基板的一側。

9.一種觸控面板的制作方法，包括：

在襯底基板上形成第一觸控電極層，形成所述第一觸控電極層包括形成至少兩層疊層的透明導電層，其中，形成所述至少兩層疊層的透明導電層包括依次形成第一金屬氧化物層以及第一金屬層，或者第一金屬氧化物層以及第一石墨烯層，所述第一金屬氧化物層在所述襯底基板上的正投影與所述第一金屬層在所述襯底基板上的正投影重合，或者所述第一金屬氧化物層在所述襯底基板上的正投影與所述第一石墨烯層在所述襯底基板上的正投影重合；

對所述第一觸控電極層圖案化以形成多個第一觸控電極，每個所述第一觸控電極包括多條交叉設置的第一觸控電極線，

其中，形成所述至少兩層疊層的透明導電層還包括：

在所述第一金屬層或者所述第一石墨烯層遠離所述第一金屬氧化物層的一側形成第二金屬氧化物層，且所述第一金屬氧化物層與所述第二金屬氧化物層的材料相同。

10.根據權利要求9所述的觸控面板的制作方法，其中，對所述第一觸控電極層圖案化包括：

采用一步圖案化工藝對所述至少兩層疊層的透明導電層圖案化。