[發明專利]一種CCD晶圓絕緣電阻測試裝置

在審

• 申請號: 201710830232.3
• 申請日: 2017-09-15
• 公開（公告）號: CN107817386A
• 公開（公告）日: 2018-03-20
• 發明（設計）人: 焦貴忠;徐春葉;孫麗麗;田波;秦盼
• 申請（專利權）人: 北方電子研究院安徽有限公司
• 主分類號: G01R27/02
• 分類號: G01R27/02
• 代理公司: 安徽省蚌埠博源專利商標事務所34113
• 代理人: 陳俊

1.一種CCD晶圓絕緣電阻測試裝置，其特征在于，包括探針臺、矩陣開關模塊、信號采樣電路、信號放大與濾波電路、A/D轉換電路、單片機、直流電源以及上位機；所述探針臺用于承載待測CCD晶圓，探針臺的探針卡用于連接待測CCD晶圓的引腳，矩陣開關模塊通過探針卡與待測CCD晶圓的引腳相連；所述單片機控制矩陣開關模塊中各個開關與待測CCD晶圓引腳通道之間的切換；

矩陣開關模塊包含待測引腳矩陣開關組與加壓矩陣開關組，通過加壓矩陣開關組將直流電源作為激勵施加在待測CCD晶圓引腳通道之間,待測引腳矩陣開關組與信號采樣電路入口相連，信號采樣電路出口依次連接信號放大與濾波電路、A/D轉換電路、單片機與上位機；單片機將收到的測試信號與設定值進行比較，判斷測量通道間的絕緣特性，并將測試結果發送給上位機進行保存與顯示。